Общие сведения
Сильфонные вводы линейного перемещения используются в высоковакуумных и свервысоковакуумных системах и имеют присоединительные фланцы CF (conflat). И корпус гермоввода, и вал выполнены из нержавеющей стали. Изоляция вакуумного объема от атмосферы обеспечивается с помощью сильфонного узла. Диапазон рабочих давлений от 1×10-9 мбар до избыточного давления 500 мбар.
Присоединительные фланцы гермовводов - CF16, CF40.
В зависимости от исполнения могут использоваться для перемещения объектов в ручном режиме или эксплуатироваться в составе приводов (электрических, с шаговым двигателем).
1. Сильфонные гермовводы линейного перемещения с ручным приводом
 |
 |
|
|
TFT-B-CF16-H-PVM4 |
TFT-B-CF40-H-PV10 |
| Параметр |
TFT-B-CF16-H-PV8 |
TFT-B-CF40-H-PV10 |
| Присоединительный фланец, мм
| CF16
| CF40
|
| Герметичность, мбар × л/с |
1 × 10-10 |
1 × 10-10 |
| Диаметр вала, мм |
8 |
10 |
| Максимальная нагрузка на вал (аксиальная), Н |
85 |
140 |
Максимальная нагрузка на вал
(радиальная, при максимальном смещении), Н |
20 |
100 |
| Максимальный момент на скручивание, Н × м |
0,2 |
0,5 |
| Масса, кг |
0,2 |
0,8 |
| Максимальная температура прогрева, °С |
300 |
300 |
| Материал корпуса |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
| Материал штока |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
| Рабочее положение |
любое |
любое |
| Рабочая температура, °С |
до 300 |
до 300 |
| Диапазон давлений, мбар |
500 (изб.) - 1×10-9 |
500 (изб.) - 1×10-9 |
| Тип гермоввода |
сильфонный |
сильфонный |
| Ресурс, циклов |
10000 |
10000 |
| Ход, мм |
25 |
50 |
2. Высокоточные сильфонные гермовводы линейного перемещения с ручным приводом
 |
 |
|
TFT-B-CF16-H-PV6-25P |
 |
 |
TFT-B-CF40-H-PV10-50P |
TFT-B-CF16-H-PV6-10P |
| Параметр
| TFT-B-CF16-H-
PV6-10P |
TFT-B-CF16-H-
PV6-25P |
TFT-B-CF40-H-
PV10-50P |
| Присоединительный фланец |
CF16 |
CF16 |
CF40 |
| Герметичность, мбар × л/с |
1 × 10-10 |
1 × 10-10 |
1 × 10-10 |
| Диаметр вала, мм |
6 |
6 |
10 |
| Максимальная нагрузка на вал (аксиальная), Н |
50 |
50 |
440 |
Максимальная нагрузка на вал
(радиальная, при максимальном смещении), Н |
20 |
20 |
100 |
| Максимальный момент на скручивание, Н × м |
0,2 |
0,2 |
0,5 |
| Точность позиционирования, мкм |
5 |
10 |
5 |
Максимальная температура прогрева
гермоввода/микр.винта, °С |
300/100 |
300/100 |
300/100 |
| Материал корпуса |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
| Материал штока |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
| Рабочее положение |
любое |
любое |
любое |
| Рабочая температура, °С |
до 50 |
до 50 |
до 50 |
| Диапазон давлений, мбар |
500 (изб.) - 1×10-9 |
500 (изб.) - 1×10-9 |
500 (изб.) - 1×10-9 |
| Тип гермоввода |
сильфонный |
сильфонный |
сильфонный |
| Ресурс, циклов |
10000 |
10000 |
10000 |
| Ход, мм |
10 |
25 |
50 |
3. Прецизионные сильфонные гермовводы линейного перемещения с ручным приводом
| Параметр |
TFT-B-CF16-H-PV6-10HP |
| Присоединительный фланец, мм |
CF16 |
| Герметичность, мбар × л/с |
1 × 10-10 |
| Диаметр вала, мм |
6 |
| Максимальная температура прогрева гермоввода/микр.винта, °С |
300/100 |
| Материал корпуса |
нерж.сталь |
| Материал штока |
нерж.сталь |
| Рабочее положение |
любое |
| Рабочая температура, °С |
до 50 |
| Диапазон давлений, мбар |
500 (изб.) - 1×10-9 |
| Тип гермоввода |
сильфонный |
| Ход, мм |
10 |
| Точность позиционирования, мкм |
3 |
| Ресурс, циклов |
10000 |
4. Прецизионные сильфонные гермовводы линейного перемещения с шаговым двигателем
 |
TFT-B-CF16-M-PV6-10HP
TFT-B-CF16-M-PV6-25HP |
| Параметр |
TFT-B-CF16-M-PV6-10HP |
TFT-B-CF16-M-PV6-25HP |
| Присоединительный фланец, мм |
CF16 |
CF16 |
| Герметичность, мбар × л/с |
1 × 10-10 |
1 × 10-10 |
| Диаметр вала, мм |
6 |
6 |
| Максимальная нагрузка на вал (аксиальная), Н |
45 |
45 |
| Ход, мм |
10 |
25 |
| Точность позиционирования, мкм |
3 |
3 |
| Максимальный момент на скручивание, Н × м |
0,2 |
0,2 |
| Максимальная температура прогрева с/без электроники, °С |
200/70 |
200/70 |
| Материал корпуса |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
| Материал штока |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
| Рабочее положение |
любое |
любое |
| Крепеж к штоку гермоввода |
М4х5 |
М4х5 |
| Диапазон давлений, мбар |
500 (изб.) - 1×10-9 |
500 (изб.) - 1×10-9 |
| Тип гермоввода |
сильфонный |
сильфонный |
| Ресурс, циклов |
10000 |
10000 |
| Рабочая температура, °С |
до 65 |
до 65 |
|
давления
