Клапаны для поддержания давления в вакуумной камере (APC - automatic pressure control)
Общие сведения
Задача поддержания заданного пользователем значения давления в вакуумной камере возникает когда с одной стороны вакуумная камера откачивается, с другой в ту же камеру подается рабочий газ. Типичным, но далеко не единственным примером технологического процесса, в котором критически важно поддерживать заданное давление является магнетронное напыление: при изменении давления будет изменяться в том числе скорость осаждения покрытия на подложке. В международной терминологии за такими клапанами и системами на их основе закрепилась аббревиатура APC (от англ. Automatic Pressure Control). Технически система APC чаще всего построена на основе запорного дискового затвора, снабженного шаговым двигателем и контроллером, обрабатывающим сигнал с датчика вакуума. Затвор с APC устанавливают между насосом и вакуумной какмерой. В зависимости от сигнала с датчика вакуума, расположенного в камере, контроллер управляет тарелкой затвора, прикрывая ее для уменьшения скорости откачки насоса и приоткрывая, наоборот, для ее увеличения.
Задачу контроля давления в ручном режиме можно решить, используя более простые дисковые затворы с ручным, электромеханическим или трехпозиционным пневматическим приводом.
Вся информация о товарах, услугах и ценах, предоставленная на данном интернет-сайте, носит исключительно информационный характер и
ни при каких условиях не является публичной офертой, определяемой положениями Статьи 437 Гражданского кодекса Российской Федерации.
давления
