Научно-производственная компания "АВАКС" | Техническая информация | Вакуумные насосы: устройство, принцип действия, где купить вакуумный насос | Вакуумный насос Вакуумные насосы Типы вакуумных насосов Принципы работы вакуумных насосов

Типы вакуумных насосов. Основные принципы работы вакуумных насосов.

Типы вакуумных насосов

Для вакуумных насосов выделим классификационные признаки, важные с практической точки зрения:
- предельное остаточное давление;
- принцип действия;
- наличие рабочей жидкости (вакуумного масла)

Классификация вакуумных насосов по предельному остаточному давлению

В зависимости от величины достигаемого остаточного остаточного давления, вакуумные насосы можно разделить на две категории:
- низковакуумные насосы;
- высоковакуумные насосы.
Граница (1×10^-3 Торр), по которой происходит это разделение - условна. Например, современные пластинчато-роторные насосы позволяют получать меньшие предельные остаточные давления, однако они не являются высоковакуумными.

Низковакуумные насосы иначе называют форвакуумными насосами или насосами предварительной откачки.

К форвакуумным насосам относятся пластинчато-роторные, золотниковые, мембранные, водокольцевые, адсобционные вакуумные насосы и др. Форвакуумные насосы могут использоваться как в качестве насосов предварительной откачки для высоковакуумных насосов, так и самостоятельно.
К высоковакуумным насосам относятся паромасляные (диффузионные), турбомолекулярные, магниторазрядные, сублимационные (испарительные) и другие вакуумные насосы. Для работы высоковакуумного насоса необходимо обеспечить предварительную откачку вакуумной камеры форвакуумным насосом.

Высоковакуумные насосы

Паромасляные Вакуумные насосы (Диффузионные насосы)

Форвакуумные насосы

Плунжерные Вакуумные насосы (Золотниковые насосы)

Пластинчато-роторные Вакуумные насосы Value

"Масляные" / "сухие" ("безмасляные") вакуумные насосы

Вакуумные масла используются во многих механических вакуумных насосах в качестве рабочей жидкости, для уплотнения зазоров и смазки сопрягаемых деталей (пар трения). При их использовании в вакуумной камере неизбежно будут присутствовать пары масла. Насосы, в которых используются вакуумные масла называют "масляными".

В "сухих" насосах вакуумные масла не используются. В конденсационных, абсобционных, геттерных, турбомолекулярных с магнитным подвесом ротора и некоторых механических принцип действия не предполагает использование вакуумных масел. В большинстве же механических безмасляных насосах для того, чтобы отказаться от использования вакуумных масел необходимо прецизионное изготовление сопрягаемых деталей и/или использование специальных материалов для уплотнений. Поэтому такие насосы, во-первых, заметно дороже "масляных" аналогов (ведь с помощью вакуумного масла значительно легче обеспечить герметичность подвижных соединений). Во-вторых, предельное остаточное давление таких насосов выше,чем у "масляных".

Классификация вакуумных насосов по принципу действия

Конкретные типы и конструкции наиболее распространенных вакуумных насосов, реализующие тот или иной принципа работы, рассмотрены отдельно.

Вакуумные насосы:

Механические вакуумные насосы

Механические вакуумные насосы обеспечивают механическое перемещение среды (частиц среды) из замкнутого объема в атмосферу. Под механическим переносом понимается любое действие, связанное как со сжатием откачиваемой среды в целом, так и с передачей импульса отдельным частицам среды в результате столкновений с движущимися частями насоса или рабочей жидкости.

Объемные вакуумные насосы

Принципп работы объемных насосов заключается в изменении объема рабочей камеры (камер) насоса. Камера в начальный момент цикла откачки имеет максимальный объем и соединена с откачиваемой системой. В следующей момент цикла откачки связь камеры с откачиваемым насосом разрывается и ее объем начинает уменьшаться, а давление газа в камере - увеличиваться. В момент максимального сжатия объем камеры соединяется с атмосферой и сжатый газ выбрасывается из насоса. Cпособ изменения объема камеры зависит от конструкции насоса.

Пластинчато-роторные вакуумные насосы

Вакуумные насосы Рутса

Плунжерные вакуумные насосы (золотниковые вакумные насосы)

Спиральные вакуумные насосы

Винтовые вакуумные насосы

Мембранные вакуумные насосы

водокольцевые вакуумные насосы

Mолекулярные вакуумные насосы

Молекулярные насосы передавают импульс от подвижных частей насоса или рабочей жидкости частицам среды.

Турбомолекулярные вакуумные насосы

Паромасляные (диффузионные) вакуумные насосы и другие струйные и пароструйные насосы.

Вакуумные насосы, действующие на физико-химических принципах

Такие насосы связывают и удерживают молекулы откачиваемой среды на поверхностях или объеме материалов, расположенных во внутренней полости насоса за счет различных физико-химических явлений.

Адсорбционные (конденсационные) вакуумные насосы

Принцип работы адсобционных насосов - связывание молекул откачиваемой среды на поверхностях, расположенных во внутренней полости вакуумного насоса.

Криогенные вакуумные насосы

Абсорбционные вакуумные насосы

Принцип работы адсобционных насосов - связывание молекул откачиваемой среды в объеме материалов (связываемый газ распределяются по всему объему), расположенных во внутренней полости вакуумного насоса.

Цеолитовые вакуумные насосы

Геттерные вакуумные насосы

Геттерные насосы связывают частицы откачиваемой среды активным веществом - геттером с участием химических реакций, захоранивая их во внутренней полости насоса.

Ионные насосы

Испарительные вакуумные насосы

Магниторазрядные вакуумные насосы