ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма

ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ














Консультации on-line:
ICQ: 281785897
Skype: AVACUUM

E-mail: info@avacuum.ru
Web: https://www.avacuum.ru

Тел: +7 (812) 702-82-28
+7 (812) 372-55-45
Факс: +7 (812) 372-55-45

Главная > Вакуумные насосы > Криогенные насосы >

Криогенные насосы


Криогенные насосы относятся к насосам конденсационного типа - откачка происходит за счет поглощения (конденсации) газов и паров поверхностью, охлажденной до сверхнизких (гелиевых) температур. В состав насоса входит охлаждаемый холодильник ("криоголовка", рефрижератор, в качестве хладогента применяется гелий). Насос присоединяется к вакуумной системе, и эксплуатируется совместно с гелиевым компрессором (работающим по замкнутому циклу). Компрессор присоединяется к насосу гибкими магистралями для подачи / возврата гелия. После цикла откачки необходим цикл сброса конденсированных газов и паров - для этого используется вспомогательный вакуумный насос.

Области применения криогенных насосов:
• установки осаждения покрытий для полупроводниковой электроники;
• установки осаждения оптических покрытий;
• ионная имплантация;
• симуляторы космического пространства;
• электронные ускорители;
• установки калибровки и тестирования
и другие области, если необходима высокоэффективная безмасляная откачка вакуумной системы до низких предельных остаточных давлений.
i
Конструкция и принцип действия криогенного насоса. Достоинства и недостатки криогенных насосов.


Криогенные насосы с быстротой откачки до 30000 л/с по H2O

Криогенные насосы CP/ICP в стандартном исполнении имеют производительность от 4200 до 30000 л/с по H2O с диаметром условного прохода входного фланца от 200 до 500 мм. Исполнение входного фланца - CF, ISO, ANSI-ASA или другое, доступно изготовление входного фланца по заказу. Криогенные насосы CP/ICP характеризуются высокой скоростью откачки и емкостью, коротким временем регенерации, высоким межсервисным интервалом.

Криогенные насосы с быстротой откачки до 180000 л/с по H2O

CP800 - CP1250LN2 - серия криогенных насосов высокой производительности (до 180000 л/с по H2O). Конструкция насоса может быть изменена/адаптирована под задачу Заказчика.
Компрессоры для криогенных насосов и криоголовок

Компрессор - основной компонент, необходимый для работы криогенных насосов или криоголовок (если криоголовка используется отдельно, а не как элемент криогенного насоса). Компрессор обеспечивает циркуляцию гелия по замкнутому циклу через криоголовку, которая обеспечивает охлаждение до гелиевых температур (единицы-десятки градусов Кельвина).

Криогенный рефрижератор (криоголовка) для крионасосов, криостатов и др.

Криогенный рефрижератор (криоголовка) - основной элемент криогенного насоса, обеспечивает охлаждение до температур, близких к температуре жидкого гелия. Кроме крионасосов криогенные охладители используются в криостатах, системах охлаждения детекторов излучений и т.п.