Комбинированные ионизационные / терморезисторные (Пирани) активные датчики

Комбинированные ионизационные / терморезисторные (Пирани) активные датчики состоят из двух датчиков, размещенных в одном корпусе - один из них ионизационный, второй - тензорезисторный (Пирани). Соответственно диапазон измерений таких датчиков объединенный - от (1-5)×10^-10 до 1×10³ мбар. Такие датчики часто называют "датчики на весь диапазон", "широкодиапазонные" или "full-range". Погрешность измерения давления в диапазоне (1-5)×10^-10 ÷ 1×10^-3 мбар соответствует погрешности ионизационного датчика (он измеряет давление в этом диапазоне); в диапазоне (1-5)×10^-3 ÷ 1×10^-3 мбар - погрешности терморезисторного (Пирани).