|
ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма
ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ •
КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
|
|
|
|
|
Консультации on-line:
|
|
|
|
|
| Главная > Вакуумные установки > Установки напыления > |
Установки напыления
 | Установка нанесения покрытий методами магнетронного и резистивного распыления
В качестве устройств распыления используются магнетроны и резистивные испарители. В процессах магнетронного распыления источником материала для осаждаемой пленки является мишень устройства магнетронного распыления. При резистивном испарении источником материала для осаждаемой пленки является навеска, которая размещается в нагреваемой током испарителе (лодочке или аналогичном приспособлении).
 |
|
|
|
давления
