ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма

ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ













Консультации on-line:
ICQ: 281785897
Skype: AVACUUM

E-mail: info@avacuum.ru
Web: https://www.avacuum.ru

Тел: +7 (812) 702-82-28
+7 (812) 372-55-45
Факс: +7 (812) 372-55-45

Главная > Вакуумметры > Активные датчики и их контроллеры > Тензорезистивные и комбинированные (тензорезистивные / Пирани) активные датчики >

Тензорезистивные и комбинированные (тензорезистивные / Пирани) активные датчики


Принцип действия тензорезистивного датчика давления основан на изменении сопротивления полупроводникового кристалла при его механической деформации под воздействием внешнего давления. Отличительными особенностями датчиков такого типа являются: высокая точность измерения давления (до 1-2%), независимость от рода газа, возможность измерения давлений выше атмосферного. Диапазон измерения в области низких давлений ограничен 0.1-10 мбар (в зависимости от исполнения датчика). Иногда тензорезистивные датчики называют пьезорезистивными.

Для увеличения диапазона измерений в некоторых случаях используются комбинированные датчики - в одном корпусе монтируются два чувствительных элемента - один из них тензорезистивный (измеряет давления от атмосферного до единиц Торр с высокой точностью), второй - терморезисторный (Пирани) - используется для измерения давлений от единиц Торр до (1-5)х10-4 мбар (в этом диапазоне погрешность измерения терморезисторного датчика не очень высока).



ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЕ
АКТИВНЫЕ ДАТЧИКИ
Активные датчики APR Pfeiffer Vacuum
APR250-APR267
1×10-1 ÷ 5.5×104 мбар
выход 0-10 В
общего применения
Pfeiffer Vacuum
Блоки индикации TPG датчиков Pfeiffer
TPG
_____ Блоки _____
индикации
для датчиков
Pfeiffer Vacuum