ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма

ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ













Консультации on-line:
ICQ: 281785897
Skype: AVACUUM

E-mail: info@avacuum.ru
Web: https://www.avacuum.ru

Тел: +7 (812) 702-82-28
+7 (812) 372-55-45
Факс: +7 (812) 372-55-45

Главная > Вакуумные насосы > Турбомолекулярные насосы > Турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора ATH1603M, ATH2303M, ATP2300M, ATH2800M, ATH3200 >

Турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора ATH1603M, ATH2303M, ATP2300M, ATH2800M, ATH3200


  • Магнитный подвес, автоматическая компенсация дисбаланса;
  • Простота монтажа и использования;
  • Высокая скорость откачки для легких и тяжелых газов;
  • Монтаж в произвольной ориентации;
  • Малое время выхода на рабочий режим;
  • Широкий диапазон регулировки скорости вращения;
  • Высокая надежность;




• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ

Серия турбомолекулярных насосов с магнитным подвесом ротора от Pfeiffer Vacuum (Adixen). Скорость откачки по азоту - от 1370 л/c (ATH1603M) до 2700 л/c (ATH3200M). Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса (ATH1603M, ATH2303M) или внешний (ATH2800M, ATH3200M). Входные фланцы (в зависимости от исполнения) - стандарта ISO-F или CF. Насосы имеют большой межсервсисный интервал, могут быть успешно использованы как в исследовательских установках, так и в различных отраслях промышленности.




• ВАРИАНТЫ ИСПОЛНЕНИЯ

Присоединительные фланцы - ISO-F или CF
ATHxxxxMT - исполнение с прогревом корпуса (поддержанием температуры) для процессов плазмохимического травления



• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Параметр / Модель ATH1603M ATH2303M ATH2800M ATH3200M ATP2300M
Входной фланец ISO-F250
CF250
ISO-F250
CF250
ISO-F250 ISO-F320 ISO-F250
CF250
Выходной фланец ISO-KF40 ISO-KF40 ISO-KF40 ISO-KF40 ISO-KF40
Скорость откачки (л/c):
– по азоту
– по гелию
– по водороду
– по аргону

1370
1100
550
1300

1950
1500
1200
1850

2150
2200
1750
2100

2700
2400
1800
2500

1850
1800
1700
1750
Коэффициент компрессии:
– по азоту
– по гелию
– по водороду
– по аргону

>6×108
4×104
5×102
>1.7×108

>1×108
>3×104
>1×103
>1×108

>1×108
>3×104
>2×103
>1×108

>1×108
>3×104
>2×103
>1×108

>1×108
>1×105
>7×103
>1×108
Максимальное давление на выхлопном фланце (мбар): 1.7 2.9 2.1 2.1 2.1
Предельный вакуум (мбар): <6×10-9 <6×10-9 <6×10-9 <6×10-9 <4×10-9
Скорость вращения (об/мин): 39000 31000 25000 25000 31000
Время выхода на рабочий режим (мин): <6 <8 <10 <10 <8
Охлаждение: вода вода вода вода вода
Потребление охл. воды (л/мин): 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0
Температура охл. воды: (°С) 15-25 15-25 15-25 15-25 15-25
Напряжение питания (В, перем.): 200-240 200-240 200-240 200-240 200-240
Потребляемая мощность: (макс, Вт) 650 1000 1000 1000 1000
Вес (кг): 42 68 93 93 60


• ЗАВИСИМОСТЬ СКОРОСТИ ОТКАЧКИ ОТ ДАВЛЕНИЯ

ATH1603M DN250 ATH2303M DN250
ATH2800M DN250 ATH3200M DN250
ATP2300M DN250






• ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ

Размеры - в мм
ATH1603M (фланец ISO-F250) ATH2300M (фланец ISO-F250)
ATH2800M (фланец ISO-F250) ATH3200M (фланец ISO-F320)
ATP2300M (фланец ISO-F250)