Предназначены для откачки газовых смесей, содержащих инертные газы (аргон);
Полностью безмасляный вакуум;
Нет движущихся частей;
В вакуумный объем не попадают частицы, являющиеся продуктом износа уплотнений;
Отсутствует шум;
Отсутствуют вибрации;
Работает без дополнительного насоса, дополнительный насос нужен только для создания стартового давления.
Общие сведения
Насос со снятым кожухом для прогрева
Кожухи для прогрева смонтированы на насос
Перед включением магниторазрядного насоса необходимо создать предварительный вакуум (стартовое давление – см. раздел «Технические характеристики»). Далее магниторазрядный насос работает самостоятельно, дополнительный насос не требуется.
Насосы семейства 3L предназначены для откачки газовых смесей, содержащих инертные газы (аргон). Насосы семейства 2L имеют низкую срорость откачки аргона и других инертных газов.
Магниторазрядные насосы 2L-200, 2L-400, 3L-200, 3L-400 дополнительно оснащены кожухом с встроенными нагревательными элементами для прогрева насосов (напряжение питания нагревательных элементов кожухов - 220 В 50 Гц).
Основные технические характеристики
Параметр / Характеристика
Ед.изм.
ЗL-25
ЗL-50
ЗL-100
ЗL-400
ЗL-400C
Присоединительный фланец
мм
CF35
CF100
CF150
CF150
CF150
Наибольшая быстрота действия по воздуху
л/c
21
55
110
420
420
Наибольшая быстрота действия по аргону
л/c
6
12
24
85
85
Стартовое давление *)
Па
≤5×10-4 **)
≤5×10-4 **)
≤5×10-4 **)
≤5×10-4 **)
≤5×10-4 **)
Предельное остаточное давление
Па
≤7×10-8
≤7×10-8
≤7×10-8
≤2.7×10-8
≤1×10-8
Макс. температура прогрева (с магнитами)
°C
<200
<200
<200
<200
<200
Макс. температура прогрева (без магнитов)
°C
<300
<300
<300
<300
<300
Рабочее напряжение на аноде
кВ
-5
-5
-5
-5
-5
Кол-во электродных блоков
шт
1
2
4
4
4
Габаритные размеры
мм
222×121×161
290×120×299
350×250×307
500×265×600
500×265×600
Масса
кг
8
22
38
153
153
Наличие кожуха для обогрева
-
нет
нет
нет
есть (220В 5Гц)
есть (220В 5Гц)
Блок питания
-
3LD-400C
3LD-400C
3LD-400C
3LD-400C
3LD-400C
Примечания:
*)
Стартовое давление – давление, до которого необходимо откачать вакуумную камеру/систему перед включением магниторазрядного насоса. Стартовое давление может заметно различаться в зависимости от условий эксплуатации насоса, объема вакуумной камеры и других условий.
**)
В случае, если объем вакуумной камеры/системы не очень велик, магниторазрядные насосы 2L, 3L могут быть включены при давлении 1×10-2 Па.
Предполагается, что в этом случае магниторазрядный насос достаточно быстро достигнет давлений ниже 1×10-3 Па.
Однако, возможно, пуск насоса придется придется повторить несколько раз: блок питания может отключиться из-за перегрузки.
В случае, если объем камеры достаточно велик, рекомендуется предварительно откачать систему турбомолекулярным насосом до давлений 5×10-4 Па.
Зависимость скорости откачки от давления и габаритные размеры насосов семейства 3L
Вся информация о товарах, услугах и ценах, предоставленная на данном интернет-сайте, носит исключительно информационный характер и
ни при каких условиях не является публичной офертой, определяемой положениями Статьи 437 Гражданского кодекса Российской Федерации.
давления
