Кварцевые резонаторы (кристаллы)

Выбор материала электрода кварцевого резонатора для различных технологических приложений; Совместимость с системами контроля толщины различных производителей; Большой ресурс; Высокая точность и стабильность измерений; Простота установки в корпус датчика, надежность при эксплуатации

Кварцевые резонаторы (датчики) - чувствительный элемент системы контроля толщины. Наиболее распространены кристаллы на 6 МГц, они представляет собой круглую пластину (AT срез) диаметром 14 мм (0.55") с нанесенными на поверхность электродами. Материал электродов может быть разным, что позволяет выбрать материал покрытия, оптимальный для конкретного технологического применения. Ресурс кварцевого резонатора ограничен - необходима замена на новый после того как масса осажденного на кристалл материала превысит критическую величину (при которой генерация невозможна). Если осажденный материал удалить с поверхности резонатора, он снова может быть использован для проведения измерений толщины покрытий.

Кварцевые резонаторы поставляются в упаковках по 10 штук (3 типа упаковки - карусельного типа с индивидуальными ячейками под резонаторы; карусельного типа для использования в гермозонах с индивидуальными ячейками под резонаторы; компактный бокс) и по 50 шт. (прямоугольный пластиковый бокс с индивидуальными ячейками под резонаторы).

Наименование Покрытие Адгезионный подслой № по каталогу Fill-Tech № по каталогу INFICON QC-A Au Cr QI8010 750-1000-G10 (упаковка карусельного типа)

Применение
Наиболее распространенный материал электродов, подходящий для большинства технологических приложений. Такие электроды имеют низкое сопротивление, высокую химическую инертность. Хорошо подходят для контроля осаждения материалов, формирующих низкие напряжения в пленке. К недостаткам относятся воздействие напряжений (при осаждении "жестких" материалов) на резонатор через электрод, что может привести к периодическому возникновению нестабильности резонатора (резкое изменение частоты, не связанное с изменением толщины осаждаемого покрытия).

Наименование Покрытие Адгезионный подслой № по каталогу Fill-Tech № по каталогу INFICON QC-AL Au Cr QI8012 —

Применение
Сохраняют достоинства резонаторов QC-A (низкое сопротивление, химическую инертность), но более пластичны, что позволяет успешно использовать их при напылении "жестких" материалов (механические напряжения осаждаемого покрытия частично компенсируются материалом электрода). Имеют больший ресурс (более, чем на 200% для некоторых покрытий (например, MgF₂)). Могут быть использованы при осаждении диэлектрических покрытий, используемых в оптических и полупроводниковых приложениях.

Наименование Покрытие Адгезионный подслой № по каталогу Fill-Tech № по каталогу INFICON QC-B Ag Cr QI8009 750-1001-G10 (упаковка карусельного типа)

Применение
Резонаторы с такими электродами подходят для технологических приложений с высокими тепловыми нагрузками (например, магнетронное или электронно-лучевое испарение), а также могут использоваться при напылении оксидов.

Наименование Покрытие Адгезионный подслой № по каталогу Fill-Tech № по каталогу INFICON QC-D Al-Ag alloy Cr QI8008 750-1002-G10 (упаковка карусельного типа)

Применение
Резонаторы предназначены для использования в технологических процессах, в которых производится напыление материалов, способных формировать в пленке высокие механические напряжения (MgF₂, TiO₂, SiO, SiO₂, Al₂O₃, Ni, Cr, Mo, Zr, нихром и др.). Механические напряжения осаждаемого покрытия компенсируются материалом электрода, что обеспечивает стабильную работу системы контроля толщины и увеличивает (до 400% для MgF₂) ресурс резонатора.

Наименование Покрытие Адгезионный подслой № по каталогу Fill-Tech № по каталогу INFICON QC-DA Al-Ag alloy Cr QI8014 —

Применение
В дополнение к достоинствам резонаторов QC-D обеспечивают повышенные адгезионные свойства материала электрода, что обеспечивает более высокий ресурс кварцевого резонатора.

Наименование Покрытие Адгезионный подслой № по каталогу Fill-Tech № по каталогу INFICON QC-AH Au Cr — SPC-1194-G10 (упаковка карусельного типа)

Применение
Резонаторы такого типа предназначены для использования в технологических процессах, в которых возможны резкие перепады температуры (термоудар).