Запорные клапаны с электромеханическим приводом

Шаровые клапаны с электромеханическим приводом рассчитаны на средний и низкий вакуум - диапазон давлений от атмосферного до 1х10^-4 Торр. Материал корпуса - нержавеющая сталь (SUS316), уплотнений - PTFE. Присоединительные фланцы - стандарта ISO-KF (ДУ: 25, 40, 50 мм).

Дисковый клапан / затвор – оптимальное решение для вакуумных систем большого диаметра, рассчитанных на высокий, средний и низкий вакуум (в зависимости от конструкции клапана и уплотнения штока). За счет компактной и менее материалоемкой конструкции существенно дешевле шиберных затворов и тарельчатых клапанов больших диаметров. К достоинствам дисковых клапанов (затворов) относятся высокая проводимость, компактная конструкция корпуса, работоспособность при любых дифференциальных давлениях. Дисковые клапаны / затворы могут использоваться для регулировки потока газа (дросселирования откачки).

Маятниковые клапаны / затворы применяются для магистралей с большим диаметром условного прохода (200 мм и более). Тарелка маятникового затвора может перемещаться по дуге окружности (центр окружности - ось вращения привода). В закрытом состоянии перекрывает магистраль, уплотнение обеспечивается эластомерным кольцом (прижимается к тарелке затвора). При открытии тарелка затвора перемещается в "карман" - специальную полость, полностью открывая проходное сечение магистрали. Могут иметь различные типы привода (электромеханический - электродвигателем, чаще всего шаговым или пневматическим). Основные достоинства - высокая (максимально возможная при выбранном DN) проводимость. Кроме того, практически все маятниковые затворы помимо функции запорного клапана могут использоваться для дросселирования откачки.

Шиберные клапаны / затворы могут использоваться от низкого до сверхвысокого вакуума (в зависимости от уплотнения штока привода). Выпускаются и для малых (от DN 25), и для больших диаметров условного прохода. Основные достоинства – высокая проводимость, малая протяженность вдоль магистрали, запорный элемент не выступает в магистраль в открытом состоянии (в отличие от дисковых клапанов). Запорный элемент шиберных клапанов / затворов в открытом состоянии находится в специальной полости. Для изоляции вакуумных объемов запорный элемент на каретке перемещается приводом перпендикулярно плоскости потока по направлению к седлу и прижимается к нему под воздействием рычажного или иного механизма. В электромеханических затворах исполнительным механизмом является электродвигатель.