ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма

ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ













Консультации on-line:
ICQ: 281785897
Skype: AVACUUM

E-mail: info@avacuum.ru
Web: https://www.avacuum.ru

Тел: +7 (812) 702-82-28
+7 (812) 372-55-45
Факс: +7 (812) 372-55-45

Главная > Вакуумная арматура > Гермовводы и манипуляторы для передачи движения в вакуумные системы > Манипуляторы >

Манипуляторы



• НАЗНАЧЕНИЕ И ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ

Манипуляторы - прецизионные гермовводы для передачи движения, имеющие несколько степеней свободы. Манипуляторы предназначены для точного позиционирования объектов в вакуумной камере. Основа манипуляторов - гермовводы с сильфонным уплотнением. Иcпользуются в большинстве случаев в высоковакуумных и сверхвысоковакуумных системах. Манипуляторы могут поставляться как в исполнении с ручным приводом, так и с приводами на основе шаговых двигателей.



1. Z - Манипуляторы (одна степень свободы)



Манипулятор Фланец A, мм B, мм C, мм D, мм E, мм F, мм Ход, мм
MZA-CF40-H-100 CF40 150-250 370 84 175 50 82 100
MZA-CF40-H-150 CF40 150-300 420 84 175 50 82 150
MZA-CF40-H-200 CF40 165-365 485 84 175 50 82 200
MZA-CF40-H-300 CF40 190-490 610 84 175 50 82 300
MZA-CF40-H-400 CF40 220-620 740 84 175 50 82 300
MZA-CF63-H-100 CF63 150-250 370 128 217 70 82 100
MZA-CF63-H-150 CF63 150-300 420 128 217 70 82 150
MZA-CF63-H-200 CF63 165-365 485 128 217 70 82 200
MZA-CF63-H-300 CF63 190-490 610 128 217 70 82 300
MZA-CF63-H-400 CF63 220-620 740 128 217 70 82 400
MZA-CF100-H-100 CF100 190-290 410 176 267 91 104 100
MZA-CF100-H-150 CF100 190-340 460 176 267 91 104 150
MZA-CF100-H-200 CF100 190-390 510 176 267 91 104 200
MZA-CF100-H-300 CF100 190-490 610 176 267 91 104 300
MZA-CF100-H-400 CF100 212-612 732 176 267 91 104 400

На верхний фланец манипулятора может быть смонтирован, например, ввод вращения (появится вращательная степень свободы) или X или XY манипуляторы (появятся дополнительно одна или 2 степени свободы) - таким образом может быть собран манипулятор, необходимый под решение конкретной задачи или применения.

Существуют исполнения гермоввода с электроприводом (в том числе на основе шаговых двигателей).



2. XY - Манипуляторы (две степени свободы)



Манипулятор Фланец A, мм B, мм C, мм D, мм Точность позиционирования, мкм
MXY-CF40-H-25 CF40 154 270 270 130 <5
MXY-CF63-H-50 CF63 204 371 371 184 <3
MXY-CF100-H-25 CF100 254 394 406 210 <3

На верхний фланец манипулятора может быть смонтирован, например, ввод вращения (появится дополнительная вращательная степень свободы) и/или Z манипулятор (появятся дополнительно еще одна степень свободы) - таким образом может быть собран манипулятор, необходимый под решение конкретной задачи или применения.

Существуют исполнения гермовводов с электроприводом (в том числе на основе шаговых двигателей).



3. XYZ - Манипуляторы (три степени свободы)



Манипулятор Фланец A, мм B, мм C, мм D, мм E, мм F, мм Ход(Z), мм Ход(X,Y), мм
MXYZ-CF40-H-100 CF40 210-310 400 82 321 63.5 232 100 ±12.5
MXYZ-CF40-H-150 CF40 210-360 450 82 321 63.5 232 150 ±12.5
MXYZ-CF40-H-200 CF40 225-425 515 82 321 63.5 232 200 ±12.5
MXYZ-CF40-H-300 CF40 250-550 640 82 321 63.5 232 300 ±12.5
MXYZ-CF40-H-400 CF40 280-680 770 82 321 63.5 232 400 ±12.5

На верхний фланец манипулятора может быть смонтирован ввод вращения (появится дополнительная вращательная степень свободы) - таким образом может быть собран манипулятор c возможностью перемещения в направлениях XYZ и вращением.