Научно-производственная компания "АВАКС" | Вакуумное оборудование | Вакуумные системы | Компоненты установок | Газовые системы | Двухканальная система подачи рабочего газа АВ4202

Фланцы вакуумные

Уплотнения

вакуумные

Монтажные

Двухканальная система подачи рабочего газа АВ4202

Возможность подачи смеси газов любого состава
Высокая стабильность расходов рабочих газов
Отсутствие загрязнения рабочих газов

	Техническое описание и инструкция по эксплуатации двухканальной газовой панели АВ4202 (562 Kb)
	Техническое описание и инструкция по эксплуатации блока управления подачей газа АВ2201 (1803 Kb)

Блок управления подачей газа АВ2201
__
• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ О ДВУХКАНАЛЬНОЙ СИСТЕМЕ ПОДАЧИ РАБОЧЕГО ГАЗА АВ4202
Газовая система (система подачи рабочего газа, газовый щит) АВ4202 предназначена для использования в составе технологических установок, связанных с применением различных газов и их смесей (установок магнетронного напыления, плазмохимического травления и осаждения и других). Система позволяет раздельно подавать в камеру установки два различных рабочих газа а также приготовливать смесь двух рабочих газов с заданными параметрами.
Конструкционным материалом магистралей газовой системы является нержавеющая сталь, а при сборке и монтаже системы выполняются все операции, необходимые для обеспечения чистоты системы и работы с чистыми газами. Диапазоны расхода газа, на который рассчитаны каналы системы подачи рабочего газа, определяются в соответствии с техническими требованиями, выполнение которых необходимо заказчику.
Управление ситемой подачи рабочего газа обеспечивается электронным микропроцессорным блоком АВ2201.

• ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ДВУХКАНАЛЬНОЙ СИСТЕМЫ ПОДАЧИ РАБОЧЕГО ГАЗА АВ4202

Количество каналов подачи рабочего газа:	2 шт
Рекомендуемый блок управления:	АВ2201
Тип элементов, регулирующих поток рабочего газа:	РРГ-10 в стандартной комплектации (возможна комплектация по выбору Заказчика)
Исполнение элементов, регулирующих поток рабочего газа:	инертно-хлоридное в стандартной комплектации (возможна комплектация по выбору Заказчика)
Тип регуляторов давления:	РДМ-24 в стандартной комплектации (возможна комплектация по выбору Заказчика)
Запорная арматура:	AP 3540SM, AP 3600SM (ApTech)
Тип соединительных фитингов газовой панели:	VCR ¼” (SS-4-VCR)
Входные присоединительные фитинги газовой панели:	VCR ¼ male nut 9/16"-18
Выходной присоединительный фитинг газовой панели:	VCR ¼ female nut 9/16"-18
Тип присоединительных фитингов для подключения течеискателя:	ISO KF16 (по 1 на канал)
Напряжение питания регуляторов расхода газа (для РРГ-10):	±15 В
Диапазон изменения напряжения на входах управления регуляторов расхода газа (для РРГ-10):	0 – 5 В
Диапазон изменения напряжения на выходах регуляторов расхода газа:	0 – 10 В
Напряжение питания пневматических коммутаторов (пилотных клапанов):	24 В (постоянное)
Давление воздуха, необходимое для работы пневматических клапанов:	4-8 бар
Присоединительный фитинг пневматической системы газовой панели:	быстроразъемный, внешний диаметр присоединяемой трубки 6 мм
Диапазон регулирования потоков рабочих газов:	по согласованию с Заказчиком
Габаритные размеры (без кабелей), не более:	440х470х140 мм
Время непрерывной работы в нормальных условиях:	не ограничено

	Техническое описание и инструкция по эксплуатации двухканальной газовой панели АВ4202 (562 Kb)
	Техническое описание и инструкция по эксплуатации блока управления подачей газа АВ2201 (1803 Kb)