Клапаны плавной откачки

С помощью клапанов плавной откачки можно существенно уменьшить неконтролируемые потоки откачиваемого газа при давлениях близких к атмосферному. Eсли клапан, отсекающий вакуумную камеру, полностью открывается (а время открытия обычных запорных клапанов, даже пневматических, значительно меньше секунды) при откачке вакуумного объема с атмосферного давления, то при резком падении давления возникают достаточно сильные газовые потоки, которые могут изменить положение элементов оснастки вакуумной камеры или образцов, подложек, испытуемых объектов и т.п. Клапан плавной откачки в одном корпусе фактически содержит два, причем один из них - байпасный - имеет малое проходное сечение (в некоторых типах клапанов - регулируемое), а второй - основной - соответствует диаметру условного прохода клапана. Для плавной откачки начальная откачка объема производится через байпасный клапан с малым сечением, а после уменьшения давления до определенного значения открывается основной клапан, обеспечивающий максимальную эффективность откачки.

Задачу плавной откачки в ручном режиме можно решить, используя дисковые затворы с ручным, электромеханическим или трехпозиционным пневматическим приводом.