Газовая система (система подачи рабочего газа, газовый щит) АВ4202 предназначена для использования в составе технологических установок, связанных с применением различных газов и их смесей (установок магнетронного напыления, плазмохимического травления и осаждения и других). Система позволяет раздельно подавать в камеру установки два различных рабочих газа а также приготовливать смесь двух рабочих газов с заданными параметрами.
Конструкционным материалом магистралей газовой системы является нержавеющая сталь, а при сборке и монтаже системы выполняются все операции, необходимые для обеспечения чистоты системы и работы с чистыми газами. Диапазоны расхода газа, на который рассчитаны каналы системы подачи рабочего газа, определяются в соответствии с техническими требованиями, выполнение которых необходимо заказчику.
Управление ситемой подачи рабочего газа обеспечивается электронным микропроцессорным блоком АВ2201.
| Параметр |
Значение |
| Количество каналов подачи рабочего газа: |
2 шт. |
| Рекомендуемый блок управления: |
АВ2201 |
| Тип элементов, регулирующих поток рабочего газа: |
РРГ-10 в стандартной комплектации (возможна комплектация по выбору Заказчика) |
| Исполнение элементов, регулирующих поток рабочего газа: |
Инертно-хлоридное в стандартной комплектации (возможна комплектация по выбору Заказчика) |
| Тип регуляторов давления: |
РДМ-24 в стандартной комплектации (возможна комплектация по выбору Заказчика) |
| Запорная арматура: |
AP 3540SM, AP 3600SM (ApTech) |
| Тип соединительных фитингов газовой панели: |
VCR ¼” (SS-4-VCR) |
| Входные присоединительные фитинги газовой панели: |
VCR ¼ male nut 9/16"-18 |
| Выходной присоединительный фитинг газовой панели: |
VCR ¼ female nut 9/16"-18 |
| Тип присоединительных фитингов для подключения течеискателя: |
ISO KF16 (по 1 на канал) |
| Напряжение питания регуляторов расхода газа (для РРГ-10): |
± 15 В |
| Диапазон изменения напряжения на входах управления регуляторов расхода газа (для РРГ-10): |
0 – 5 В |
| Диапазон изменения напряжения на выходах регуляторов расхода газа: |
0 – 10 В |
| Напряжение питания пневматических коммутаторов (пилотных клапанов): |
24 В (постоянное) |
| Давление воздуха, необходимое для работы пневматических клапанов: |
4-8 бар |
| Присоединительный фитинг пневматической системы газовой панели: |
Быстроразъемный, внешний диаметр присоединяемой трубки 6 мм |
| Диапазон регулирования потоков рабочих газов: |
По согласованию с Заказчиком |
| Габаритные размеры (без кабелей), не более: |
440 × 470 × 140 мм |
| Время непрерывной работы в нормальных условиях: |
Не ограничено |
давления
