ООО "АВАКС"
    Научно-производственная фирма

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ












    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    Главная > Вакуумные насосы > Магниторазрядные > Насосы магниторазрядные семейств 2L (диодные) и 3L (триодные) >

    Насосы магниторазрядные семейств 2L (диодные) и 3L (триодные)


    • полностью безмасляный вакуум;
    • нет движущихся частей;
    • в вакуумный объем не попадают частицы, являющиеся продуктом износа уплотнений;
    • отсутствует шум;
    • отсутствуют вибрации;
    • работает без дополнительного насоса, дополнительный насос нужен только для создания стартового давления


    • ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ



    Перед включением магниторазрядного насоса необходимо создать предварительный вакуум (стартовое давление – см. раздел «Технические характеристики»). Далее магниторазрядный насос работает самостоятельно, дополнительный насос не требуется.

    Насосы семейства 3L предназначены для откачки газовых смесей, содержащих инертные газы (аргон). Насосы семейства 2L имеют низкую срорость откачки аргона и других инертных газов

    Магниторазрядные насосы 2L-200, 2L-400, 3L-200, 3L-400 дополнительно оснащены кожухом с встроенными нагревательными элементами для прогрева насосов (напряжение питания нагревательных элементов кожухов - 220 В 50 Гц).

    Насос со снятым кожухом для прогрева Кожухи для прогрева
    смонтированы на насос


    • ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ НАСОСОВ 2L, 3L

    Параметр / Характеристика Ед.изм. 2L-25 ЗL-25 2L-50 ЗL-50 2L-100 ЗL-100
    Присоединительный фланец мм CF35 CF35 CF100 CF100 CF150 CF150
    Наибольшая быстрота действия по воздуху л/c 22 21 65 55 120 110
    Наибольшая быстрота действия по аргону л/c 0.З 6 6 12 12 24
    Стартовое давление *) Па ≤5×10-4 **) ≤5×10-4 **) ≤5×10-4 **) ≤5×10-4 **) ≤5×10-4 **) ≤5×10-4 **)
    Предельное остаточное давление Па ≤7×10-8 ≤7×10-8 ≤7×10-8 ≤7×10-8 ≤7×10-8 ≤7×10-8
    Макс. температура прогрева (с магнитами) °C <200 <200 <200 <200 <200 <200
    Макс. температура прогрева (без магнитов) °C <300 <300 <300 <300 <300 <300
    Рабочее напряжение на аноде кВ 7 -5 7 -5 7 -5
    Кол-во электродных блоков шт. 1 1 2 2 4 4
    Масса, кг кг 8 8 22 22 38 38
    Наличие кожуха для обогрева - нет нет нет нет нет нет
    Блок питания - 2LD-400A, 2LD-400C 3LD-400C 2LD-400A, 2LD-400C 3LD-400C 2LD-400A, 2LD-400C 3LD-400C


    Параметр / Характеристика Ед.изм. 2L-200B 2L-200C 2L-400 ЗL-400 2L-400C ЗL-400С
    Присоединительный фланец мм CF150 CF150 CF150 CF150 CF150 CF150
    Наибольшая быстрота действия по воздуху л/c 2З0 220 450 420 450 420
    Наибольшая быстрота действия по аргону л/c 24 24 45 85 45 85
    Стартовое давление *) Па ≤5×10-4 **) ≤5×10-4 **) ≤5×10-4 **) ≤5×10-4 **) ≤5×10-4 **)
    Предельное остаточное давление Па ≤2.7×10-8 ≤1×10-8 ≤2.7×10-8 ≤2.7×10-8 ≤1×10-8 ≤1×10-8
    Макс. температура прогрева (с магнитами) °C <200 <200 <200 <200 <200 <200
    Макс. температура прогрева (без магнитов) °C <300 <300 <300 <300 <300 <300
    Рабочее напряжение на аноде кВ 7 7 5 -5 5 -5
    Кол-во электродныч блоков шт. 4 4 4 4 4 4
    Масса, кг кг 100 100 15З 15З 15З 15З
    Наличие кожуха для обогрева - есть (220В 5Гц) есть (220В 5Гц) есть (220В 5Гц) есть (220В 5Гц) есть (220В 5Гц) есть (220В 5Гц)
    Блок питания - 2LD-400A, 2LD-400C 2LD-400A, 2LD-400C 2LD-400A, 2LD-400C 3LD-400C 2LD-400A, 2LD-400C 3LD-400C


    Примечания:
    *)

    Стартовое давление – давление, до которого необходимо откачать вакуумную камеру/систему перед включением магниторазрядного насоса. Стартовое давление может заметно различаться в зависимости от условий эксплуатации насоса, объема вакуумной камеры и других условий.

    **)

    В случае, если объем вакуумной камеры/системы не очень велик, магниторазрядные насосы 2L, 3L могут быть включены при давлении 1×10-2 Па. Предполагается, что в этом случае магниторазрядный насос достаточно быстро достигнет давлений ниже 1×10-3 Па. Однако, возможно, пуск насоса придется придется повторить несколько раз: блок питания может отключиться из-за перегрузки. В случае, если объем камеры достаточно велик, рекомендуется предварительно откачать систему турбомолекулярным насосом до давлений 5×10-4 Па.



    • ЗАВИСИМОСТЬ БЫСТРОТЫ ОТКАЧКИ ОТ ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ НАСОСОВ 2L, 3L

    Зависимость быстроты откачки от давления остаточных газов насосов 2L, 3L


    • ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ НАСОСОВ 2L, 3L

    Габаритные размеры насосов 2L, 3L


    • БЛОКИ ПИТАНИЯ НАСОСОВ 2L, 3L

    Блок питания магниторазрядных насосов 2LD-400A Блок питания магниторазрядных насосов 2LD-400C

    Параметр / Характеристика Ед.изм. 2LD-400A 2LD-400С 3LD-400С
    Напряжение питания (сеть переменного тока 50 Гц) В 220 220 220
    Выходное напряжение (постоянное) кВ +3,+5,+7 +3,+5,+7 -5
    Максимальный выходной ток А 0.1 0.1 0.1
    Минимальный измеряемый выходной ток А 1×10-7 1×10-7 1×10-7
    Максимальная выходная мощность кВт 400 150 150
    Цепь управления - аналоговая цифровая цифровая
    Вес кг 20 4 4
    Габаритные размеры мм 242×177×487 242×133×296 242×133×296