Научно-производственная компания "АВАКС" | Вакуумное оборудование | Вакуумные системы | Вакуумные насосы | Магниторазрядные насосы | Насосы магниторазрядные семейств 2L (диодные) и 3L (триодные)

Фланцы вакуумные

Уплотнения

вакуумные

Монтажные

Насосы магниторазрядные семейств 2L (диодные) и 3L (триодные)

полностью безмасляный вакуум;
нет движущихся частей;
в вакуумный объем не попадают частицы, являющиеся продуктом износа уплотнений;
отсутствует шум;
отсутствуют вибрации;

работает без дополнительного насоса, дополнительный насос нужен только для создания стартового давления

• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ

Перед включением магниторазрядного насоса необходимо создать предварительный вакуум (стартовое давление – см. раздел «Технические характеристики»). Далее магниторазрядный насос работает самостоятельно, дополнительный насос не требуется.

Насосы семейства 3L предназначены для откачки газовых смесей, содержащих инертные газы (аргон). Насосы семейства 2L имеют низкую срорость откачки аргона и других инертных газов

Магниторазрядные насосы 2L-200, 2L-400, 3L-200, 3L-400 дополнительно оснащены кожухом с встроенными нагревательными элементами для прогрева насосов (напряжение питания нагревательных элементов кожухов - 220 В 50 Гц).


Насос со снятым кожухом для прогрева	Кожухи для прогрева смонтированы на насос

• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ НАСОСОВ 2L, 3L

Параметр / Характеристика	Ед.изм.	2L-25	ЗL-25	2L-50	ЗL-50	2L-100	ЗL-100
Присоединительный фланец	мм	CF35	CF35	CF100	CF100	CF150	CF150
Наибольшая быстрота действия по воздуху	л/c	22	21	65	55	120	110
Наибольшая быстрота действия по аргону	л/c	0.З	6	6	12	12	24
Стартовое давление ^*)	Па	≤5×10^{-4 **)}	≤5×10^{-4 **)}	≤5×10^{-4 **)}	≤5×10^{-4 **)}	≤5×10^{-4 **)}	≤5×10^{-4 **)}
Предельное остаточное давление	Па	≤7×10^-8	≤7×10^-8	≤7×10^-8	≤7×10^-8	≤7×10^-8	≤7×10^-8
Макс. температура прогрева (с магнитами)	°C	<200	<200	<200	<200	<200	<200
Макс. температура прогрева (без магнитов)	°C	<300	<300	<300	<300	<300	<300
Рабочее напряжение на аноде	кВ	7	-5	7	-5	7	-5
Кол-во электродных блоков	шт.	1	1	2	2	4	4
Масса, кг	кг	8	8	22	22	38	38
Наличие кожуха для обогрева	-	нет	нет	нет	нет	нет	нет
Блок питания	-	2LD-400A, 2LD-400C	3LD-400C	2LD-400A, 2LD-400C	3LD-400C	2LD-400A, 2LD-400C	3LD-400C

Параметр / Характеристика	Ед.изм.	2L-200B	2L-200C	2L-400	ЗL-400	2L-400C	ЗL-400С
Присоединительный фланец	мм	CF150	CF150	CF150	CF150	CF150	CF150
Наибольшая быстрота действия по воздуху	л/c	2З0	220	450	420	450	420
Наибольшая быстрота действия по аргону	л/c	24	24	45	85	45	85
Стартовое давление ^*)	Па	≤5×10^{-4 **)}	≤5×10^{-4 **)}	≤5×10^{-4 **)}		≤5×10^{-4 **)}	≤5×10^{-4 **)}
Предельное остаточное давление	Па	≤2.7×10^-8	≤1×10^-8	≤2.7×10^-8	≤2.7×10^-8	≤1×10^-8	≤1×10^-8
Макс. температура прогрева (с магнитами)	°C	<200	<200	<200	<200	<200	<200
Макс. температура прогрева (без магнитов)	°C	<300	<300	<300	<300	<300	<300
Рабочее напряжение на аноде	кВ	7	7	5	-5	5	-5
Кол-во электродныч блоков	шт.	4	4	4	4	4	4
Масса, кг	кг	100	100	15З	15З	15З	15З
Наличие кожуха для обогрева	-	есть (220В 5Гц)	есть (220В 5Гц)	есть (220В 5Гц)	есть (220В 5Гц)	есть (220В 5Гц)	есть (220В 5Гц)
Блок питания	-	2LD-400A, 2LD-400C	2LD-400A, 2LD-400C	2LD-400A, 2LD-400C	3LD-400C	2LD-400A, 2LD-400C	3LD-400C

Примечания:

Стартовое давление – давление, до которого необходимо откачать вакуумную камеру/систему перед включением магниторазрядного насоса. Стартовое давление может заметно различаться в зависимости от условий эксплуатации насоса, объема вакуумной камеры и других условий.

**)

В случае, если объем вакуумной камеры/системы не очень велик, магниторазрядные насосы 2L, 3L могут быть включены при давлении 1×10^-2 Па. Предполагается, что в этом случае магниторазрядный насос достаточно быстро достигнет давлений ниже 1×10^-3 Па. Однако, возможно, пуск насоса придется придется повторить несколько раз: блок питания может отключиться из-за перегрузки. В случае, если объем камеры достаточно велик, рекомендуется предварительно откачать систему турбомолекулярным насосом до давлений 5×10^-4 Па.

• ЗАВИСИМОСТЬ БЫСТРОТЫ ОТКАЧКИ ОТ ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ НАСОСОВ 2L, 3L

Зависимость быстроты откачки от давления остаточных газов насосов 2L, 3L

• ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ НАСОСОВ 2L, 3L

• БЛОКИ ПИТАНИЯ НАСОСОВ 2L, 3L

Блок питания магниторазрядных насосов 2LD-400A

Блок питания магниторазрядных насосов 2LD-400C

Параметр / Характеристика	Ед.изм.	2LD-400A	2LD-400С	3LD-400С
Напряжение питания (сеть переменного тока 50 Гц)	В	220	220	220
Выходное напряжение (постоянное)	кВ	+3,+5,+7	+3,+5,+7	-5
Максимальный выходной ток	А	0.1	0.1	0.1
Минимальный измеряемый выходной ток	А	1×10^-7	1×10^-7	1×10^-7
Максимальная выходная мощность	кВт	400	150	150
Цепь управления	-	аналоговая	цифровая	цифровая
Вес	кг	20	4	4
Габаритные размеры	мм	242×177×487	242×133×296	242×133×296