|
Группа компаний "АВАКС"
Надежное оборудование от ведущих производителей и собственного производства
ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ •
КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
|
|
|
|
|
Консультации on-line:
|
| АВАКС в социальных сетях: |
 |
|
|
|
| Главная > Вакуумные клапаны > Запорные клапаны с пневматическим приводом > Щелевые вакуумные клапаны / затворы (Slit valves) с пневматическим приводом > |
Щелевые вакуумные клапаны / затворы (Slit valves) с пневматическим приводом
|
|
Общие сведения
Щелевые клапаны / затворы - специализированная запорная арматура, предназначенная для изоляции загрузочной камеры от основной, используются в основном в полупроводниковой промышленности и разных отраслях научных исследований для загрузки / передачи подложек. По принципу действия схожи с шиберными затворами, однако часто выделяются в отдельный класс запорной арматуры.
Щелевые вакуумные клапаны / затворы (Slit valves) с пневматическим приводом
|
|
|
|
|
давления
