Группа компаний "АВАКС"
    Надежное оборудование от ведущих производителей и собственного производства

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ















    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    АВАКС в социальных сетях:

    Главная > Вакуумные насосы > Криогенные насосы >

    Криогенные насосы


    Криогенные насосы относятся к насосам конденсационного типа - откачка происходит за счет поглощения (конденсации) газов и паров поверхностью, охлажденной до сверхнизких (гелиевых) температур. В состав насоса входит охлаждаемый холодильник ("криоголовка", рефрижератор, в качестве хладогента применяется гелий). Насос присоединяется к вакуумной системе, и эксплуатируется совместно с гелиевым компрессором (работающим по замкнутому циклу). Компрессор присоединяется к насосу гибкими магистралями для подачи / возврата гелия. После цикла откачки необходим цикл сброса конденсированных газов и паров - для этого используется вспомогательный вакуумный насос.

    Области применения криогенных насосов:
    • установки осаждения покрытий для полупроводниковой электроники;
    • установки осаждения оптических покрытий;
    • ионная имплантация;
    • симуляторы космического пространства;
    • электронные ускорители;
    • установки калибровки и тестирования
    и другие области, если необходима высокоэффективная безмасляная откачка вакуумной системы до низких предельных остаточных давлений.
    i
    Конструкция и принцип действия криогенного насоса. Достоинства и недостатки криогенных насосов.


    Криогенные насосы с быстротой откачки до 30000 л/с по H2O

    Криогенные насосы CP/ICP в стандартном исполнении имеют производительность от 4200 до 30000 л/с по H2O с диаметром условного прохода входного фланца от 200 до 500 мм. Исполнение входного фланца - CF, ISO, ANSI-ASA или другое, доступно изготовление входного фланца по заказу. Криогенные насосы CP/ICP характеризуются высокой скоростью откачки и емкостью, коротким временем регенерации, высоким межсервисным интервалом.

    Криогенные насосы с быстротой откачки до 180000 л/с по H2O

    CP800 - CP1250LN2 - серия криогенных насосов высокой производительности (до 180000 л/с по H2O). Конструкция насоса может быть изменена/адаптирована под задачу Заказчика.
    Компрессоры для криогенных насосов и криоголовок

    Компрессор - основной компонент, необходимый для работы криогенных насосов или криоголовок (если криоголовка используется отдельно, а не как элемент криогенного насоса). Компрессор обеспечивает циркуляцию гелия по замкнутому циклу через криоголовку, которая обеспечивает охлаждение до гелиевых температур (единицы-десятки градусов Кельвина).

    Криогенный рефрижератор (криоголовка) для крионасосов, криостатов и др.

    Криогенный рефрижератор (криоголовка) - основной элемент криогенного насоса, обеспечивает охлаждение до температур, близких к температуре жидкого гелия. Кроме крионасосов криогенные охладители используются в криостатах, системах охлаждения детекторов излучений и т.п.