Группа компаний "АВАКС"
    Надежное оборудование от ведущих производителей и собственного производства

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ















    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    АВАКС в социальных сетях:

    Главная > Компоненты установок > Устройства магнетронного распыления > Семейство АВ5110 магнетронов постоянного тока с дополнительной магнитной системой >

    Семейство АВ5110 магнетронов постоянного тока с дополнительной магнитной системой



    • Дополнительная магнитная система, позволяющая использовать мишени меньшего размера;
    • Любое расположение в вакууммной камере;
    • Компактные размеры;
    • Монтажное отверстие для вводов охлаждения диаметром от 17 мм;
    • Использование мишеней прямого и косвенного охлаждения;
    • Возможность распыления магнитных материалов;
    • Широкий диапазон давлений рабочего газа;
    • Широкий диапазон скорости распыления;
    • Простота монтажа в серийное отечественное оборудование для нанесения покрытий, в том числе в установки типа УВН, УРМ и другие.
    Общие сведения

    Вводы охлаждения магнетронов наружным диаметром 6 мм выполнены гибкими трубками из нержавеющей стали, что позволяет легко располагать и монтировать магнетроны в любом удобном месте вакуумной камеры.

    Устройства магнетронного распыления могут быть укомплектованы фланцами, обеспечивающими подачу и слив охлаждающей жидкости, в том числе фланцами, выполненными по техническому заданию заказчика. Минимальный размер монтажного отверстия в вакуумной камере для размещения фланца, обеспечивающего подвод обеих трубок охлаждения, составляет 17 мм.

    Варианты исполнения

    Семейство устройств магнетронного распыления АВ5110 имеет унифицированный корпус диаметром 120 мм и включает в себя магнетроны постоянного тока для работы с мишенями непосредственного и (или) косвенного охлаждения. Отличительной особенностью семейства АВ5110 является наличие дополнительной магнитной системы, причем конструкция магнетронов позволяет обеспечить замену основной магнитной системы на дополнительную без демонтажа его корпуса из вакуумной камеры. Дополнительная магнитная система позволяет использовать мишени меньшего размера, что полезно, например, при распыленмии дорогостоящих материалов.

    • АВ5110 магнетрон постоянного тока для работы с мишенями косвенного охлаждения основной и дополнительной магнитной систем;
    • АВ5111 магнетрон постоянного тока для работы с мишенями непосредственного охлаждения основной магнитной системы и косвенного охлаждения дополнительной магнитной системы;
    • АВ5112 магнетрон постоянного тока для работы с мишенями косвенного и непосредственного охлаждения основной магнитной системы и косвенного охлаждения дополнительной магнитной системы.
    Основные технические характеристики
    Параметр Ед.изм. Устройства магнетронного распыления семейства АВ5110
    Назначение: Распыление проводящих мишеней
    Тип: Магнетрон постоянного тока
    Габаритные размеры корпуса магнетрона: мм Ø120 × 25
    Способ монтажа в вакууммной камере: На одной стойке
    Kоличество вводов охлаждения: шт 2
    Способ монтажа вводов охлаждения: С использованием фланцев семейства АВ3710 или посредством иного вакууммно плотного соединения
    Внешний диаметр вводов охлаждения: мм Ø6 ± 0.1
    Тип магнитной системы: Постоянные магниты
    Количество сменных магнитных систем: шт 2, основная магнитная система (ОМС) и дополнительная магнитная система (ДМС)
    Диаметр магнитной системы: мм Ø93
    Охлаждение мишени ОМС: Непосредственное или косвенное
    Охлаждение мишени ДМС: Косвенное
    Диаметр мишени непосредственного охлаждения ОМС: мм Ø98
    Диаметр мишени косвенного охлаждения ОМС: мм Ø93
    Диаметр мишени ДМС: мм Ø53
    Максимальная толщина мишени непосредственного охлаждения ОМС: мм 10
    Максимальная толщина мишени косвенного охлаждения ОМС: мм 5
    Максимальная толщина мишени ДМС: мм 4
    Рабочее напряжение: В 300 - 400
    Рабочий ток (ОМС): А до 3
    Рабочий ток (ДМС): А до 0.5
    Напряжение поджига: В 700 - 1000
    Основной конструкционный материал: Нержавеющая сталь 12Х18Н10Т