Насосы магниторазрядные семейств 2L (диодные) и 3L (триодные)
полностью безмасляный вакуум;
нет движущихся частей;
в вакуумный объем не попадают частицы, являющиеся продуктом износа уплотнений;
отсутствует шум;
отсутствуют вибрации;
работает без дополнительного насоса, дополнительный насос нужен только для создания стартового давления
• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Перед включением магниторазрядного насоса необходимо создать предварительный вакуум (стартовое давление – см. раздел «Технические характеристики»). Далее магниторазрядный насос работает самостоятельно, дополнительный насос не требуется.
Насосы семейства 3L предназначены для откачки газовых смесей, содержащих инертные газы (аргон). Насосы семейства 2L имеют низкую срорость откачки аргона и других инертных газов
Магниторазрядные насосы 2L-200, 2L-400, 3L-200, 3L-400 дополнительно оснащены кожухом с встроенными нагревательными элементами для прогрева насосов (напряжение питания нагревательных элементов кожухов - 220 В 50 Гц).
Насос со снятым кожухом для прогрева
Кожухи для прогрева смонтированы на насос
• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ НАСОСОВ 2L, 3L
Параметр / Характеристика
Ед.изм.
2L-25
ЗL-25
2L-50
ЗL-50
2L-100
ЗL-100
Присоединительный фланец
мм
CF35
CF35
CF100
CF100
CF150
CF150
Наибольшая быстрота действия по воздуху
л/c
22
21
65
55
120
110
Наибольшая быстрота действия по аргону
л/c
0.З
6
6
12
12
24
Стартовое давление *)
Па
≤5×10-4 **)
≤5×10-4 **)
≤5×10-4 **)
≤5×10-4 **)
≤5×10-4 **)
≤5×10-4 **)
Предельное остаточное давление
Па
≤7×10-8
≤7×10-8
≤7×10-8
≤7×10-8
≤7×10-8
≤7×10-8
Макс. температура прогрева (с магнитами)
°C
<200
<200
<200
<200
<200
<200
Макс. температура прогрева (без магнитов)
°C
<300
<300
<300
<300
<300
<300
Рабочее напряжение на аноде
кВ
7
-5
7
-5
7
-5
Кол-во электродных блоков
шт.
1
1
2
2
4
4
Масса, кг
кг
8
8
22
22
38
38
Наличие кожуха для обогрева
-
нет
нет
нет
нет
нет
нет
Блок питания
-
2LD-400A, 2LD-400C
3LD-400C
2LD-400A, 2LD-400C
3LD-400C
2LD-400A, 2LD-400C
3LD-400C
Параметр / Характеристика
Ед.изм.
2L-200B
2L-200C
2L-400
ЗL-400
2L-400C
ЗL-400С
Присоединительный фланец
мм
CF150
CF150
CF150
CF150
CF150
CF150
Наибольшая быстрота действия по воздуху
л/c
2З0
220
450
420
450
420
Наибольшая быстрота действия по аргону
л/c
24
24
45
85
45
85
Стартовое давление *)
Па
≤5×10-4 **)
≤5×10-4 **)
≤5×10-4 **)
≤5×10-4 **)
≤5×10-4 **)
Предельное остаточное давление
Па
≤2.7×10-8
≤1×10-8
≤2.7×10-8
≤2.7×10-8
≤1×10-8
≤1×10-8
Макс. температура прогрева (с магнитами)
°C
<200
<200
<200
<200
<200
<200
Макс. температура прогрева (без магнитов)
°C
<300
<300
<300
<300
<300
<300
Рабочее напряжение на аноде
кВ
7
7
5
-5
5
-5
Кол-во электродныч блоков
шт.
4
4
4
4
4
4
Масса, кг
кг
100
100
15З
15З
15З
15З
Наличие кожуха для обогрева
-
есть (220В 5Гц)
есть (220В 5Гц)
есть (220В 5Гц)
есть (220В 5Гц)
есть (220В 5Гц)
есть (220В 5Гц)
Блок питания
-
2LD-400A, 2LD-400C
2LD-400A, 2LD-400C
2LD-400A, 2LD-400C
3LD-400C
2LD-400A, 2LD-400C
3LD-400C
Примечания:
*)
Стартовое давление – давление, до которого необходимо откачать вакуумную камеру/систему перед включением магниторазрядного насоса. Стартовое давление может заметно различаться в зависимости от условий эксплуатации насоса, объема вакуумной камеры и других условий.
**)
В случае, если объем вакуумной камеры/системы не очень велик, магниторазрядные насосы 2L, 3L могут быть включены при давлении 1×10-2 Па.
Предполагается, что в этом случае магниторазрядный насос достаточно быстро достигнет давлений ниже 1×10-3 Па.
Однако, возможно, пуск насоса придется придется повторить несколько раз: блок питания может отключиться из-за перегрузки.
В случае, если объем камеры достаточно велик, рекомендуется предварительно откачать систему турбомолекулярным насосом до давлений 5×10-4 Па.
• ЗАВИСИМОСТЬ БЫСТРОТЫ ОТКАЧКИ ОТ ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ НАСОСОВ 2L, 3L
• ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ НАСОСОВ 2L, 3L
• БЛОКИ ПИТАНИЯ НАСОСОВ 2L, 3L
Параметр / Характеристика
Ед.изм.
2LD-400A
2LD-400С
3LD-400С
Напряжение питания (сеть переменного тока 50 Гц)
В
220
220
220
Выходное напряжение (постоянное)
кВ
+3,+5,+7
+3,+5,+7
-5
Максимальный выходной ток
А
0.1
0.1
0.1
Минимальный измеряемый выходной ток
А
1×10-7
1×10-7
1×10-7
Максимальная выходная мощность
кВт
400
150
150
Цепь управления
-
аналоговая
цифровая
цифровая
Вес
кг
20
4
4
Габаритные размеры
мм
242×177×487
242×133×296
242×133×296
При использовании материалов сайта ссылка обязательна
давления
