Группа компаний "АВАКС"
    Надежное оборудование от ведущих производителей и собственного производства

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ














    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    АВАКС в социальных сетях:

    Главная > Вакуумные клапаны > Специализированные вакуумные клапаны > Клапаны для поддержания давления в вакуумной камере (APC - automatic pressure control). >

    Клапаны для поддержания давления в вакуумной камере (APC - automatic pressure control).


    Общие сведения

    Задача поддержания заданного пользователем значения давления в вакуумной камере возникает когда с одной стороны вакуумная камера откачивается, с другой в ту же камеру подается рабочий газ. Типичным, но далеко не единственным примером технологического процесса, в котором критически важно поддерживать заданное давление является магнетронное напыление: при изменении давления будет изменяться в том числе скорость осаждения покрытия на подложке. В международной терминологии за такими клапанами и системами на их основе закрепилась аббревиатура APC (от англ. Automatic Pressure Control). Технически система APC чаще всего построена на основе запорного дискового затвора, снабженного шаговым двигателем и контроллером, обрабатывающим сигнал с датчика вакуума. Затвор с APC устанавливают между насосом и вакуумной какмерой. В зависимости от сигнала с датчика вакуума, расположенного в камере, контроллер управляет тарелкой затвора, прикрывая ее для уменьшения скорости откачки насоса и приоткрывая, наоборот, для ее увеличения.

    Задачу контроля давления в ручном режиме можно решить, используя более простые дисковые затворы с ручным, электромеханическим или трехпозиционным пневматическим приводом.

    Клапаны APC