Группа компаний "АВАКС"
    Надежное оборудование от ведущих производителей и собственного производства

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ














    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    АВАКС в социальных сетях:

    Главная > Вакуумные затворы > Сильфонные вакуумные затворы с пневматическим приводом > Щелевые затворы >

    Щелевые затворы


    Общие сведения

    Щелевые клапаны / затворы - специализированная запорная арматура, предназначенная для изоляции загрузочной камеры от основной, используются в основном в полупроводниковой промышленности и разных отраслях научных исследований для загрузки / передачи подложек. По принципу действия схожи с шиберными затворами, однако часто выделяются в отдельный класс запорной арматуры.

    Щелевые вакуумные клапаны / затворы (Slit valves) с пневматическим приводом