ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма

ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ













Консультации on-line:
ICQ: 281785897
Skype: AVACUUM

E-mail: info@avacuum.ru
Web: https://www.avacuum.ru

Тел: +7 (812) 702-82-28
+7 (812) 372-55-45
Факс: +7 (812) 372-55-45

Главная > Компоненты установок > Газовые системы > Двухканальная система подачи рабочего газа АВ4202 >

Двухканальная система подачи рабочего газа АВ4202


  • Возможность подачи смеси газов любого состава
  • Высокая стабильность расходов рабочих газов
  • Отсутствие загрязнения рабочих газов



Техническое описание и инструкция по эксплуатации двухканальной газовой панели АВ4202 (562 Kb)
Техническое описание и инструкция по эксплуатации блока управления подачей газа АВ2201 (1803 Kb)



Блок управления подачей газа АВ2201

__
• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ О ДВУХКАНАЛЬНОЙ СИСТЕМЕ ПОДАЧИ РАБОЧЕГО ГАЗА АВ4202

Газовая система (система подачи рабочего газа, газовый щит) АВ4202 предназначена для использования в составе технологических установок, связанных с применением различных газов и их смесей (установок магнетронного напыления, плазмохимического травления и осаждения и других). Система позволяет раздельно подавать в камеру установки два различных рабочих газа а также приготовливать смесь двух рабочих газов с заданными параметрами.

Конструкционным материалом магистралей газовой системы является нержавеющая сталь, а при сборке и монтаже системы выполняются все операции, необходимые для обеспечения чистоты системы и работы с чистыми газами. Диапазоны расхода газа, на который рассчитаны каналы системы подачи рабочего газа, определяются в соответствии с техническими требованиями, выполнение которых необходимо заказчику.

Управление ситемой подачи рабочего газа обеспечивается электронным микропроцессорным блоком АВ2201.




• ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ДВУХКАНАЛЬНОЙ СИСТЕМЫ ПОДАЧИ РАБОЧЕГО ГАЗА АВ4202

Количество каналов подачи рабочего газа: 2 шт
Рекомендуемый блок управления: АВ2201
Тип элементов, регулирующих поток рабочего газа: РРГ-10 в стандартной комплектации (возможна комплектация по выбору Заказчика)
Исполнение элементов, регулирующих поток рабочего газа: инертно-хлоридное в стандартной комплектации (возможна комплектация по выбору Заказчика)
Тип регуляторов давления: РДМ-24 в стандартной комплектации (возможна комплектация по выбору Заказчика)
Запорная арматура: AP 3540SM, AP 3600SM (ApTech)
Тип соединительных фитингов газовой панели: VCR ¼” (SS-4-VCR)
Входные присоединительные фитинги газовой панели: VCR ¼ male nut 9/16"-18
Выходной присоединительный фитинг газовой панели: VCR ¼ female nut 9/16"-18
Тип присоединительных фитингов для подключения течеискателя: ISO KF16 (по 1 на канал)
Напряжение питания регуляторов расхода газа (для РРГ-10): ±15 В
Диапазон изменения напряжения на входах управления регуляторов расхода газа (для РРГ-10): 0 – 5 В
Диапазон изменения напряжения на выходах регуляторов расхода газа: 0 – 10 В
Напряжение питания пневматических коммутаторов (пилотных клапанов): 24 В (постоянное)
Давление воздуха, необходимое для работы пневматических клапанов: 4-8 бар
Присоединительный фитинг пневматической системы газовой панели: быстроразъемный, внешний диаметр присоединяемой трубки 6 мм
Диапазон регулирования потоков рабочих газов: по согласованию с Заказчиком
Габаритные размеры (без кабелей), не более: 440х470х140 мм
Время непрерывной работы в нормальных условиях: не ограничено




Техническое описание и инструкция по эксплуатации двухканальной газовой панели АВ4202 (562 Kb)
Техническое описание и инструкция по эксплуатации блока управления подачей газа АВ2201 (1803 Kb)