Криогенные насосы с быстротой откачки до 30000 л/с по H2O
Общие сведения
Криогенные насосы CP/ICP в стандартном исполнении имеют производительность от 4200 до 30000 л/с по H2O с диаметром условного прохода входного фланца от 200 до 500 мм. Исполнение входного фланца - CF, ISO, ANSI-ASA или другое, доступно изготовление входного фланца по заказу. Криогенные насосы CP/ICP характеризуются высокой скоростью откачки и емкостью, коротким временем регенерации, высоким межсервисным интервалом.
Для насосов CP200-CP300 (ICP200-ICP300) доступно "угловое" исполнение (см. рис. слева), позволяющее компактно смонтировать крионасос на боковых фланцах вакуумной камеры/системы. Такое исполнение обозначается буквой "N" в наименовании насоса: CP200N (ICP200N), CP250N (ICP250N), CP300N (ICP300N).
Насосы серии CP предназначены для работы в ручном режиме и имеют минимальную комплектацию: насос, компрессор, комплект магистралей для подачи/возврата гелия, соединительные кабели и индикатор температуры. Насосы серии ICP дополнительно комплектуются контроллером, клапаном, датчиком остаточного давления и нагреваемой рубашкой для ускорения процесса регенерации. По значимым параметрам насосы одинаковы.
Технические характеристики
Параметр / Модель
Ед. изм.
CP200 ICP200
CP250 ICP250
CP300 ICP300
CP400 ICP400
CP500 ICP500
Входной фланец
-
CF200 ISO-F200 ANSI-ASA(8")
CF250 ISO-F250 ANSI-ASA(10")
CF300 ISO-F320 ANSI-ASA(12")
CF400 ISO-F400 ANSI-ASA(16")
ISO-F500 ANSI-ASA(20")
Предельное остаточное давление, не более
Па
1 × 10-7
1 × 10-7
1 × 10-7
1 × 10-7
1 × 10-7
Быстрота откачки по H2O
л/с
4200
6500
9500
16000
30000
Быстрота откачки по воздуху
л/с
1500
2200
3200
6000
10000
Быстрота откачки по водороду
л/с
2200
3200
5400
9000
12000
Быстрота откачки по аргону
л/с
1200
1800
2800
5000
8400
Ёмкость по Ar
ст. л
1000
1600
2000
2500
5500
Ёмкость по H2
ст. л
12
16
22
25
35
Время захолаживания
мин
100
100
150
180
210
При эксплуатации криогенных насосов один компрессор может быть использован для обслуживания нескольких насосов (для примера схема подключения насосов ICP приведена на рисунке).
Комплект поставки может быть согласован: возможна поставка как насоса в комплекте, так и компонентов системы по отдельности (магистрали подачи/возврата гелия, компрессор и т.д.). Доступна также поставка ремкомплектов для ремонта и сервисного обслуживания криогенных насосов.
Области применения криогенных насосов:
• установки осаждения покрытий для полупроводниковой электроники;
• установки осаждения оптических покрытий;
• ионная имплантация;
• симуляторы космического пространства;
• электронные ускорители;
• установки калибровки и тестирования
и других случаях, когда необходима высокоэффективная безмасляная откачка вакуумной системы до низких предельных остаточных давлений.
Вся информация о товарах, услугах и ценах, предоставленная на данном интернет-сайте, носит исключительно информационный характер и
ни при каких условиях не является публичной офертой, определяемой положениями Статьи 437 Гражданского кодекса Российской Федерации.
давления
