Комбинированные ионизационные / терморезисторные (Пирани) активные датчики

Комбинированные ионизационные / терморезисторные (Пирани) активные датчики состоят РёР· РґРІСѓС… датчиков, размещенных РІ РѕРґРЅРѕРј РєРѕСЂРїСѓСЃРµ - РѕРґРёРЅ РёР· РЅРёС… ионизационный, второй - тензорезисторный (Пирани). Соответственно диапазон измерений таких датчиков объединенный - РѕС‚ (1-5)×10^-10 РґРѕ 1×10³ мбар. Такие датчики часто называют "датчики РЅР° весь диапазон", "широкодиапазонные" или "full-range". Погрешность измерения давления РІ диапазоне (1-5)×10^-10 ÷ 1×10^-3 мбар соответствует погрешности ионизационного датчика (РѕРЅ измеряет давление РІ этом диапазоне); РІ диапазоне (1-5)×10^-3 ÷ 1×10^-3 мбар - погрешности терморезисторного (Пирани).