Назначение и общие сведения
Блок управления откачкой АВ2107 и его модификации предназначены для управления вакуумной системой откачных постов и технологических установок различного назначения (установок напыления, вакуумных печей и т.п.), в состав которой входит высоковакуумный насос и насос предварительной откачки. В зависимости от исполнения блок управления откачкой может использоваться совместно с различными типами высоковакуумных насосов (паромасляный, турбомолекулярный) и насосов предварительной откачки (пластинчато-роторные, спиральные и др.). Блок управления откачкой АВ2107 может быть использован для модернизации установок УВН-71, УВН-74 и аналогичных.
В зависимости от исполнения блок управления откачкой может работать:
- В ручном режиме с элементами местной (локальной) автоматики, обеспечивающей защиту высоковакуумных насосов, а также блокирующей неверные действия оператора;
- В автоматическом режиме , обеспечивая процесс автоматической откачки технологической установки или откачного поста;
- В составе автоматизированных систем управления технологическими процессами.
Блок управления откачкой эксплуатируется в комплекте с вакуумной системой, в состав которой могут входить пневматические или электромагнитные клапаны (затворы), управляемые соответственно, с помощью пилотных клапанов (пневматических распределителей) или непосредственно.
Блок управления откачкой обеспечивает управление арматурой системы охлаждения высоковакуумного насоса и вакуумной камеры, пневматическими распределителями вакуумной системы, а также контроль над величиной потока охлаждающей жидкости и давления сжатого воздуха в пневматических магистралях.
Блок управления откачкой обеспечивает определение и индикацию остаточного давления в вакуумной камере и магистрали откачки высоковакуумного насоса и работает совместно как с импортными активными манометрическими преобразователями, так и с российскими преобразователями ПМТ-2, ПМТ-6-3M-1, ПММ-32-1 и другими с применением трансдюсеров производства ООО "АВАКС" (АВ3002, АВ3032 и другими).
Блок управления откачкой может быть укомплектован системой управления, предназначенной для стабилизации давления рабочего газа в вакуумной камере (функция управляемого дросселирования откачкой) для систем магнетронного распыления или других. В этом случае изделие эксплуатируется совместно с системами стабилизации давления АВ6901 или АВ6905 и системой подачи рабочего газа в вакуумную камеру установки
АВ2201, АВ4201 или аналогичными.
Блоки управления откачкой могут быть использованы в том числе для модернизации вакуумных установок (напыления, травления, нарева, для проверки герметичности и т.д.).
| 
давления
