Общие сведения
Манипуляторы - прецизионные гермовводы для передачи движения, имеющие несколько степеней свободы. Манипуляторы предназначены для точного позиционирования объектов в вакуумной камере. Основа манипуляторов - гермовводы с сильфонным уплотнением. Иcпользуются в большинстве случаев в высоковакуумных и сверхвысоковакуумных системах. Манипуляторы могут поставляться как в исполнении с ручным приводом, так и с приводами на основе шаговых двигателей.
1. Z - Манипуляторы (одна степень свободы)
Манипулятор |
Фланец |
A, мм |
B, мм |
C, мм |
D, мм |
E, мм |
F, мм |
Ход, мм |
MZA-CF40-H-100 |
CF40 |
150-250 |
370 |
84 |
175 |
50 |
82 |
100 |
MZA-CF40-H-150 |
CF40 |
150-300 |
420 |
84 |
175 |
50 |
82 |
150 |
MZA-CF40-H-200 |
CF40 |
165-365 |
485 |
84 |
175 |
50 |
82 |
200 |
MZA-CF40-H-300 |
CF40 |
190-490 |
610 |
84 |
175 |
50 |
82 |
300 |
MZA-CF40-H-400 |
CF40 |
220-620 |
740 |
84 |
175 |
50 |
82 |
300 |
MZA-CF63-H-100 |
CF63 |
150-250 |
370 |
128 |
217 |
70 |
82 |
100 |
MZA-CF63-H-150 |
CF63 |
150-300 |
420 |
128 |
217 |
70 |
82 |
150 |
MZA-CF63-H-200 |
CF63 |
165-365 |
485 |
128 |
217 |
70 |
82 |
200 |
MZA-CF63-H-300 |
CF63 |
190-490 |
610 |
128 |
217 |
70 |
82 |
300 |
MZA-CF63-H-400 |
CF63 |
220-620 |
740 |
128 |
217 |
70 |
82 |
400 |
MZA-CF100-H-100 |
CF100 |
190-290 |
410 |
176 |
267 |
91 |
104 |
100 |
MZA-CF100-H-150 |
CF100 |
190-340 |
460 |
176 |
267 |
91 |
104 |
150 |
MZA-CF100-H-200 |
CF100 |
190-390 |
510 |
176 |
267 |
91 |
104 |
200 |
MZA-CF100-H-300 |
CF100 |
190-490 |
610 |
176 |
267 |
91 |
104 |
300 |
MZA-CF100-H-400 |
CF100 |
212-612 |
732 |
176 |
267 |
91 |
104 |
400 |
На верхний фланец манипулятора может быть смонтирован, например, ввод вращения
(появится вращательная степень свободы) или X или XY манипуляторы (появятся
дополнительно одна или 2 степени свободы) - таким образом может быть собран
манипулятор, необходимый под решение конкретной задачи или применения.
Существуют исполнения гермоввода с электроприводом (в том числе на основе шаговых двигателей).
2. XY - Манипуляторы (две степени свободы)
Манипулятор |
Фланец |
A, мм |
B, мм |
C, мм |
D, мм |
Точность позиционирования, мкм |
MXY-CF40-H-25 |
CF40 |
154 |
270 |
270 |
130 |
< 5 |
MXY-CF63-H-50 |
CF63 |
204 |
371 |
371 |
184 |
< 3 |
MXY-CF100-H-25 |
CF100 |
254 |
394 |
406 |
210 |
< 3 |
На верхний фланец манипулятора может быть смонтирован, например, ввод вращения
(появится дополнительная вращательная степень свободы) и/или Z манипулятор (появятся
дополнительно еще одна степень свободы) - таким образом может быть собран
манипулятор, необходимый под решение конкретной задачи или применения.
Существуют исполнения гермовводов с электроприводом (в том числе на основе шаговых двигателей).
3. XYZ - Манипуляторы (три степени свободы)
Манипулятор |
Фланец |
A, мм |
B, мм |
C, мм |
D, мм |
E, мм |
F, мм |
Ход (Z), мм |
Ход (X,Y), мм |
MXYZ-CF40-H-100 |
CF40 |
210-310 |
400 |
82 |
321 |
63.5 |
232 |
100 |
± 12.5 |
MXYZ-CF40-H-150 |
CF40 |
210-360 |
450 |
82 |
321 |
63.5 |
232 |
150 |
± 12.5 |
MXYZ-CF40-H-200 |
CF40 |
225-425 |
515 |
82 |
321 |
63.5 |
232 |
200 |
± 12.5 |
MXYZ-CF40-H-300 |
CF40 |
250-550 |
640 |
82 |
321 |
63.5 |
232 |
300 |
± 12.5 |
MXYZ-CF40-H-400 |
CF40 |
280-680 |
770 |
82 |
321 |
63.5 |
232 |
400 |
± 12.5 |
На верхний фланец манипулятора может быть смонтирован ввод вращения
(появится дополнительная вращательная степень свободы) - таким образом может быть собран
манипулятор c возможностью перемещения в направлениях XYZ и вращением.
|