Ионизационные активные датчики с горячим катодом

Ионизационные датчики предназначены для измерения давления в области высокого и среднего вакуума в диапазоне (1-5)×10^-10 ÷ (1-10)×10^-2 мбар. Принцип действия ионизационных датчиков основан на зависимости тока ионов в электрическом поле от давления в вакуумной системе. Ионизация остаточного газа обеспечивается электронами, эмитированными с "горячего" катода. При высоких давлениях в вакуумной системе и включенном накале катод может выйти из строя. Погрешность измерения ионизационных датчиков ±15%, они точнее магниторазрядных с холодным катодом.

AIGX 5×10-10 ÷ 1×10-2 мбар Edwards

IMR265 2×10-6 ÷ 1×100 мбар Pfeiffer Vacuum

Блоки индикации (контроллеры)