Научно-производственная компания "АВАКС" | Вакуумное оборудование, напыление покрытий | Вакуумные насосы | Турбомолекулярные | Турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора HiPace300M, 700M, 800M, ATH500M

Фланцы вакуумные

Уплотнения

вакуумные

Монтажные

Турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора HiPace300M, 700M, 800M, ATH500M

Магнитный подвес, автоматическая компенсация дисбаланса;
Простота монтажа и использования;
Допускают достаточно высокое давление на выхлопном фланце;
Высокая скорость откачки для легких и тяжелых газов;
Монтаж в произвольной ориентации;
Малое время выхода на рабочий режим;
Широкий диапазон регулировки скорости вращения;
Высокая надежность;
Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса

• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ

Серия турбомолекулярных насосов с магнитным подвесом ротора от Pfeiffer Vacuum. Скорость откачки по азоту - от 255 л/c (HiPace300M) до 790 л/c (HiPace800M). Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса. Входные фланцы (в зависимости от исполнения) - стандарта ISO-K, ISO-F или CF. Турбомолекулярные насосы HiPace допускают достаточно высокое давление на выхлопном фланце. Насосы имеют большой межсервсисный интервал, могут быть успешно использованы как в исследовательских установках, так и в различных отраслях промышленности.

• ВАРИАНТЫ ИСПОЛНЕНИЯ

–	Присоединительные фланцы - ISO-K, ISO-F или CF
–	Для насоса ATH500M - исполнение с прогревом корпуса (поддержанием температуры) ATH500MT - для процессов плазмо-химического травления
–	Насосы доступны с принудительным воздушным охлаждением (для применений с малой и средней газовой нагрузкой)

• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Параметр / Модель	HiPace300M	ATH500M/ATH500MT	HiPace700M	HiPace800M
Входной фланец	ISO-K100 ISO-F100 CF100	ISO-K160 ISO-F160 CF160	ISO-K160 ISO-F160 CF160	ISO-K200 ISO-F200 CF200
Выходной фланец	ISO-KF16	ISO-KF25	ISO-KF25	ISO-KF25
Вентиляционный порт	G1/8"	G1/8"	G1/8"	G1/8"
Скорость откачки (л/c): – по азоту – по гелию – по водороду – по аргону	255 215 170 250	520 350 190 500	685 600 480 660	790 625 500 775
Коэффициент компрессии: – по азоту – по гелию – по водороду – по аргону	>1×10¹¹ 1×10⁸ 5×10⁵ >1×10¹¹	>2×10⁷ >1×10⁴ >2×10² >8×10⁶	>1×10¹¹ >1×10⁷ 2×10⁵ >1×10¹¹	>1×10¹¹ >1×10⁷ 2×10⁵ >1×10¹¹
Максимальное давление на выхлопном фланце (мбар):	20	2.6	8	8
Предельный вакуум (мбар): – с фланцем CF – с фланцем ISO-K	<5×10^-10 <1×10^-7	<1×10^-8 <1×10^-8	<5×10^-10 <1×10^-7	<5×10^-10 <1×10^-7
Скорость вращения (об/мин):	60000	50000	49200	49200
Время выхода на рабочий режим (мин):	<2	<2	4	4
Охлаждение:	вода	вода	вода	вода
Потребление охл. воды (л/мин):	1.3	1	1.3	1.3
Температура охл. воды: (°С)	15-35	15-35	15-35	15-35
Напряжение питания (В, пост.):	48	48	48	480
Потребляемая мощность: (Вт)	300	550	300	300
Вес (кг):	13.1-17.2	17-18	15.7-20.8	17.1-21.5

• ЗАВИСИМОСТЬ СКОРОСТИ ОТКАЧКИ ОТ ДАВЛЕНИЯ

HiPace300M DN100	ATH500M DN160

HiPace700M	HiPace800M

• ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ

Размеры - в мм

HiPace300M (фланец ISO-F100)	ATH500M (фланец ISO-F160)

HiPace700M (фланец ISO-F160)	HiPace800M (фланец ISO-F200)