Терморезистивные (Пирани) и комбинированные (тензорезистивные / Пирани) активные датчики

Терморезисторные датчики - разновидность тепловых датчиков, принцип действия которых основан на зависимости теплопроводности газа от давления.
Типичный диапазон измерений (1-5)×10^-4 ÷ 1×10² мбар. Типовая относительная погрешность ~ ±30%, РїСЂРё давлениях, близких Рє концу Рё началу диапазона может быть заметно выше.
В большинстве случаев используются в качестве средства технологического контроля (т.е. в случаях когда не нужно измерять давление остаточных газов с высокой точностью). Т.к. используется эффект теплопроводности терморезисторные датчики имеют заметную инерционность и измерения зависят от рода газа. Самые доступные по цене датчики.
Для того, чтобы существенно уменьшить погрешность измерения терморезисторного датчика при давлениях выше 1 Торр используют комбинированные датчики: Пирани/тензорезистивные и Пирани/емкостные.