ООО "АВАКС"
    Научно-производственная фирма

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ












    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    Главная > Вакуумметры > Активные датчики и их контроллеры > Тензорезистивные и комбинированные (тензорезистивные / Пирани) активные датчики >

    Тензорезистивные и комбинированные (тензорезистивные / Пирани) активные датчики


    Принцип действия тензорезистивного датчика давления основан на изменении сопротивления полупроводникового кристалла при его механической деформации под воздействием внешнего давления. Отличительными особенностями датчиков такого типа являются: высокая точность измерения давления (до 1-2%), независимость от рода газа, возможность измерения давлений выше атмосферного. Диапазон измерения в области низких давлений ограничен 0.1-10 мбар (в зависимости от исполнения датчика). Иногда тензорезистивные датчики называют пьезорезистивными.

    Для увеличения диапазона измерений в некоторых случаях используются комбинированные датчики - в одном корпусе монтируются два чувствительных элемента - один из них тензорезистивный (измеряет давления от атмосферного до единиц Торр с высокой точностью), второй - терморезисторный (Пирани) - используется для измерения давлений от единиц Торр до (1-5)х10-4 мбар (в этом диапазоне погрешность измерения терморезисторного датчика не очень высока).



    ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЕ
    АКТИВНЫЕ ДАТЧИКИ
    Активные датчики APR Pfeiffer Vacuum
    APR250-APR267
    1×10-1 ÷ 5.5×104 мбар
    выход 0-10 В
    общего применения
    Pfeiffer Vacuum
    Блоки индикации TPG датчиков Pfeiffer
    TPG
    _____ Блоки _____
    индикации
    для датчиков
    Pfeiffer Vacuum