Тензорезистивные и комбинированные (тензорезистивные / Пирани) активные датчики

Принцип действия тензорезистивного датчика давления основан на изменении сопротивления полупроводникового кристалла при его механической деформации под воздействием внешнего давления. Отличительными особенностями датчиков такого типа являются: высокая точность измерения давления (до 1-2%), независимость от рода газа, возможность измерения давлений выше атмосферного. Диапазон измерения в области низких давлений ограничен 0.1-10 мбар (в зависимости от исполнения датчика). Иногда тензорезистивные датчики называют пьезорезистивными.

Для увеличения диапазона измерений в некоторых случаях используются комбинированные датчики - в одном корпусе монтируются два чувствительных элемента - один из них тензорезистивный (измеряет давления от атмосферного до единиц Торр с высокой точностью), второй - терморезисторный (Пирани) - используется для измерения давлений от единиц Торр до (1-5)х10^-4 мбар (в этом диапазоне погрешность измерения терморезисторного датчика не очень высока).