ООО "АВАКС"
    Научно-производственная фирма

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ












    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    Главная > Вакуумметры > Активные датчики и их контроллеры >

    Активные датчики и их контроллеры


    АКТИВНЫЕ ДАТЧИКИ
    Активные терморезистивные (Пирани) датчики TPG280 Pfeiffer Vacuum
    Терморезисторные (Пирани)
    1×10-4 ÷ 1×103 мбар
    Активные тензорезистивные (пьезорезистивные) датчики VSC43
    Тензорезистивные (пьезорезистивные)
    1×10-1 ÷ 1×103 мбар
    Активные емкостные датчики CCR, CMR Pfeiffer Vacuum
    Емкостные
    высокоточные
    1×10-5 ÷ 1×103 мбар
    Магниторазрядный активный датчик с холодным катодом TPR361 Pfeiffer Vacuum
    Магниторазрядные
    с "холодным" катодом

    1×10-9 ÷ 1×10-2 мбар
    Магниторазрядный с холодным катодом/Пирани активный датчик VSM
    Магниторазрядные /
    терморезисторные

    1×10-9 ÷ 1×103 мбар
    Ионизационный активный датчик AIGX Edwards
    Ионизационные
    с "горячим" катодом

    1×10-10 ÷ 1×10-2 мбар
    Ионизационный/Пирани активный датчик VSH
    Ионизационные /
    терморезисторные

    1×10-10 ÷ 1×103 мбар
    Блоки индикации Edwards ADC
    Блоки индикации
    (контроллеры)

    датчиков Edwards
    Блоки индикации Pfeiffer Vacuum TPG361, TPG362, TPG256, DPG202
    Блоки индикации
    (контроллеры)

    датчиков Pfeiffer
    Блоки индикации Thyracont VD6, VD10, VD12
    Блоки индикации
    (контроллеры) DGU

    EU

    КРАТКАЯ СПРАВКА ПО ДАТЧИКАМ

    Плитка Список



    Терморезистивные (Пирани) и комбинированные (тензорезистивные / Пирани) активные датчики

    Терморезисторные датчики - разновидность тепловых датчиков, принцип действия которых основан на зависимости теплопроводности газа от давления. Типичный диапазон измерений (1-5)×10-4 ÷ 1×102 мбар. Типовая относительная погрешность ~ ±30%, при давлениях, близких к концу и началу диапазона может быть заметно выше. Так как для измерения давления используется эффект теплопроводности, терморезисторные датчики имеют заметную инерционность и измерения зависят от рода газа. Терморезисторные датчики - самые доступные по цене. В большинстве случаев используются в качестве средства технологического контроля (т.е. в случаях когда не нужно измерять давление остаточных газов с высокой точностью). Для того, чтобы существенно уменьшить погрешность измерения терморезисторного датчика при давлениях выше 1 Торр используют комбинированные датчики: Пирани/тензорезистивные.
    Тензорезистивные и комбинированные (тензорезистивные / Пирани) активные датчики

    Принцип действия тензорезистивного датчика давления основан на изменении сопротивления полупроводникового кристалла при его механической деформации под воздействием внешнего давления. Отличительными особенностями датчиков такого типа являются: высокая точность измерения давления (до 1-2%), независимость от рода газа, возможность измерения давлений выше атмосферного. Диапазон измерения в области низких давлений ограничен 0.1-10 мбар (в зависимости от исполнения датчика). Иначе тензорезистивные датчики называют пьезорезистивными. Для увеличения диапазона измерений используются комбинированные датчики тензорезистивные/Пирани - такие датчики позволяют измерять давление от атмосферного до (1-5)х10-4 мбар.
    Емкостные активные датчики

    Емкостные датчики - это прецизионные (высокоточные) датчики, предназначенные для измерения давления в области низкого и среднего вакуума (1х10-5 ÷ 1х103 мбар). Погрешность измерения давления от 0,15% до 0.25% в зависимости от исполнения. Емкостные датчики также называют "баратронами" по наименованию серии приборов, разработанных и выпускаемых американской компанией MKS Instruments. Принцип действия основан на измерении емкости при деформации мембраны при изменении давления в камере.
    Магниторазрядные активные датчики с холодным катодом

    Магниторазрядные датчики для измерения давления используют зависимость тока ионного разряда от давления. Для формирования и поддержания разряда используются скрещенные электрическое и магнитное поля. Поэтому в состав датчика входит достаточно сильный магнит, а к аноду прикладывается напряжение 2.5-3 кВ (в некоторых случаях больше). Датчик не имеет нагреваемых катодов, которые могут выйти из строя при высоких давлениях (в отличие от ионизационных датчиков). Типичный диапазон измерений (1-5)×10-9 ÷ 1×10-2 мбар. Типовая погрешность ~ ±15-30% в диапазоне 5×10-9 ÷ 1×10-3 мбар. При давлениях 1×10-3 ÷ 1×10-2 мбар погрешность может достигать ±50%.
    Комбинированные магниторазрядные / терморезисторные (Пирани) активные датчики

    Комбинированные магниторазрядные / терморезисторные (Пирани) активные датчики состоят из двух датчиков, размещенных в одном корпусе - один из них магниторазрядный, второй - тензорезисторный (Пирани). Соответственно диапазон измерений таких датчиков объединенный - от (1-5)×10-9 до 1×103 мбар. Такие датчики часто называют "датчики на весь диапазон", "широкодиапазонные" или "full-range". Погрешность измерения давления в диапазоне (1-5)×10-9 ÷ 1×10-3 мбар соответствует погрешности магниторазрядного датчика (он измеряет давление в этом диапазоне); в диапазоне (1-5)×10-3 ÷ 1×10-3 мбар - погрешности терморезисторного (Пирани).
    Ионизационные активные датчики

    Ионизационные датчики предназначены для измерения давления в области высокого и среднего вакуума в диапазоне (1-5)×10-10 ÷ (1-10)×10-2 мбар. Принцип действия ионизационных датчиков основан на зависимости тока ионов в электрическом поле от давления в вакуумной системе. Ионизация остаточного газа обеспечивается электронами, эмитированными с "горячего" катода. При высоких давлениях в вакуумной системе и включенном накале катод может выйти из строя. Погрешность измерения ионизационных датчиков ±15%, они точнее магниторазрядных с холодным катодом.
    Комбинированные ионизационные / терморезисторные (Пирани) активные датчики

    Комбинированные ионизационные / терморезисторные (Пирани) активные датчики состоят из двух датчиков, размещенных в одном корпусе - один из них ионизационный, второй - тензорезисторный (Пирани). Соответственно диапазон измерений таких датчиков объединенный - от (1-5)×10-10 до 1×103 мбар. Такие датчики часто называют "датчики на весь диапазон", "широкодиапазонные" или "full-range". Погрешность измерения давления в диапазоне (1-5)×10-10 ÷ 1×10-3 мбар соответствует погрешности ионизационного датчика (он измеряет давление в этом диапазоне); в диапазоне (1-5)×10-3 ÷ 1×10-3 мбар - погрешности терморезисторного (Пирани).
    Блоки индикации ADC активных датчиков Edwards

    Блоки индикации ADC выпускаются в двух исполнениях – одноканальном и двухканальном и рассчитаны на подключение или одного активного датчика, или двух одновременно. Предназначены для совместной работы с активными датчиками Edwards (APG100, AIM, AIGX, WRG). Двухканальная версия имеет блокировочные (релейные) выходы (для управления внешними устройствами), аналоговый выход и интерфейс RS232.
    Блоки индикации TPG361 / TPG362 / TPG256 / DPG202 активных датчиков Pfeiffer

    Блоки индикации TPG предназначены для совместной работы с активными датчиками Pfeiffer Vacuum с аналоговым выходом и выпускаются в трех исполнениях – одноканальном, двухканальном, шестиканальном и рассчитаны на подключение одного, двух или шести активных датчиков одновременно. Блоки индикации TPG имеют аналоговые и блокировочные выходы (для управления внешними устройствами), а также цифровой интерфейс.

    Блоки индикации DPG предназначены для совместной работы с активными датчиками Pfeiffer Vacuum с цифровым выходом и выпускаются в одном исполнении – двухканальном (для присоединения двух датчиков).
    Блоки индикации DGU активных датчиков активных датчиков APS, APS10, APC10, PTS, CCS, CPS, HPS

    Блоки индикации DGU выпускаются в двух исполнениях – двухканальном (DGU20) и четырехканальном (DGU40), т.е. рассчитаны на подключение двух или четырех активных датчиков одновременно. Предназначены для совместной работы с активными датчиками APS, APS10, APC10, PTS, CCS, CPS, HPS. Блоки индикации DGU имеют цифровой выход (USB), а также релейные (блокировочные) выходы для управления внешними устройствами.

    Плитка
    (в начало страницы)
    Список
    (в начало списка)