ООО "АВАКС"
    Научно-производственная фирма

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ












    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    Главная > Компоненты установок > Газовые системы >

    Газовые системы



    • НАЗНАЧЕНИЕ И ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ

    В зависимости от назначения газовые системы могут быть условно разделены на две группы:
    - Системы подачи рабочего газа (или смеси газов) в вакуумную камеру или реактор технологического оборудования - в этом случае одновременно с подачей осуществляется и откачка вакуумной камеры (или выпуск газа в атмосферу из реактора), при этом система работает при постоянном потоке газа (необходимо контролировать поток и давление в вакуумной камере);
    - Системы заполнения газом (или смесью газов) изделий различного назначения - в этом случае необходимо контролировать давление в заполняемом объеме, поток изменяется от максимального значения до нуля (изделие заполнено до нужного давления).

    1. Системы подачи рабочего газа (или смеси газов)
    Системы подачи рабочего газа являются одним из наиболее важных компонентов в технологических установках, связанных с применением газов и их смесей (магнетронное напыление, ионная очистка, установки газофазной эпитаксии и многие другие). Такие системы позволяют проводить подготовку газов и их смесей, приготавливать смеси газов в заданных пропорциях, контролировать и управлять потоками рабочих газов и доставлять их в необходимом количестве в вакуумные и другие системы. Параметры газовой системы являются ключевыми при постановке стабильного и воспроизводимого технологического процесса, от ее конструкции и используемых компонентов напрямую будет зависеть его результат.
    Системы подачи рабочего газа в вакуумную камеру, проектируемые и изготавливаемые ООО «АВАКС», построены на современных комплектующих российских и мировых производителей и в целом аналогичны системам, используемым в ростовых установках газофазной эпитаксии, и гарантировано с точки зрения подачи рабочего газа обеспечивают стабильность и воспроизводимость технологического процесса.

    2. Системы заполнения газом (или смесью газов) изделий различного назначения Системы для заполнения используются в случаях, когда необходимо заполнить объект (изделие) тем или иным газом или их смесью (для обеспечения избыточного давления при эксплуатации, для проверки герметичности изделий а также для многих других целей).
    Перед заполнением газом объем изделия необходимо предварительно откачать - поэтому в состав таких систем входит собственная система откачки. В зависимости от назначения, система откачки может состоять из форвакуумного насоса или форвакуумного и высоковакуумного насоса.

    Кроме типовых исполнений систем подачи рабочих газов, перечисленных ниже, ООО "АВАКС" производит разработку и изготовление таких систем по индивидуальным заказам, с учетом конкретных особенностей технологического оборудования заказчика и технологических процессов, которые на этом оборудовании реализованы.



    • ТИПОВЫЕ ИСПОЛНЕНИЯ И ВАРИАНТЫ КОМПЛЕКТАЦИИ

    Двухканальная система подачи рабочего газа АВ4202

    Имеет два независимых канала и предназначены как для раздельной подачи в вакуумную камеру или реактор установки двух различных газов, так и для контролируемого приготовления смеси двух рабочих газов с заданными параметрами.
    Блок управления подачей рабочего газа АВ2201

    Предназначены для управления процессами подачи рабочих газов в составе газовых систем различного назначения.
    Системы для заполнения изделий газом (смесью газов)

    Системы для заполнения используются в случаях, когда необходимо заполнить объект (изделие) тем или иным газом или их смесью (для обеспечения избыточного давления при эксплуатации, для проверки герметичности изделий а также для многих других целей). Перед заполнением газом объем изделия необходимо предварительно откачать - поэтому в состав таких систем входит собственная система откачки. В зависимости от назначения, система откачки может состоять из форвакуумного насоса или форвакуумного и высоковакуумного насоса. ООО "АВАКС" разрабатывает и изготавливает системы заполнения газами по индивидуальному техническому заданию - от простых систем с ручным управлением до систем автоматического заполнения смесью газов с заданным соотношением компонентов газовой смеси.



    • РАЗРАБОТКА И ИЗГОТОВЛЕНИЕ ГАЗОВЫХ СИСТЕМ ПО ЗАКАЗУ

    Конструкция систем подачи рабочего газа, как правило, тесно связана с назначением и типом оборудования, его оснасткой, с параметрами технологического процесса и поэтому ее конкретная реализация во многом индивидуальна.

    При разработке и изготовлении каждой системы по заказу мы, используя имеющиеся наработки по конструкции и комплектации систем, учитываем особенности Вашего технологического оборудования и процессов. Могут быть предусмотрены, например, необходимое количество каналов подачи рабочего газа, возможность работы с агрессивными газами и др.

    Конечным результатом выполнения работ по разработке и изготовлению газовой системы по заказу является то что Вы получаете систему, которая полностью адаптирована под Ваше оборудование и обеспечивает максимальную эффективность использования, удобство эксплуатации и обслуживания. Разработка и изготовление газовых систем осуществляется по Вашему техническому заданию (при необходимости наши технические специалисты помогут Вам такое техническое задание разработать).