Высокая скорость откачки для легких и тяжелых газов;
Монтаж в произвольной ориентации;
Малое время выхода на рабочий режим;
Широкий диапазон регулировки скорости вращения;
Высокая надежность;
Общие сведения
Серия турбомолекулярных насосов с магнитным подвесом ротора от Pfeiffer Vacuum (Adixen). Скорость откачки по азоту - от 1370 л/c (ATH1603M) до 2700 л/c (ATH3200M). Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса (ATH1603M, ATH2303M) или внешний (ATH2800M, ATH3200M). Входные фланцы (в зависимости от исполнения) - стандарта ISO-F или CF. Насосы имеют большой межсервсисный интервал, могут быть успешно использованы как в исследовательских установках, так и в различных отраслях промышленности.
Варианты исполнения
–
Присоединительные фланцы - ISO-F или CF;
–
ATHxxxxMT - исполнение с прогревом корпуса (поддержанием температуры) для процессов плазмохимического травления.
Основные технические характеристики
Характеристика / Параметр
ATH1603M
ATH2303M
ATH2800M
ATH3200M
ATP2300M
Входной фланец:
ISO-F250 CF250
ISO-F250 CF250
ISO-F250
ISO-F320
ISO-F250 CF250
Выходной фланец:
ISO-KF40
ISO-KF40
ISO-KF40
ISO-KF40
ISO-KF40
Скорость откачки (л/c):
– по азоту
1370
1950
2150
2700
1850
– по гелию
1100
1500
2200
2400
1850
– по водороду
550
1200
1750
1800
1700
– по аргону
1300
1850
2100
2500
1750
Коэффициент компрессии:
– по азоту
> 6×108
> 1×108
> 1×108
> 1×108
> 1×108
– по гелию
4×104
> 3×104
> 3×104
> 3×104
> 1×105
– по водороду
5×102
> 1×103
> 2×103
> 2×103
> 7×103
– по аргону
> 1.7×108
> 1×108
> 1×108
> 1×108
> 1×108
Макс. давление на выхлопном фланце (мбар):
1.7
2.9
2.1
2.1
2.1
Предельный вакуум (мбар):
< 6×10-9
< 6×10-9
< 6×10-9
< 6×10-9
< 4×10-9
Скорость вращения (об/мин):
39000
31000
25000
25000
31000
Время выхода на рабочий режим (мин):
< 6
< 8
< 10
< 10
< 8
Охлаждение:
вода
вода
вода
вода
вода
Потребление охл. воды (л/мин):
1.0
1.0
1.0
1.0
1.0
Температура охл. воды (°С):
15 - 25
15 - 25
15 - 25
15 - 25
15 - 25
Напряжение питания (В, перем.):
200-240
200-240
200-240
200-240
200-240
Потребляемая мощность (Вт):
650
1000
1000
1000
1000
Вес (кг):
42
68
93
93
60
Зависимость скорости откачки от давления и габаритные размеры
Зависимость скорости откачки от давления для насосов ATH1603MM
Габаритные размеры насосов ATH1603M (фланец ISO-F250)
Размеры в мм
Зависимость скорости откачки от давления для насосов ATH2303M
Габаритные размеры насосов ATH2300M (фланец ISO-F250)
Размеры в мм
Зависимость скорости откачки от давления для насосов ATH2800M
Габаритные размеры насосов ATH2800M (фланец ISO-F250)
Размеры в мм
Зависимость скорости откачки от давления для насосов ATH3200M
Габаритные размеры насосов ATH3200M (фланец ISO-F320))
Размеры в мм
Зависимость скорости откачки от давления для насосов ATP2300M
Габаритные размеры насосов ATP2300M (фланец ISO-F250)
Вся информация о товарах, услугах и ценах, предоставленная на данном интернет-сайте, носит исключительно информационный характер и
ни при каких условиях не является публичной офертой, определяемой положениями Статьи 437 Гражданского кодекса Российской Федерации.