ООО "АВАКС"
    Научно-производственная фирма

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ












    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    Главная > Вакуумные насосы > Турбомолекулярные > Турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора HiPace300M, 700M, 800M, ATH500M >

    Турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора HiPace300M, 700M, 800M, ATH500M


    • Магнитный подвес, автоматическая компенсация дисбаланса;
    • Простота монтажа и использования;
    • Допускают достаточно высокое давление на выхлопном фланце;
    • Высокая скорость откачки для легких и тяжелых газов;
    • Монтаж в произвольной ориентации;
    • Малое время выхода на рабочий режим;
    • Широкий диапазон регулировки скорости вращения;
    • Высокая надежность;
    • Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса




    • ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ

    Серия турбомолекулярных насосов с магнитным подвесом ротора от Pfeiffer Vacuum. Скорость откачки по азоту - от 255 л/c (HiPace300M) до 790 л/c (HiPace800M). Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса. Входные фланцы (в зависимости от исполнения) - стандарта ISO-K, ISO-F или CF. Турбомолекулярные насосы HiPace допускают достаточно высокое давление на выхлопном фланце. Насосы имеют большой межсервсисный интервал, могут быть успешно использованы как в исследовательских установках, так и в различных отраслях промышленности.




    • ВАРИАНТЫ ИСПОЛНЕНИЯ

    Присоединительные фланцы - ISO-K, ISO-F или CF
    Для насоса ATH500M - исполнение с прогревом корпуса (поддержанием температуры) ATH500MT - для процессов плазмо-химического травления
    Насосы доступны с принудительным воздушным охлаждением (для применений с малой и средней газовой нагрузкой)



    • ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

    Параметр / Модель HiPace300M ATH500M/ATH500MT HiPace700M HiPace800M
    Входной фланец ISO-K100
    ISO-F100
    CF100
    ISO-K160
    ISO-F160
    CF160
    ISO-K160
    ISO-F160
    CF160
    ISO-K200
    ISO-F200
    CF200
    Выходной фланец ISO-KF16 ISO-KF25 ISO-KF25 ISO-KF25
    Вентиляционный порт G1/8" G1/8" G1/8" G1/8"
    Скорость откачки (л/c):
    – по азоту
    – по гелию
    – по водороду
    – по аргону

    255
    215
    170
    250

    520
    350
    190
    500

    685
    600
    480
    660

    790
    625
    500
    775
    Коэффициент компрессии:
    – по азоту
    – по гелию
    – по водороду
    – по аргону

    >1×1011
    1×108
    5×105
    >1×1011

    >2×107
    >1×104
    >2×102
    >8×106

    >1×1011
    >1×107
    2×105
    >1×1011

    >1×1011
    >1×107
    2×105
    >1×1011
    Максимальное давление на выхлопном фланце (мбар): 20 2.6 8 8
    Предельный вакуум (мбар):
    – с фланцем CF
    – с фланцем ISO-K

    <5×10-10
    <1×10-7

    <1×10-8
    <1×10-8

    <5×10-10
    <1×10-7

    <5×10-10
    <1×10-7
    Скорость вращения (об/мин): 60000 50000 49200 49200
    Время выхода на рабочий режим (мин): <2 <2 4 4
    Охлаждение: вода вода вода вода
    Потребление охл. воды (л/мин): 1.3 1 1.3 1.3
    Температура охл. воды: (°С) 15-35 15-35 15-35 15-35
    Напряжение питания (В, пост.): 48 48 48 480
    Потребляемая мощность: (Вт) 300 550 300 300
    Вес (кг): 13.1-17.2 17-18 15.7-20.8 17.1-21.5


    • ЗАВИСИМОСТЬ СКОРОСТИ ОТКАЧКИ ОТ ДАВЛЕНИЯ

    HiPace300M DN100 ATH500M DN160
    HiPace700M HiPace800M




    • ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ

    Размеры - в мм
    HiPace300M (фланец ISO-F100) ATH500M (фланец ISO-F160)
    HiPace700M (фланец ISO-F160) HiPace800M (фланец ISO-F200)