Устройства магнетронного распыления

Общие сведения

Устройства магнетронного распыления используются в установках вакуумного напыления для распыления металлических, диэлектрических и полупроводниковых мишеней при нанесении покрытий различного назначения. Магнетроны, работающие на постоянном токе, позволяют распылять проводящие мишени (методом реактивного распыления возможно изготовление и диэлектрических покрытий). Высокочастотные магнетроны обеспечивают распыление и проводящих, и диэлектрических мишеней.

ООО «АВАКС» предлагает эффективные и надежные устройства устройства магнетронного распыления, которые могут работать как на постоянном токе, так и на частоте 13,56 МГц. Отличительными особенностями этих устройств являются:

• Универсальность (конструкция позволяет потребителю монтировать устройство магнетронного распыления практически в любую вакуумную установку (ВУП, УВН, УРМ и другие);
• Широкий диапазон регулировки скорости напыления;
• Использование мишеней как непосредственного, так и косвенного охлаждения;
• Широкий диапазон толщин мишеней, приспособленность к работе с мишенями, изготовленными из магнитных материалов;
• Возможность использования сменных магнитных систем, позволяющих использовать мишени различного размера, при этом смена магнитной системы не требует изменения конструкции магнетрона и может быть проведена потребителем самостоятельно;
• Наличие дополнительных экранов, предотвращающих паразитное запыление вакуумной камеры;
• Надежность, простота обслуживания и эксплуатации.

Помимо типовых исполнений, ООО "АВАКС" производит поставку систем магнетронного распыления "под ключ".

таблица/список

Магнетроны постоянного тока АВ5100

Магнетроны постоянного тока с доп. магнитной системой АВ5110

Высокочастотные магнетроны АВ5200

Фланцы системы охлаждения магнетронов АВ7310

	Семейство АВ5100 магнетронов постоянного тока Семейство устройств магнетронного распыления АВ5100 включает в себя магнетроны постоянного тока для работы с мишенями непосредственного или косвенного охлаждения
	Семейство АВ5110 магнетронов постоянного тока с дополнительной магнитной системой Семейство устройств магнетронного распыления АВ5110 включает в себя магнетроны постоянного тока с мишенями непосредственного или косвенного охлаждения и комплектуется дополнительной магнитной системой, что позволяет использовать не только стандартные мишени, но и мишени меньшего размера.
	Семейство АВ5200 высокочастотных магнетронов Семейство устройств высокочастотного магнетронного распыления АВ5200 включает в себя магнетроны с мишенями непосредственного или косвенного охлаждения.
	Фланцы системы охлаждения магнетронов (семейство АВ7310) Используются для обеспечения вакуумно плотного монтажа вводов охлаждения устройства магнетронного распыления.

В состав систем магнетронного распыления, помимо собственно магнетронов, входит целый ряд не менее важных компонентов, от работы которых зависят параметры системы в целом и эффективность ее использования. К ним относятся, например, системы подачи рабочего газа в вакуумную камеру; устройства, обеспечивающие стабильность давления рабочего газа в вакуумной камере в процессе напыления покрытий; источники питания; устройства, контролирующие расход воды в системе охлаждения магнетрона и др. В дополнение к поставкам устройств магнетронного распыления, ООО «АВАКС» предлагает своим заказчикам комплексный подход, включающий комплектацию систем магнетронного напыления всеми необходимыми компонентами, а также монтаж таких систем в вакуумные установки.

Некоторые из компонентов изготавливаются ООО «АВАКС». С их характеристиками Вы можете ознакомиться в разделах сайта, связанных с разработкой и изготовлением систем напуска рабочего газа в вакуумную камеру (Газовые системы) и систем поддержания постоянного давления рабочего газа в вакуумной камере (Стабилизаторы давления).