В вакуумный объем не попадают частицы, являющиеся продуктом износа уплотнений;
Работает без дополнительного насоса, дополнительный насос нужен только для создания стартового давления.
Общие сведения
Насос со снятым кожухом для прогрева
Кожухи для прогрева смонтированы на насос
Перед включением магниторазрядного насоса необходимо создать предварительный вакуум (стартовое давление – см. раздел «Технические характеристики»). Далее магниторазрядный насос работает самостоятельно, дополнительный насос не требуется.
Насосы семейства 3L предназначены для откачки газовых смесей, содержащих инертные газы (аргон). Насосы семейства 2L имеют низкую срорость откачки аргона и других инертных газов.
Магниторазрядные насосы 2L-200, 2L-400, 3L-200, 3L-400 дополнительно оснащены кожухом с встроенными нагревательными элементами для прогрева насосов (напряжение питания нагревательных элементов кожухов - 220 В 50 Гц).
Основные технические характеристики
Параметр / Характеристика
Ед.изм.
2L-25
2L-50
2L-100
Присоединительный фланец
мм
CF35
CF100
CF100
Наибольшая быстрота действия по воздуху
л/c
22
65
120
Наибольшая быстрота действия по аргону
л/c
0.З
6
12
Стартовое давление *)
Па
≤5×10-4 **)
≤5×10-4 **)
≤5×10-4 **)
Предельное остаточное давление
Па
≤7×10-8
≤7×10-8
≤7×10-8
Макс. температура прогрева (с магнитами)
°C
<200
<200
<200
Макс. температура прогрева (без магнитов)
°C
<300
<300
<300
Рабочее напряжение на аноде
кВ
7
7
7
Кол-во электродных блоков
шт
1
2
4
Габаритные размеры
мм
222×121×161
290×120×299
350×250×307
Масса
кг
8
22
38
Наличие кожуха для обогрева
-
нет
нет
нет
Блок питания
-
2LD-400A, 2LD-400C
2LD-400A, 2LD-400C
2LD-400A, 2LD-400C
Параметр / Характеристика
Ед.изм.
2L-200B
2L-200C
2L-400
2L-400C
Присоединительный фланец
мм
CF150
CF150
CF150
CF150
Наибольшая быстрота действия по воздуху
л/c
2З0
220
450
450
Наибольшая быстрота действия по аргону
л/c
24
24
45
45
Стартовое давление *)
Па
≤5×10-4 **)
≤5×10-4 **)
≤5×10-4 **)
≤5×10-4 **)
Предельное остаточное давление
Па
≤2.7×10-8
≤1×10-8
≤2.7×10-8
≤1×10-8
Макс. температура прогрева (с магнитами)
°C
<200
<200
<200
<200
Макс. температура прогрева (без магнитов)
°C
<300
<300
<300
<300
Рабочее напряжение на аноде
кВ
7
7
5
5
Кол-во электродныч блоков
шт
4
4
4
4
Габаритные размеры
мм
500×265×430
500×265×430
500×265×600
500×265×600
Масса
кг
100
100
15З
15З
Наличие кожуха для обогрева
-
есть (220В 5Гц)
есть (220В 5Гц)
есть (220В 5Гц)
есть (220В 5Гц)
Блок питания
-
2LD-400A, 2LD-400C
2LD-400A, 2LD-400C
2LD-400A, 2LD-400C
2LD-400A, 2LD-400C
Примечания:
*)
Стартовое давление – давление, до которого необходимо откачать вакуумную камеру/систему перед включением магниторазрядного насоса. Стартовое давление может заметно различаться в зависимости от условий эксплуатации насоса, объема вакуумной камеры и других условий.
**)
В случае, если объем вакуумной камеры/системы не очень велик, магниторазрядные насосы 2L, 3L могут быть включены при давлении 1×10-2 Па.
Предполагается, что в этом случае магниторазрядный насос достаточно быстро достигнет давлений ниже 1×10-3 Па.
Однако, возможно, пуск насоса придется придется повторить несколько раз: блок питания может отключиться из-за перегрузки.
В случае, если объем камеры достаточно велик, рекомендуется предварительно откачать систему турбомолекулярным насосом до давлений 5×10-4 Па.
Зависимость скорости откачки от давления и габаритные размеры насосов семейства 2L
Вся информация о товарах, услугах и ценах, предоставленная на данном интернет-сайте, носит исключительно информационный характер и
ни при каких условиях не является публичной офертой, определяемой положениями Статьи 437 Гражданского кодекса Российской Федерации.
давления
