Форвакуумные откачные посты и агрегаты

Форвакуумные откачные посты с водокольцевым насосом и насосом (насосами) Рутса могут использоваться для откачки сред с высоким содержанием водяного пара, а также газовых смесей, содержащих коррозионно активные газы. Водокольцевые насосы имеют не очень высокий предельный вакуум, поэтому для обеспечения низких предельных остаточных давлений часто используются системы с несколькими (2-3) насосами Рутса, соединенными последовательно.

Для постов такого типа существует большой выбор вариантов исполнения, обусловленный широким модельным рядом плунжерных насосов. Отлично подходит для общепромышленных применений. Однако применимость для откачки сред с водяным паром или содержащих коррозионный газ ограничена наличием рабочей жидкости (вакуумного масла) в плунжерном насосе. Откачка водяного пара приводит в появлению эмульсии с ограниченными смазочными свойствами, коррозионных газов - к взаимодействию с вакуумным маслом. В таких случаях ресурс поста будет ограничен даже при частой замене вакуумного масла.

Посты с одноступенчатым или двухступенчатым пластинчато-роторным насосом являются стандартным вариантом для откачки во многих приложениях, в том числе часто применяются в установках вакуумного напыления с камерами большого объема.

Форвакуумные откачные посты с винтовым насосом и насосом (насосами) Рутса могут использоваться для безмасляной ("сухой") откачки, а со специальным защитным покрытием винтовых валов (винтового насоса) и роторов (насоса Рутса) эффективны для откачки сред с высоким содержанием водяного пара, а также газовых смесей, содержащих коррозионно активные газы. Могут работать с высокими газовыми нагрузками. Винтовые насосы имеют достаточно высокий предельный вакуум, поэтому такие посты могут обеспечивать откачку до 10^-3 - 10^-4 Торр. К недостаткам относится высокая стоимость (винтовые насосы имеют более высокую стоимость по сравнению с плунжерными и водокольцевыми насосами).