ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма
ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ •
КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
|
|
|
Консультации on-line:
|
|
|
|
Главная > Вакуумные насосы > Магниторазрядные насосы > Насосы магниторазрядные семейств 2L (диодные) и 3L (триодные) > |

Насосы магниторазрядные семейств 2L (диодные) и 3L (триодные)

|
- полностью безмасляный вакуум;
- нет движущихся частей;
- в вакуумный объем не попадают частицы, являющиеся продуктом износа уплотнений;
- отсутствует шум;
- отсутствуют вибрации;
- работает без дополнительного насоса, дополнительный насос нужен только для создания стартового давления
|
|
• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Перед включением магниторазрядного насоса необходимо создать предварительный вакуум (стартовое давление – см. раздел «Технические характеристики»). Далее магниторазрядный насос работает самостоятельно, дополнительный насос не требуется.
Насосы семейства 3L предназначены для откачки газовых смесей, содержащих инертные газы (аргон). Насосы семейства 2L имеют низкую срорость откачки аргона и других инертных газов
Магниторазрядные насосы 2L-200, 2L-400, 3L-200, 3L-400 дополнительно оснащены кожухом с встроенными нагревательными элементами для прогрева насосов (напряжение питания нагревательных элементов кожухов - 220 В 50 Гц).
|
|
 |
 |
Насос со снятым кожухом для прогрева |
Кожухи для прогрева смонтированы на насос |
|
|
• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ НАСОСОВ 2L, 3L
Параметр / Характеристика |
Ед.изм. |
2L-25 |
ЗL-25 |
2L-50 |
ЗL-50 |
2L-100 |
ЗL-100 |
Присоединительный фланец |
мм |
CF35 |
CF35 |
CF100 |
CF100 |
CF150 |
CF150 |
Наибольшая быстрота действия по воздуху |
л/c |
22 |
21 |
65 |
55 |
120 |
110 |
Наибольшая быстрота действия по аргону |
л/c |
0.З |
6 |
6 |
12 |
12 |
24 |
Стартовое давление *) |
Па |
≤5×10-4 **) |
≤5×10-4 **) |
≤5×10-4 **) |
≤5×10-4 **) |
≤5×10-4 **) |
≤5×10-4 **) |
Предельное остаточное давление |
Па |
≤7×10-8 |
≤7×10-8 |
≤7×10-8 |
≤7×10-8 |
≤7×10-8 |
≤7×10-8 |
Макс. температура прогрева (с магнитами) |
°C |
<200 |
<200 |
<200 |
<200 |
<200 |
<200 |
Макс. температура прогрева (без магнитов) |
°C |
<300 |
<300 |
<300 |
<300 |
<300 |
<300 |
Рабочее напряжение на аноде |
кВ |
7 |
-5 |
7 |
-5 |
7 |
-5 |
Кол-во электродных блоков |
шт. |
1 |
1 |
2 |
2 |
4 |
4 |
Масса, кг |
кг |
8 |
8 |
22 |
22 |
38 |
38 |
Наличие кожуха для обогрева |
- |
нет |
нет |
нет |
нет |
нет |
нет |
Блок питания |
- |
2LD-400A, 2LD-400C |
3LD-400C |
2LD-400A, 2LD-400C |
3LD-400C |
2LD-400A, 2LD-400C |
3LD-400C |
Параметр / Характеристика |
Ед.изм. |
2L-200B |
2L-200C |
2L-400 |
ЗL-400 |
2L-400C |
ЗL-400С |
Присоединительный фланец |
мм |
CF150 |
CF150 |
CF150 |
CF150 |
CF150 |
CF150 |
Наибольшая быстрота действия по воздуху |
л/c |
2З0 |
220 |
450 |
420 |
450 |
420 |
Наибольшая быстрота действия по аргону |
л/c |
24 |
24 |
45 |
85 |
45 |
85 |
Стартовое давление *) |
Па |
≤5×10-4 **) |
≤5×10-4 **) |
≤5×10-4 **) |
|
≤5×10-4 **) |
≤5×10-4 **) |
Предельное остаточное давление |
Па |
≤2.7×10-8 |
≤1×10-8 |
≤2.7×10-8 |
≤2.7×10-8 |
≤1×10-8 |
≤1×10-8 |
Макс. температура прогрева (с магнитами) |
°C |
<200 |
<200 |
<200 |
<200 |
<200 |
<200 |
Макс. температура прогрева (без магнитов) |
°C |
<300 |
<300 |
<300 |
<300 |
<300 |
<300 |
Рабочее напряжение на аноде |
кВ |
7 |
7 |
5 |
-5 |
5 |
-5 |
Кол-во электродныч блоков |
шт. |
4 |
4 |
4 |
4 |
4 |
4 |
Масса, кг |
кг |
100 |
100 |
15З |
15З |
15З |
15З |
Наличие кожуха для обогрева |
- |
есть (220В 5Гц) |
есть (220В 5Гц) |
есть (220В 5Гц) |
есть (220В 5Гц) |
есть (220В 5Гц) |
есть (220В 5Гц) |
Блок питания |
- |
2LD-400A, 2LD-400C |
2LD-400A, 2LD-400C |
2LD-400A, 2LD-400C |
3LD-400C |
2LD-400A, 2LD-400C |
3LD-400C |
Примечания:
*) |
Стартовое давление – давление, до которого необходимо откачать вакуумную камеру/систему перед включением магниторазрядного насоса. Стартовое давление может заметно различаться в зависимости от условий эксплуатации насоса, объема вакуумной камеры и других условий.
|
**) |
В случае, если объем вакуумной камеры/системы не очень велик, магниторазрядные насосы 2L, 3L могут быть включены при давлении 1×10-2 Па.
Предполагается, что в этом случае магниторазрядный насос достаточно быстро достигнет давлений ниже 1×10-3 Па.
Однако, возможно, пуск насоса придется придется повторить несколько раз: блок питания может отключиться из-за перегрузки.
В случае, если объем камеры достаточно велик, рекомендуется предварительно откачать систему турбомолекулярным насосом до давлений 5×10-4 Па.
|
• ЗАВИСИМОСТЬ БЫСТРОТЫ ОТКАЧКИ ОТ ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ НАСОСОВ 2L, 3L
|
• ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ НАСОСОВ 2L, 3L
|
• БЛОКИ ПИТАНИЯ НАСОСОВ 2L, 3L
Параметр / Характеристика |
Ед.изм. |
2LD-400A |
2LD-400С |
3LD-400С |
Напряжение питания (сеть переменного тока 50 Гц) |
В |
220 |
220 |
220 |
Выходное напряжение (постоянное) |
кВ |
+3,+5,+7 |
+3,+5,+7 |
-5 |
Максимальный выходной ток |
А |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
Минимальный измеряемый выходной ток |
А |
1×10-7 |
1×10-7 |
1×10-7 |
Максимальная выходная мощность |
кВт |
400 |
150 |
150 |
Цепь управления |
- |
аналоговая |
цифровая |
цифровая |
Вес |
кг |
20 |
4 |
4 |
Габаритные размеры |
мм |
242×177×487 |
242×133×296 |
242×133×296 |
|
|
|
|