Главная > Вакуумные насосы > Магниторазрядные насосы > Насосы магниторазрядные диодные НМД
(типа "НОРД") > |
Насосы магниторазрядные диодные НМД
(типа "НОРД")
|
- полностью безмасляная откачка
- отсутствие механического перемещения деталей в насосе
- недостатком является кратковременная работа и низкая производительность при давлениях запуска
- возможность исполнения с присоединительными фланцами различных стандартов
|
|
• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Магниторазрядные насосы НМД (НМД-0.63, НМД-0.4, НМД-0.25, НМД-0.16, НМД-0.1, НМД-0.063, НМД-0.025, НМД-0.016, НМД-0.0063) предназначены для откачки газов и газовых смесей
(кроме инертных газов) в высоковакуумных и сверхвысоковакуумных системах.
Относятся к категории высоковакуумных насосов, для эксплуатации необходима
предварительная откачка для обеспечения стартового давления ~ 5×10-4 Торр.
Насосы серии НМД не предназначены для откачки инертных газов и работы при высоких давлениях,
близких к стартовому. Для откачки газовых смесей с инертными газами используются насосы НМДИ
(насос магниторазрядный диодный испарительный). Для работы при высоких давлениях,
близких к стартовому, используются насосы НМДО (насос магниторазрядный диодный охлаждаемый).
|
• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ НАСОСОВ НМД
| Параметр / Характеристика |
Ед.изм. |
НМД-0.63 |
НМД-0.4 |
НМД-0.25 |
НМД-0.16 |
НМД-0.1 |
| Наибольшая быстрота действия по азоту |
л/c |
750 |
400 |
250 |
130 |
100 |
| Наибольшее давление запуска |
Па |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
| Наибольшее рабочее давление |
Па |
2×10-3 |
2×10-3 |
2×10-3 |
2×10-3 |
2×10-3 |
| Предельное остаточное давление |
Па |
4×10-8 |
5×10-8 |
5×10-8 |
6×10-8 |
6×10-8 |
| Масса |
кг |
200 |
95 |
53 |
42 |
32.5 |
| Присоединительный фланец, ДУ |
мм |
250 |
160 |
160 |
100 |
100 |
| Рекомендуемый блок питания |
- |
БПМ-0.25 |
БПМ-0.25 |
БПМ-0.25 |
БПМ-0.25 |
БПМ-0.25 |
| Параметр / Характеристика |
Ед.изм. |
НМД-0.063 |
НМД-0.025 |
НМД-0.016 |
НМД-0.0063 |
| Наибольшая быстрота действия по азоту |
л/c |
60 |
25 |
16 |
6 |
| Наибольшее давление запуска |
Па |
1 |
1 |
1 |
1 |
| Наибольшее рабочее давление |
Па |
2×10-3 |
2×10-3 |
2×10-3 |
2×10-3 |
| Предельное остаточное давление |
Па |
8×10-8 |
2×10-7 |
4×10-7 |
4×10-7 |
| Масса |
кг |
23 |
8.5 |
6 |
3.55 |
| Присоединительный фланец, ДУ |
мм |
100 |
100 |
40 |
25 |
| Рекомендуемый блок питания |
- |
БПМ-0.25 |
БПМ-0.025 |
БПМ-0.025 |
БПМ-0.025 |
|
|
давления
