Группа компаний "АВАКС"
    Надежное оборудование от ведущих производителей и собственного производства

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ















    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    АВАКС в социальных сетях:

    Главная > Вакуумная арматура > Гермовводы и манипуляторы для передачи движения в вакуумные системы > Манипуляторы >

    Манипуляторы



    Общие сведения

    Манипуляторы - прецизионные гермовводы для передачи движения, имеющие несколько степеней свободы. Манипуляторы предназначены для точного позиционирования объектов в вакуумной камере. Основа манипуляторов - гермовводы с сильфонным уплотнением. Иcпользуются в большинстве случаев в высоковакуумных и сверхвысоковакуумных системах. Манипуляторы могут поставляться как в исполнении с ручным приводом, так и с приводами на основе шаговых двигателей.

    1. Z - Манипуляторы (одна степень свободы)




    Манипулятор Фланец A, мм B, мм C, мм D, мм E, мм F, мм Ход, мм
    MZA-CF40-H-100 CF40 150-250 370 84 175 50 82 100
    MZA-CF40-H-150 CF40 150-300 420 84 175 50 82 150
    MZA-CF40-H-200 CF40 165-365 485 84 175 50 82 200
    MZA-CF40-H-300 CF40 190-490 610 84 175 50 82 300
    MZA-CF40-H-400 CF40 220-620 740 84 175 50 82 300
    MZA-CF63-H-100 CF63 150-250 370 128 217 70 82 100
    MZA-CF63-H-150 CF63 150-300 420 128 217 70 82 150
    MZA-CF63-H-200 CF63 165-365 485 128 217 70 82 200
    MZA-CF63-H-300 CF63 190-490 610 128 217 70 82 300
    MZA-CF63-H-400 CF63 220-620 740 128 217 70 82 400
    MZA-CF100-H-100 CF100 190-290 410 176 267 91 104 100
    MZA-CF100-H-150 CF100 190-340 460 176 267 91 104 150
    MZA-CF100-H-200 CF100 190-390 510 176 267 91 104 200
    MZA-CF100-H-300 CF100 190-490 610 176 267 91 104 300
    MZA-CF100-H-400 CF100 212-612 732 176 267 91 104 400

    На верхний фланец манипулятора может быть смонтирован, например, ввод вращения (появится вращательная степень свободы) или X или XY манипуляторы (появятся дополнительно одна или 2 степени свободы) - таким образом может быть собран манипулятор, необходимый под решение конкретной задачи или применения.

    Существуют исполнения гермоввода с электроприводом (в том числе на основе шаговых двигателей).

    2. XY - Манипуляторы (две степени свободы)




    Манипулятор Фланец A, мм B, мм C, мм D, мм Точность позиционирования, мкм
    MXY-CF40-H-25 CF40 154 270 270 130 < 5
    MXY-CF63-H-50 CF63 204 371 371 184 < 3
    MXY-CF100-H-25 CF100 254 394 406 210 < 3

    На верхний фланец манипулятора может быть смонтирован, например, ввод вращения (появится дополнительная вращательная степень свободы) и/или Z манипулятор (появятся дополнительно еще одна степень свободы) - таким образом может быть собран манипулятор, необходимый под решение конкретной задачи или применения.

    Существуют исполнения гермовводов с электроприводом (в том числе на основе шаговых двигателей).

    3. XYZ - Манипуляторы (три степени свободы)



    Манипулятор Фланец A,
    мм
    B,
    мм
    C,
    мм
    D,
    мм
    E,
    мм
    F,
    мм
    Ход (Z),
    мм
    Ход (X,Y),
    мм
    MXYZ-CF40-H-100 CF40 210-310 400 82 321 63.5 232 100 ± 12.5
    MXYZ-CF40-H-150 CF40 210-360 450 82 321 63.5 232 150 ± 12.5
    MXYZ-CF40-H-200 CF40 225-425 515 82 321 63.5 232 200 ± 12.5
    MXYZ-CF40-H-300 CF40 250-550 640 82 321 63.5 232 300 ± 12.5
    MXYZ-CF40-H-400 CF40 280-680 770 82 321 63.5 232 400 ± 12.5

    На верхний фланец манипулятора может быть смонтирован ввод вращения (появится дополнительная вращательная степень свободы) - таким образом может быть собран манипулятор c возможностью перемещения в направлениях XYZ и вращением.