• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Турбомолекулярные насосы серии ТМН предназначены для откачки газов и газовых смесей,
за исключением агрессивных, воздействующих на конструкционные материалы насоса.
Относятся к категории высоковакуумных насосов, для эксплуатации необходима
форвакуумная система для предварительной откачки и поддержания разрежения на выпускном
патрубке турбомолекулярного насоса в процессе его работы. В конструкции насосов ТМН-150/63 использованы прецизионные керамические подшипники. В насосах ТМН-150/63 статор привода вынесен из вакуумной обрасти, что позволяет обеспечить надежное охлаждение катушек. Это позволяет использовать насос при температуре корпуса до 120оС - насос может быть использован в составе сверхвысоковакуумного оборудования, требующего прогрева для обезгаживания вакуумного объема.
• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫХ НАСОСОВ ТМН-150/63
• Быстрота действия (по азоту), не менее, л/c:
|
|
140 |
• Предельное остаточное давление (по азоту), не более, Па:
|
|
1.3×10-6 |
• Время разгона ротора, не более, мин:
|
|
3 |
• Скорость вращения ротора, об/мин:
|
|
42000 |
• Охлаждение: |
|
воздушное |
• Макс. температура, оС: |
|
120 |
• Высоковакуумный (входной) фланец, ДУ, мм: |
|
63 (ISO-K) |
• Форвакуумный (выходной) фланец, ДУ, мм: |
|
16 (ISO-KF) |
• Рекомендуемый блок питания: |
|
МБУ-150-80 |
• Рабочее положение: |
|
любое |
|