Допускают достаточно высокое давление на выхлопном фланце;
Высокая скорость откачки для легких и тяжелых газов;
Монтаж в произвольной ориентации;
Малое время выхода на рабочий режим;
Широкий диапазон регулировки скорости вращения;
Высокая надежность;
Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса.
Общие сведения
Серия турбомолекулярных насосов с магнитным подвесом ротора от Pfeiffer Vacuum. Скорость откачки по азоту - от 255 л/c (HiPace300M) до 790 л/c (HiPace800M). Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса. Входные фланцы (в зависимости от исполнения) - стандарта ISO-K, ISO-F или CF. Турбомолекулярные насосы HiPace допускают достаточно высокое давление на выхлопном фланце. Насосы имеют большой межсервсисный интервал, могут быть успешно использованы как в исследовательских установках, так и в различных отраслях промышленности.
Варианты исполнения
–
Присоединительные фланцы - ISO-K, ISO-F или CF;
–
Для насоса ATH500M - исполнение с прогревом корпуса (поддержанием температуры) ATH500MT - для процессов плазмо-химического травления;
–
Насосы доступны с принудительным воздушным охлаждением (для применений с малой и средней газовой нагрузкой).
Основные технические характеристики
Характеристика / Параметр
HiPace300M
ATH500M/ATH500MT
HiPace700M
HiPace800M
Входной фланец:
ISO-K100 ISO-F100 CF100
ISO-K160 ISO-F160 CF160
ISO-K160 ISO-F160 CF160
ISO-K200 ISO-F200 CF200
Выходной фланец:
ISO-KF16
ISO-KF25
ISO-KF25
ISO-KF25
Вентиляционный порт:
G1/8"
G1/8"
G1/8"
G1/8"
Скорость откачки (л/c):
– по азоту
255
520
685
790
– по гелию
215
350
600
625
– по водороду
170
190
480
500
– по аргону
250
500
660
775
Коэффициент компрессии:
– по азоту
> 1×1011
> 2×107
> 1×1011
> 1×1011
– по гелию
1×108
> 1×104
> 1×107
> 1×107
– по водороду
5×105
> 2×102
2×105
2×105
– по аргону
> 1×1011
> 8×106
> 1×1011
> 1×1011
Максимальное давление на выхлопном фланце (мбар):
20
2.6
8
8
Предельный вакуум (мбар):
– с фланцем CF
< 5×10-10
< 5×10-10
< 5×10-10
< 5×10-10
– с фланцем ISO-K
< 5×10-5
< 1×10-7
< 1×10-7
< 1×10-7
Скорость вращения (об/мин):
60000
50000
49200
49200
Время выхода на рабочий режим (мин):
2
2
4
4
Охлаждение:
вода
вода
вода
вода
Потребление охл. воды (л/мин):
1.3
1
1.3
1.3
Температура охл. воды (°С):
15 - 35
15 - 35
15 - 35
15 - 35
Напряжение питания (В, пост.):
48
48
48
48
Потребляемая мощность (Вт):
350
550
300
300
Вес (кг):
13.1 - 17.2
17 - 18
15.7 - 20.8
17.1 - 21.5
Зависимость скорости откачки от давления и габаритные размеры
Зависимость скорости откачки от давления для насосов HiPace300M
Габаритные размеры насосов HiPace300M (фланец ISO-F100)
Размеры в мм
Зависимость скорости откачки от давления для насосов ATH500M
Габаритные размеры насосов ATH500M (фланец ISO-F160)
Размеры в мм
Зависимость скорости откачки от давления для насосов HiPace700M
Габаритные размеры насосов HiPace700M (фланец ISO-F160)
Размеры в мм
Зависимость скорости откачки от давления для насосов HiPace800M
Габаритные размеры насосов HiPace800M (фланец ISO-F200)
Вся информация о товарах, услугах и ценах, предоставленная на данном интернет-сайте, носит исключительно информационный характер и
ни при каких условиях не является публичной офертой, определяемой положениями Статьи 437 Гражданского кодекса Российской Федерации.
давления
