Щелевые вакуумные клапаны / затворы (Slit valves) с пневматическим приводом

Щелевые клапаны / затворы - специализированная запорная арматура, предназначенная для изоляции загрузочной камеры от основной, используются в основном в полупроводниковой промышленности и разных отраслях научных исследований для загрузки / передачи подложек. По принципу действия схожи с шиберными затворами, однако часто выделяются в отдельный класс запорной арматуры.

Щелевые затворы кассетного типа

Щелевые затворы открытого типа