ООО "АВАКС"
    Научно-производственная фирма

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ












    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    Главная > Компоненты установок > Газовые системы > Двухканальная система подачи рабочего газа АВ4202 >

    Двухканальная система подачи рабочего газа АВ4202


    • Возможность подачи смеси газов любого состава
    • Высокая стабильность расходов рабочих газов
    • Отсутствие загрязнения рабочих газов



    Техническое описание и инструкция по эксплуатации двухканальной газовой панели АВ4202 (562 Kb)
    Техническое описание и инструкция по эксплуатации блока управления подачей газа АВ2201 (1803 Kb)



    Блок управления подачей газа АВ2201

    __
    • ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ О ДВУХКАНАЛЬНОЙ СИСТЕМЕ ПОДАЧИ РАБОЧЕГО ГАЗА АВ4202

    Газовая система (система подачи рабочего газа, газовый щит) АВ4202 предназначена для использования в составе технологических установок, связанных с применением различных газов и их смесей (установок магнетронного напыления, плазмохимического травления и осаждения и других). Система позволяет раздельно подавать в камеру установки два различных рабочих газа а также приготовливать смесь двух рабочих газов с заданными параметрами.

    Конструкционным материалом магистралей газовой системы является нержавеющая сталь, а при сборке и монтаже системы выполняются все операции, необходимые для обеспечения чистоты системы и работы с чистыми газами. Диапазоны расхода газа, на который рассчитаны каналы системы подачи рабочего газа, определяются в соответствии с техническими требованиями, выполнение которых необходимо заказчику.

    Управление ситемой подачи рабочего газа обеспечивается электронным микропроцессорным блоком АВ2201.




    • ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ДВУХКАНАЛЬНОЙ СИСТЕМЫ ПОДАЧИ РАБОЧЕГО ГАЗА АВ4202

    Количество каналов подачи рабочего газа: 2 шт
    Рекомендуемый блок управления: АВ2201
    Тип элементов, регулирующих поток рабочего газа: РРГ-10 в стандартной комплектации (возможна комплектация по выбору Заказчика)
    Исполнение элементов, регулирующих поток рабочего газа: инертно-хлоридное в стандартной комплектации (возможна комплектация по выбору Заказчика)
    Тип регуляторов давления: РДМ-24 в стандартной комплектации (возможна комплектация по выбору Заказчика)
    Запорная арматура: AP 3540SM, AP 3600SM (ApTech)
    Тип соединительных фитингов газовой панели: VCR ¼” (SS-4-VCR)
    Входные присоединительные фитинги газовой панели: VCR ¼ male nut 9/16"-18
    Выходной присоединительный фитинг газовой панели: VCR ¼ female nut 9/16"-18
    Тип присоединительных фитингов для подключения течеискателя: ISO KF16 (по 1 на канал)
    Напряжение питания регуляторов расхода газа (для РРГ-10): ±15 В
    Диапазон изменения напряжения на входах управления регуляторов расхода газа (для РРГ-10): 0 – 5 В
    Диапазон изменения напряжения на выходах регуляторов расхода газа: 0 – 10 В
    Напряжение питания пневматических коммутаторов (пилотных клапанов): 24 В (постоянное)
    Давление воздуха, необходимое для работы пневматических клапанов: 4-8 бар
    Присоединительный фитинг пневматической системы газовой панели: быстроразъемный, внешний диаметр присоединяемой трубки 6 мм
    Диапазон регулирования потоков рабочих газов: по согласованию с Заказчиком
    Габаритные размеры (без кабелей), не более: 440х470х140 мм
    Время непрерывной работы в нормальных условиях: не ограничено




    Техническое описание и инструкция по эксплуатации двухканальной газовой панели АВ4202 (562 Kb)
    Техническое описание и инструкция по эксплуатации блока управления подачей газа АВ2201 (1803 Kb)