Ионизационные активные датчики

Ионизационные датчики предназначены для измерения давления в области высокого и среднего вакуума в диапазоне (1-5)×10^-10 ÷ (1-10)×10^-2 мбар. Принцип действия ионизационных датчиков основан на зависимости тока ионов в электрическом поле от давления в вакуумной системе. Ионизация остаточного газа обеспечивается электронами, эмитированными с "горячего" катода. При низких давлениях в вакуумной системе и включенном накале катод может выйти из строя. Погрешность измерения ионизационных датчиков ±15%, они точнее магниторазрядных с холодным катодом.