Блоки индикации (мониторы) предназначены для вывода информации о толщине пленки, скорости напыления, а также др. параметров. Различаются количеством каналов (количеству датчиков, которые можно подключить к блоку), количеством блокировочных выходов, наличием интерфейса связи с компьютером.
SQM-160
2 канала измерения (+4 канала с дополнительной платой);
Аналоговые выходы для контроля или записи;
2 программируемых входа;
4 программируемых выхода (реле; могут быть использованы, например, для управления заслонками);
Интерфейс связи с компьютером (RS232 в стандартной комплектации; USB или Ethernet - по заказу).
Основные технические характеристики блока индикации SQM-160
Параметр
Ед.изм.
SQM-160 стандартное разрешение
SQM-160 высокое разрешение
Количество каналов измерения (кол-во подключаемых датчиков):
шт
2 (c дополнительной платой платой 6)
Диапазон измерения частоты:
МГц
6.5 - 1.0
6.5 - 1.0
Разрешение по частоте (при t=0.10 с):
Гц
± 0.3
± 0.03
Разрешение по толщине покрытия (при f=6 МГц, t=0.10 с):
нм
± 0.037
± 0.0037
Диапазон настройки времени измерения:
сек
± 0.10 - 2.0
± 0.10 - 2.0
Диапазон усреднения результатов измерения, кол-во изм.:
шт
1 - 20
1 - 20
Кол-во сохраняемых в памяти процессов (покрытий):
шт
99
99
Кол-во аналоговых выходов:
шт
2
2
Диапазон напряжений на аналоговых выходах:
В
0 - 5 DC
0 - 5 DC
Кол-во входов/выходов:
В
2 / 4
2 / 4
Интерфейс:
–
RS232 (по заказу: USB или Ethernet)
RS232 (по заказу: USB или Ethernet)
Габаритные размеры:
мм
89 × 213 × 197
89 × 213 × 197
Вес:
кг
2.7
2.7
SQM-200, STM-2XM
2 канала измерения;
4 аналоговых выхода для контроля или записи;
8 программируемых входов;
8 программируемых выходов (реле; могут быть использованы, например, для управления заслонками);
Интерфейс связи с компьютером;
Возможность контроля толщины в процессах соиспарения.
Основные технические характеристики блока индикации STM-2XM (SQM-200)
Параметр
Ед.изм.
STM-2XM (SQM-200)
Количество каналов измерения (кол-во подключаемых датчиков):
шт
2
Диапазон измерения частоты:
МГц
6.0 - 5.0
Разрешение по частоте (при (при f=6 МГц):
Гц
± 0.03
Разрешение по толщине покрытия (при f=6 МГц):
нм
± 0.0037
Время измерения:
сек
± 0.10
Кол-во сохраняемых в памяти процессов (покрытий):
шт
15
Кол-во аналоговых выходов:
шт
4
Диапазон напряжений на аналоговых выходах:
В / mA
0-10 / 0-10 DC
Кол-во входов/выходов:
В
8 / 8
Напряжение питания:
В
120-240 (AC 50 Гц)
Потребляемая мощность:
Вт
2.5
Нагрузка на реле:
В / А
48 (DC, AC) / 2
При использовании материалов сайта ссылка обязательна
давления
