ООО "АВАКС"
    Научно-производственная фирма

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ












    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    Главная > Компоненты установок > Стабилизаторы давления >

    Стабилизаторы давления



    • НАЗНАЧЕНИЕ И ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ

    Система поддержания заданного давления предназначена для обеспечения стабильности параметров технологических процессов, которые имеют сильную зависимость от давления рабочего газа в вакуумной камере. Типичным примером такого технологического процесса является осаждение пленок методом магнетронного распыления, при котором величина давления рабочего газа в вакуумной камере существенно влияет на скорость осаждения покрытий.

    Заданное значение давления при работе системы обеспечивается за счет изменения скорости откачки, которая зависит от положения затвора, отсекающего вакуумную камеру от высоковакуумного насоса. Положение затвора регулируется исполнительным механизмом. Управление исполнительным механизмом осуществляет ПИД-регулятор, сравнивающий сигнал с вакуумметра, измеряющего давление в вакуумной камере, с величиной опорного сигнала, задаваемого оператором. Применение такой системы обеспечивает постоянство давления рабочего газа и, соответственно, стабильность технологических параметров, зависящих от величины давления. Следует отметить, такая система позволяет работать высоковакуумному насосу в щадящем режиме, причем исключается необходимость использования дополнительных диафрагм внутри вакуумной камеры и их приводов.

    Системы поддержания заданного давления, разработанные ООО «АВАКС», адаптированы для использования в ручных и пневматических приводах высоковакуумного затвора установок вакуумного напыления УВН, УРМ и аналогичных. Эти системы просты и надежны в использовании и позволяют поддерживать заданную оператором величину давления с высокой точностью.





    Стабилизатор давления АВ6905

    Стабилизатор давления АВ6905 предназначен для установок с ручным приводом высоковакуумного затвора
    Стабилизатор давления АВ6901

    Стабилизатор давления АВ6901 предназначен для установок с пневматическом приводом высоковакуумного затвора