Научно-производственная компания "АВАКС" | Вакуумное оборудование, напыление покрытий | Вакуумные насосы

Фланцы вакуумные

Уплотнения

вакуумные

Монтажные

Винтовые насосы

Винтовые насосы относятся к категории "сухих" (безмасляных) форвакуумных насосов, способны обеспечить предельное остаточное давление до (7.5-10)×10^-3 Торр. Винтовые насосы способны откачивать пары жидкостей, а также выдерживать высокую газовую нагрузку. Специальное покрытие деталей позволяет эффективно откачивать коррозионные газовые среды. Не вносят дополнительных загрязнений в вакуумную систему. Обладают высокой надежностью, удобны в эксплуатации и имеют низкий уровень эксплуатационных затрат. Винтовые насосы не имеют соприкасающихся деталей (пар трения), что обуславливает высокий ресурс. Находят широкое применение в пищевой, фармацевтической, химической, металлургической, полупроводниковой и других отраслях промышленности - в том числе для процессов вакуумной сушки, отжига, дегазации, откачки паров.

Основным элементом винтового насоса является винтовая пара. Вращение винтовых валов синхронизовано и происходит без касания с минимальными зазорами валами и корпусом. Винтовые валы вращаются в противоположные стороны, создавая разрежение, необходимое для всасывания откачиваемой среды из вакуумной камеры. Для увеличения эффективности откачки валы современных винтовых насосов имеют переменный шаг. Винтовые насосы имеют жидкостное охлаждение.

1 – Входной порт (всасывание);
2 – Выходной порт (выхлоп);
3 – Винтовая пара;
4 – Уплотнения;
5 – Подшипники;
6 – Передача, обеспечивающая вращение вторичного винтового вала;
7 – Привод к электродвигателю;
8 – Рубашка охлаждения

Винтовые насосы серии LKC (LK Vacuum)

Винтовые высокопроизводительные (110-1500 м³/ч) промышленные "сухие" насосы насосы серии LKC от ведущего производителя LK Vacuum (Южная Корея), обеспечивающие предельное остаточное давление 7.5×10^-3 Торр. Винтовые насосы LKC способны откачивать среды с высокой концентрацией паров жидкостей, приспособлены выдерживать высокую газовую нагрузку. Специальное покрытие деталей позволяет эффективно откачивать коррозионные газовые среды. Не вносят дополнительных загрязнений в вакуумную систему. Обладают высокой надежностью, удобны в эксплуатации и имеют низкий уровень эксплуатационных затрат. Передовые технические решения, примененные при разработке насосов серии LKC, позволили обеспечить высокую надежность, выдающиеся технические характеристики, а также оптимальное соотношение цена/качество.

Винтовые насосы серии LKH (LK Vacuum)

Винтовые насосы серии LKH созданы на основе насосов LKC и оптимизированы для использования в технологических процессах, связанных с полупроводниковыми материалами.