Группа компаний "АВАКС"
Надежное оборудование от ведущих производителей и собственного производства

ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ














Консультации on-line:
ICQ: 281785897
Skype: AVACUUM

E-mail: info@avacuum.ru
Web: https://www.avacuum.ru

Тел: +7 (812) 702-82-28
+7 (812) 372-55-45
Факс: +7 (812) 372-55-45

Главная > Вакуумные насосы > Криогенные насосы > Криогенные насосы с быстротой откачки до 30000 л/с по H2O >

Криогенные насосы с быстротой откачки до 30000 л/с по H2O


Общие сведения

Криогенные насосы CP/ICP в стандартном исполнении имеют производительность от 4200 до 30000 л/с по H2O с диаметром условного прохода входного фланца от 200 до 500 мм. Исполнение входного фланца - CF, ISO, ANSI-ASA или другое, доступно изготовление входного фланца по заказу. Криогенные насосы CP/ICP характеризуются высокой скоростью откачки и емкостью, коротким временем регенерации, высоким межсервисным интервалом.

Для насосов CP200-CP300 (ICP200-ICP300) доступно "угловое" исполнение (см. рис. слева), позволяющее компактно смонтировать крионасос на боковых фланцах вакуумной камеры/системы. Такое исполнение обозначается буквой "N" в наименовании насоса: CP200N (ICP200N), CP250N (ICP250N), CP300N (ICP300N).

Насосы серии CP предназначены для работы в ручном режиме и имеют минимальную комплектацию: насос, компрессор, комплект магистралей для подачи/возврата гелия, соединительные кабели и индикатор температуры. Насосы серии ICP дополнительно комплектуются контроллером, клапаном, датчиком остаточного давления и нагреваемой рубашкой для ускорения процесса регенерации. По значимым параметрам насосы одинаковы.

Технические характеристики
Параметр / Модель Ед. изм. CP200
ICP200
CP250
ICP250
CP300
ICP300
CP400
ICP400
CP500
ICP500

Входной фланец

-
CF200
ISO-F200
ANSI-ASA(8")
CF250
ISO-F250
ANSI-ASA(10")
CF300
ISO-F320
ANSI-ASA(12")
CF400
ISO-F400
ANSI-ASA(16")

ISO-F500
ANSI-ASA(20")
Предельное остаточное давление, не более Па 1 × 10-7 1 × 10-7 1 × 10-7 1 × 10-7 1 × 10-7
Быстрота откачки по H2O л/с 4200 6500 9500 16000 30000
Быстрота откачки по воздуху л/с 1500 2200 3200 6000 10000
Быстрота откачки по водороду л/с 2200 3200 5400 9000 12000
Быстрота откачки по аргону л/с 1200 1800 2800 5000 8400
Ёмкость по Ar ст. л 1000 1600 2000 2500 5500
Ёмкость по H2 ст. л 12 16 22 25 35
Время захолаживания мин 100 100 150 180 210


При эксплуатации криогенных насосов один компрессор может быть использован для обслуживания нескольких насосов (для примера схема подключения насосов ICP приведена на рисунке).

Комплект поставки может быть согласован: возможна поставка как насоса в комплекте, так и компонентов системы по отдельности (магистрали подачи/возврата гелия, компрессор и т.д.). Доступна также поставка ремкомплектов для ремонта и сервисного обслуживания криогенных насосов.

Области применения криогенных насосов:
• установки осаждения покрытий для полупроводниковой электроники;
• установки осаждения оптических покрытий;
• ионная имплантация;
• симуляторы космического пространства;
• электронные ускорители;
• установки калибровки и тестирования
и других случаях, когда необходима высокоэффективная безмасляная откачка вакуумной системы до низких предельных остаточных давлений.