ООО "АВАКС"
    Научно-производственная фирма

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ












    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    Главная > Компоненты установок >

    Компоненты установок

    Предлагаем системы для контроля толщины покрытий, осаждаемых методами вакуумного напыления. Системы контроля толщины созданы на основе кварцевого резонатора, который располагается в вакуумной камере, и позволяют измерять толщину покрытий in situ, т.е. в процессе их осаждения. Принцип работы системы основан на изменении частоты колебаний кварцевого резонатора при изменении его массы (масса резонатора изменяется при осаждении на его поверхность распыляемого материала). Такой метод позволяет определять толщину покрытий с очень высокой точностью.
    Устройства магнетронного распыления (магнетроны) являются одним из наиболее удобных инструментов для изготовления покрытий различного назначения методами вакуумного напыления. Позволяют распылять металлические, диэлектрические и полупроводниковые мишени.
    Системы подачи рабочего газа (газовые системы) используются для подготовки и контролируемой подачи рабочих газов и их смесей в технологические установки установки напыления, отжига, выращивания кристаллов и эпитаксиальных слоев и другие).
    Система поддержания заданного давления предназначена для обеспечения постоянной величины давления рабочего газа в вакуумной камере в течение технологического процесса.
    Устройства для перемещения карусели или планетарного механизма на основе шаговых двигателей, управляемых микроконтроллером.
    Блоки управления откачкой предназначены для управления откачными системами различного назначения. В зависимости от типа и исполнения могут управлять откачными системами, в состав которых входят вакуумные насосы разного типа, средства измерения остаточного давления, вакуумные клапаны и затворы. Могут использоваться как в качестве самостоятельных устройств, так и входить в состав систем управления технологическими процессами.