| Главная > Вакуумные насосы > Криогенные насосы > |
Криогенные насосы
Криогенные насосы относятся к насосам конденсационного типа - откачка происходит за счет поглощения (конденсации) газов и паров поверхностью, охлажденной до сверхнизких (гелиевых) температур. В состав насоса входит охлаждаемый холодильник ("криоголовка", рефрижератор, в качестве хладогента применяется гелий). Насос присоединяется к вакуумной системе, и эксплуатируется совместно с гелиевым компрессором (работающим по замкнутому циклу). Компрессор присоединяется к насосу гибкими магистралями для подачи / возврата гелия. После цикла откачки необходим цикл сброса конденсированных газов и паров - для этого используется вспомогательный вакуумный насос.
Области применения криогенных насосов:
• установки осаждения покрытий для полупроводниковой электроники;
• установки осаждения оптических покрытий;
• ионная имплантация;
• симуляторы космического пространства;
• электронные ускорители;
• установки калибровки и тестирования
и другие области, если необходима высокоэффективная безмасляная откачка вакуумной системы до низких предельных остаточных давлений.
 | Криогенные насосы с быстротой откачки до 30000 л/с по H2O
Криогенные насосы CP/ICP в стандартном исполнении имеют производительность от 4200 до 30000 л/с по H2O с диаметром условного прохода входного фланца от 200 до 500 мм. Исполнение входного фланца - CF, ISO, ANSI-ASA или другое, доступно изготовление входного фланца по заказу. Криогенные насосы CP/ICP характеризуются высокой скоростью откачки и емкостью, коротким временем регенерации, высоким межсервисным интервалом.
|
 | Криогенные насосы с быстротой откачки до 180000 л/с по H2O
CP800 - CP1250LN2 - серия криогенных насосов высокой производительности (до 180000 л/с по H2O). Конструкция насоса может быть изменена/адаптирована под задачу Заказчика. |
 | Компрессоры для криогенных насосов и криоголовок
Компрессор - основной компонент, необходимый для работы криогенных насосов или криоголовок (если криоголовка используется отдельно, а не как элемент криогенного насоса). Компрессор обеспечивает циркуляцию гелия по замкнутому циклу через криоголовку, которая обеспечивает охлаждение до гелиевых температур (единицы-десятки градусов Кельвина).
|
 | Криогенный рефрижератор (криоголовка) для крионасосов, криостатов и др.
Криогенный рефрижератор (криоголовка) - основной элемент криогенного насоса, обеспечивает охлаждение до температур, близких к температуре жидкого гелия. Кроме крионасосов криогенные охладители используются в криостатах, системах охлаждения детекторов излучений и т.п.
|
|
|
давления
