Запорные клапаны с электромагнитным приводом

Тарельчатые вакуумные клапаны - наиболее распространенный тип клапанов. Поступательное движение штока клапана обеспечивает движение тарелки с уплотнением. В закрытом состоянии тарелка с уплотнением (чаще всего o'ring, зафиксированный в проточке) прижимается к неподвижному седлу, изолируя друг от друга вакуумные объемы. В полностью открытом состоянии тарелка находится на максимальном расстоянии от седла, обеспечивая возможность перемещения газовой среды между вакуумными объемами. В зависимости от типа уплотнения подвижного штока различают сильфонные клапаны и клапаны с уплотнением штока кольцевым уплотнением круглого сечения. Присоединительные фланцы угловых клапанов расположены в перпендикулярных плоскостях.