Клапаны, которые используются для создания систем подачи различных газов (в том числе особо чистых) и магистралей подачи рабочих газов в вакуумные камеры и системы (в том числе для плавной подачи газа). Имеют низкие уровни натекания. В отличие от вакуумных клапанов рассчитаны на достаточно высокие избыточные давления и имеют небольшой диаметр условного прохода (до ½ дюйма). Пригодны для вакуумных систем с поправкой на уменьшение скорости откачки через малое проходное сечение).
давления
