Группа компаний "АВАКС"
    Надежное оборудование от ведущих производителей и собственного производства

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ















    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    АВАКС в социальных сетях:

    Главная > Компоненты установок > Контроль толщины >

    Контроль толщины


    Компоненты установок от производителя по низким ценам. Скидки. Ремонт. Квалифицированные консультации.

    Общие сведения

    Типовая схема системы контроля толщины
    на основе кварцевого резонатора

    Предлагаем системы для контроля толщины покрытий, осаждаемых методами вакуумного напыления. Системы контроля толщины созданы на основе кварцевого резонатора, который располагается в вакуумной камере, и позволяют измерять толщину покрытий in situ, т.е. в процессе их осаждения. Принцип работы системы основан на изменении частоты колебаний кварцевого резонатора при изменении его массы (масса резонатора изменяется при осаждении на его поверхность распыляемого материала). Такой метод позволяет определять толщину покрытий с очень высокой точностью.

    В состав системы контроля толщины на основе кварцевого резонатора входят (см. рис.):
    Корпус датчика (охлаждаемый, с трубками подачи охлаждающей жидкости) с кварцевым резонатором;
    Коаксиальный кабель корпус датчика - гермоввод (изготовлен из материалов, подходящих для использования в вакууме);
    Гермоввод (комбинированный, обеспечивает как ввод электрического сигнала, так и подачу охлаждающей жидкости);
    Коаксиальный кабель гермоввод - генератор (минимально возможной длины);
    Генератор (должен быть расположен близко к гермовводу для того, чтобы обеспечить минимальную длину кабеля);
    Коаксиальный кабель генератор - блок индикации

    Накопление распыляемого материала на кварцевом резонаторе в какой-то момент приводит к срыву генерации - система перестает работать. Поэтому кварцевый резонатор с нанесенными на нем электродами является расходным материалом: его необходимо периодически заменять (сроки замены зависят от толщины осаждаемых слоев, их материала и др. технологических особенностей). Если удалить осажденный материал с поверхности кварцевого резонатора, он снова будет пригоден к эксплуатации. Конструкция корпуса датчика позволяет без затруднений производить операцию замены.

    Предлагаем контроль толщины следующих типов
    • Поможем подобрать компоненты установок • Предложим лучшую цену • Рассмотрим варианты оплаты • Ответим на все вопросы по подключению и эксплуатации • Организуем доставку до Вашего города или предприятия • Гарантийные обязательства
    таблица/список