ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма

ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ













Консультации on-line:
ICQ: 281785897
Skype: AVACUUM

E-mail: info@avacuum.ru
Web: https://www.avacuum.ru

Тел: +7 (812) 702-82-28
+7 (812) 372-55-45
Факс: +7 (812) 372-55-45

Главная > Вакуумные насосы > Турбомолекулярные насосы > Турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора HiPace300M, 700M, 800M, ATH500M >

Турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора HiPace300M, 700M, 800M, ATH500M


  • Магнитный подвес, автоматическая компенсация дисбаланса;
  • Простота монтажа и использования;
  • Допускают достаточно высокое давление на выхлопном фланце;
  • Высокая скорость откачки для легких и тяжелых газов;
  • Монтаж в произвольной ориентации;
  • Малое время выхода на рабочий режим;
  • Широкий диапазон регулировки скорости вращения;
  • Высокая надежность;
  • Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса




• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ

Серия турбомолекулярных насосов с магнитным подвесом ротора от Pfeiffer Vacuum. Скорость откачки по азоту - от 255 л/c (HiPace300M) до 790 л/c (HiPace800M). Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса. Входные фланцы (в зависимости от исполнения) - стандарта ISO-K, ISO-F или CF. Турбомолекулярные насосы HiPace допускают достаточно высокое давление на выхлопном фланце. Насосы имеют большой межсервсисный интервал, могут быть успешно использованы как в исследовательских установках, так и в различных отраслях промышленности.




• ВАРИАНТЫ ИСПОЛНЕНИЯ

Присоединительные фланцы - ISO-K, ISO-F или CF
Для насоса ATH500M - исполнение с прогревом корпуса (поддержанием температуры) ATH500MT - для процессов плазмо-химического травления
Насосы доступны с принудительным воздушным охлаждением (для применений с малой и средней газовой нагрузкой)



• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Параметр / Модель HiPace300M ATH500M/ATH500MT HiPace700M HiPace800M
Входной фланец ISO-K100
ISO-F100
CF100
ISO-K160
ISO-F160
CF160
ISO-K160
ISO-F160
CF160
ISO-K200
ISO-F200
CF200
Выходной фланец ISO-KF16 ISO-KF25 ISO-KF25 ISO-KF25
Вентиляционный порт G1/8" G1/8" G1/8" G1/8"
Скорость откачки (л/c):
– по азоту
– по гелию
– по водороду
– по аргону

255
215
170
250

520
350
190
500

685
600
480
660

790
625
500
775
Коэффициент компрессии:
– по азоту
– по гелию
– по водороду
– по аргону

>1×1011
1×108
5×105
>1×1011

>2×107
>1×104
>2×102
>8×106

>1×1011
>1×107
2×105
>1×1011

>1×1011
>1×107
2×105
>1×1011
Максимальное давление на выхлопном фланце (мбар): 20 2.6 8 8
Предельный вакуум (мбар):
– с фланцем CF
– с фланцем ISO-K

<5×10-10
<1×10-7

<1×10-8
<1×10-8

<5×10-10
<1×10-7

<5×10-10
<1×10-7
Скорость вращения (об/мин): 60000 50000 49200 49200
Время выхода на рабочий режим (мин): <2 <2 4 4
Охлаждение: вода вода вода вода
Потребление охл. воды (л/мин): 1.3 1 1.3 1.3
Температура охл. воды: (°С) 15-35 15-35 15-35 15-35
Напряжение питания (В, пост.): 48 48 48 480
Потребляемая мощность: (Вт) 300 550 300 300
Вес (кг): 13.1-17.2 17-18 15.7-20.8 17.1-21.5


• ЗАВИСИМОСТЬ СКОРОСТИ ОТКАЧКИ ОТ ДАВЛЕНИЯ

HiPace300M DN100 ATH500M DN160
HiPace700M HiPace800M




• ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ

Размеры - в мм
HiPace300M (фланец ISO-F100) ATH500M (фланец ISO-F160)
HiPace700M (фланец ISO-F160) HiPace800M (фланец ISO-F200)