| Главная > Компоненты установок > Контроль толщины > Блоки индикации > |
Блоки индикации
|
|
 |
SQM-160 |
- 2 канала измерения (+4 канала с дополнительной платой);
- Аналоговые выходы для контроля или записи;
- 2 программируемых входа;
- 4 программируемых выхода (реле; могут быть использованы, например, для управления заслонками);
- интерфейс связи с компьютером (RS232 в стандартной комплектации; USB или Ethernet - по заказу)
|
 |
SQM-200
STM-2XM |
- 2 канала измерения;
- 4 аналоговых выхода для контроля или записи;
- 8 программируемых входов;
- 8 программируемых выходов (реле; могут быть использованы, например, для управления заслонками);
- интерфейс связи с компьютером;
- возможность контроля толщины в процессах соиспарения
|
• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ БЛОКА ИНДИКАЦИИ SQM-160
Параметр |
SQM-160
стандартное
разрешение |
SQM-160
высокое
разрешение |
| Количество каналов измерения (кол-во подключаемых датчиков), шт: |
2 (c дополнительной платой платой 6) |
| Диапазон измерения частоты, МГц: |
6.5 - 1.0 |
6.5 - 1.0 |
| Разрешение по частоте, (при t=0.10 с) Гц: |
± 0.3 |
± 0.03 |
| Разрешение по толщине покрытия, (при f=6 МГц, t=0.10 с) нм: |
± 0.037 |
± 0.0037 |
| Диапазон настройки времени измерения, сек: |
± 0.10-2.0 |
± 0.10-2.0 |
| Диапазон усреднения результатов измерения, кол-во изм (шт.): |
1-20 |
1-20 |
| Кол-во сохраняемых в памяти процессов (покрытий), шт.: |
99 |
99 |
| Кол-во аналоговых выходов, шт.: |
2 |
2 |
| Диапазон напряжений на аналоговых выходах, В: |
0-5 DC |
0-5 DC |
| Кол-во входов/выходов, В: |
2 / 4 |
2 / 4 |
| Интерфейс: |
RS232 (по заказу: USB или Ethernet) |
RS232 (по заказу: USB или Ethernet) |
| Габаритные размеры, мм: |
89 x 213 x 197 |
89 x 213 x 197 |
| Вес, кг: |
2.7 |
2.7 |
|
• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ БЛОКА ИНДИКАЦИИ STM-2XM (SQM-200)
| Параметр |
STM-2XM (SQM-200) |
| Количество каналов измерения (кол-во подключаемых датчиков), шт: |
2 |
| Диапазон измерения частоты, МГц: |
6.0 - 5.0 |
| Разрешение по частоте, (при f=6 МГц) Гц: |
± 0.03 |
| Разрешение по толщине покрытия, (при f=6 МГц) нм: |
± 0.0037 |
| Время измерения, сек: |
± 0.10 |
| Кол-во сохраняемых в памяти процессов (покрытий), шт.: |
15 |
| Кол-во аналоговых выходов, шт.: |
4 |
| Диапазон напряжений на аналоговых выходах, В / mA: |
0-10 / 0-10 DC |
| Кол-во входов/выходов, В: |
8 / 8 |
| Напряжение питания, В: |
120-240 (AC 50 Гц) |
| Потребляемая мощность, Вт: |
2.5 |
| Нагрузка на реле, В / А: |
48 (DC, AC) / 2 |
|
|
|
давления
