Научно-производственная компания "АВАКС" | Вакуумное оборудование, напыление покрытий | Вакуумные насосы | Турбомолекулярные | Турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора ATH1603M, ATH2303M, ATP2300M, ATH2800M, ATH3200

Фланцы вакуумные

Уплотнения

вакуумные

Монтажные

Турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора ATH1603M, ATH2303M, ATP2300M, ATH2800M, ATH3200

Магнитный подвес, автоматическая компенсация дисбаланса;
Простота монтажа и использования;
Высокая скорость откачки для легких и тяжелых газов;
Монтаж в произвольной ориентации;
Малое время выхода на рабочий режим;
Широкий диапазон регулировки скорости вращения;
Высокая надежность;

• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ

Серия турбомолекулярных насосов с магнитным подвесом ротора от Pfeiffer Vacuum (Adixen). Скорость откачки по азоту - от 1370 л/c (ATH1603M) до 2700 л/c (ATH3200M). Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса (ATH1603M, ATH2303M) или внешний (ATH2800M, ATH3200M). Входные фланцы (в зависимости от исполнения) - стандарта ISO-F или CF. Насосы имеют большой межсервсисный интервал, могут быть успешно использованы как в исследовательских установках, так и в различных отраслях промышленности.

• ВАРИАНТЫ ИСПОЛНЕНИЯ

–	Присоединительные фланцы - ISO-F или CF
–	ATHxxxxMT - исполнение с прогревом корпуса (поддержанием температуры) для процессов плазмохимического травления

• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Параметр / Модель	ATH1603M	ATH2303M	ATH2800M	ATH3200M	ATP2300M
Входной фланец	ISO-F250 CF250	ISO-F250 CF250	ISO-F250	ISO-F320	ISO-F250 CF250
Выходной фланец	ISO-KF40	ISO-KF40	ISO-KF40	ISO-KF40	ISO-KF40
Скорость откачки (л/c): – по азоту – по гелию – по водороду – по аргону	1370 1100 550 1300	1950 1500 1200 1850	2150 2200 1750 2100	2700 2400 1800 2500	1850 1800 1700 1750
Коэффициент компрессии: – по азоту – по гелию – по водороду – по аргону	>6×10⁸ 4×10⁴ 5×10² >1.7×10⁸	>1×10⁸ >3×10⁴ >1×10³ >1×10⁸	>1×10⁸ >3×10⁴ >2×10³ >1×10⁸	>1×10⁸ >3×10⁴ >2×10³ >1×10⁸	>1×10⁸ >1×10⁵ >7×10³ >1×10⁸
Максимальное давление на выхлопном фланце (мбар):	1.7	2.9	2.1	2.1	2.1
Предельный вакуум (мбар):	<6×10^-9	<6×10^-9	<6×10^-9	<6×10^-9	<4×10^-9
Скорость вращения (об/мин):	39000	31000	25000	25000	31000
Время выхода на рабочий режим (мин):	<6	<8	<10	<10	<8
Охлаждение:	вода	вода	вода	вода	вода
Потребление охл. воды (л/мин):	1.0	1.0	1.0	1.0	1.0
Температура охл. воды: (°С)	15-25	15-25	15-25	15-25	15-25
Напряжение питания (В, перем.):	200-240	200-240	200-240	200-240	200-240
Потребляемая мощность: (макс, Вт)	650	1000	1000	1000	1000
Вес (кг):	42	68	93	93	60

• ЗАВИСИМОСТЬ СКОРОСТИ ОТКАЧКИ ОТ ДАВЛЕНИЯ

ATH1603M DN250	ATH2303M DN250

ATH2800M DN250	ATH3200M DN250

ATP2300M DN250

• ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ

Размеры - в мм

ATH1603M (фланец ISO-F250)	ATH2300M (фланец ISO-F250)

ATH2800M (фланец ISO-F250)	ATH3200M (фланец ISO-F320)

ATP2300M (фланец ISO-F250)