Высокая скорость откачки для легких и тяжелых газов;
Монтаж в произвольной ориентации;
Малое время выхода на рабочий режим;
Широкий диапазон регулировки скорости вращения;
Высокая надежность;
• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Серия турбомолекулярных насосов с магнитным подвесом ротора от Pfeiffer Vacuum (Adixen). Скорость откачки по азоту - от 1370 л/c (ATH1603M) до 2700 л/c (ATH3200M). Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса (ATH1603M, ATH2303M) или внешний (ATH2800M, ATH3200M). Входные фланцы (в зависимости от исполнения) - стандарта ISO-F или CF. Насосы имеют большой межсервсисный интервал, могут быть успешно использованы как в исследовательских установках, так и в различных отраслях промышленности.
• ВАРИАНТЫ ИСПОЛНЕНИЯ
–
Присоединительные фланцы - ISO-F или CF
–
ATHxxxxMT - исполнение с прогревом корпуса (поддержанием температуры) для процессов плазмохимического травления
• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Параметр / Модель
ATH1603M
ATH2303M
ATH2800M
ATH3200M
ATP2300M
Входной фланец
ISO-F250 CF250
ISO-F250 CF250
ISO-F250
ISO-F320
ISO-F250 CF250
Выходной фланец
ISO-KF40
ISO-KF40
ISO-KF40
ISO-KF40
ISO-KF40
Скорость откачки (л/c): – по азоту – по гелию – по водороду – по аргону
1370 1100 550 1300
1950 1500 1200 1850
2150 2200 1750 2100
2700 2400 1800 2500
1850 1800 1700 1750
Коэффициент компрессии: – по азоту – по гелию – по водороду – по аргону
>6×108 4×104 5×102 >1.7×108
>1×108 >3×104 >1×103 >1×108
>1×108 >3×104 >2×103 >1×108
>1×108 >3×104 >2×103 >1×108
>1×108 >1×105 >7×103 >1×108
Максимальное давление на выхлопном фланце (мбар):
1.7
2.9
2.1
2.1
2.1
Предельный вакуум (мбар):
<6×10-9
<6×10-9
<6×10-9
<6×10-9
<4×10-9
Скорость вращения (об/мин):
39000
31000
25000
25000
31000
Время выхода на рабочий режим (мин):
<6
<8
<10
<10
<8
Охлаждение:
вода
вода
вода
вода
вода
Потребление охл. воды (л/мин):
1.0
1.0
1.0
1.0
1.0
Температура охл. воды: (°С)
15-25
15-25
15-25
15-25
15-25
Напряжение питания (В, перем.):
200-240
200-240
200-240
200-240
200-240
Потребляемая мощность: (макс, Вт)
650
1000
1000
1000
1000
Вес (кг):
42
68
93
93
60
• ЗАВИСИМОСТЬ СКОРОСТИ ОТКАЧКИ ОТ ДАВЛЕНИЯ
ATH1603M DN250
ATH2303M DN250
ATH2800M DN250
ATH3200M DN250
ATP2300M DN250
• ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ
Размеры - в мм
ATH1603M (фланец ISO-F250)
ATH2300M (фланец ISO-F250)
ATH2800M (фланец ISO-F250)
ATH3200M (фланец ISO-F320)
ATP2300M (фланец ISO-F250)
При использовании материалов сайта ссылка обязательна