Общие сведения
Криогенные насосы CP/ICP в стандартном исполнении имеют производительность от 4200 до 30000 л/с по H2O с диаметром условного прохода входного фланца от 200 до 500 мм. Исполнение входного фланца - CF, ISO, ANSI-ASA или другое, доступно изготовление входного фланца по заказу. Криогенные насосы CP/ICP характеризуются высокой скоростью откачки и емкостью, коротким временем регенерации, высоким межсервисным интервалом.
Для насосов CP200-CP300 (ICP200-ICP300) доступно "угловое" исполнение (см. рис. слева), позволяющее компактно смонтировать крионасос на боковых фланцах вакуумной камеры/системы. Такое исполнение обозначается буквой "N" в наименовании насоса: CP200N (ICP200N), CP250N (ICP250N), CP300N (ICP300N).
Насосы серии CP предназначены для работы в ручном режиме и имеют минимальную комплектацию: насос, компрессор, комплект магистралей для подачи/возврата гелия, соединительные кабели и индикатор температуры. Насосы серии ICP дополнительно комплектуются контроллером, клапаном, датчиком остаточного давления и нагреваемой рубашкой для ускорения процесса регенерации. По значимым параметрам насосы одинаковы.
Технические характеристики
| Параметр / Модель |
Ед. изм. |
CP200
ICP200 |
CP250
ICP250 |
CP300
ICP300 |
CP400
ICP400 |
CP500
ICP500 |
| Входной фланец |
– |
CF200
ISO-F200
ANSI-ASA(8") |
CF250
ISO-F250
ANSI-ASA(10") |
CF300
ISO-F320
ANSI-ASA(12") |
CF400
ISO-F400
ANSI-ASA(16") |
ISO-F500
ANSI-ASA(20") |
| Предельное остаточное давление, не более |
Па |
1 × 10-7 |
1 × 10-7 |
1 × 10-7 |
1 × 10-7 |
1 × 10-7 |
| Быстрота откачки по H2O |
л/с |
4200 |
6500 |
9500 |
16000 |
30000 |
| Быстрота откачки по воздуху |
л/с |
1500 |
2200 |
3200 |
6000 |
10000 |
| Быстрота откачки по водороду |
л/с |
2200 |
3200 |
5400 |
9000 |
12000 |
| Быстрота откачки по аргону |
л/с |
1200 |
1800 |
2800 |
5000 |
8400 |
| Ёмкость по Ar |
ст. л |
1000 |
1600 |
2000 |
2500 |
5500 |
| Ёмкость по H2 |
ст. л |
12 |
16 |
22 |
25 |
35 |
| Время захолаживания |
мин |
100 |
100 |
150 |
180 |
210 |
|
При эксплуатации криогенных насосов один компрессор может быть использован для обслуживания нескольких насосов (для примера схема подключения насосов ICP приведена на рисунке).
Комплект поставки может быть согласован: возможна поставка как насоса в комплекте, так и компонентов системы по отдельности (магистрали подачи/возврата гелия, компрессор и т.д.). Доступна также поставка ремкомплектов для ремонта и сервисного обслуживания криогенных насосов.
Области применения криогенных насосов:
• установки осаждения покрытий для полупроводниковой электроники;
• установки осаждения оптических покрытий;
• ионная имплантация;
• симуляторы космического пространства;
• электронные ускорители;
• установки калибровки и тестирования
и других случаях, когда необходима высокоэффективная безмасляная откачка вакуумной системы до низких предельных остаточных давлений.
|
|
давления
