ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма

ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ













Консультации on-line:
ICQ: 281785897
Skype: AVACUUM

E-mail: info@avacuum.ru
Web: https://www.avacuum.ru

Тел: +7 (812) 702-82-28
+7 (812) 372-55-45
Факс: +7 (812) 372-55-45

Главная > Компоненты установок > Контроль толщины > Корпус датчика (кварцевого резонатора) >

Корпус датчика (кварцевого резонатора)


  • Различные конфигурации датчиков - в том числе для одного и нескольких резонаторов;
  • Различные расположения электрического разъема и вводов охлаждения;
  • Наличие встроенной заслонки для датчиков с двумя резонаторами;
  • Простота монтажа, обслуживания и смены резонаторов


• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ

Корпус датчика предназначен для крепления кварцевого резонатора, который является чувствительным элементом системы контроля толщины. Для того, чтобы исключить эффекты изменения частоты, связанные с изменением температуры резонатора (при измерениях частота должна зависеть только от массы осаждаемого материала), корпус датчика имеет принудительное жидкостное охлаждение - охлаждающая жидкость поступает к корпусу датчика через трубки внешним диаметром 1/8". В зависимости от конфигурации системы напыления, могут быть выбраны датчики с различным расположением электрического разъема и вводов охлаждения. Кроме того, существуют модификации с двумя и более резонаторами в одном корпусе - это позволяет продолжить процесс напыления покрытий даже в том случае, когда один из резонаторов выработал свой ресурс (в этом случае можно переключиться на второй резонатор и продолжить технологический процесс). Для подвода электрического сигнала все датчики имеют миниатюрный разъем "microdot".

Типовые корпуса датчиков представлены ниже (не исчерпывают перечень всех возможных вариантов).



• ТИПЫ ДАТЧИКОВ

1. Корпус датчика QI3000 (для одного резонатора).

Внешний диаметр O.D. трубок охлаждения /толщина стенок: 1.8" (3.2 мм) / 0.015" (0.381 мм)
Расположение трубок охлаждения: параллельно плоскости резонатора
Ввод в корпус трубок охлаждения: через боковую поверхность корпуса датчика
Электрический разъем: microdot
Расположение электрического разъема: на тыльной стороне корпуса датчика
Загрузка резонатора: с фронтальной стороны (со стороны испарителя)
Материал корпуса гермоввода и трубок: нерж. сталь (SUS304)
Материал электрического разъема: нерж. сталь (SUS304), фторопласт, стекло
Материал электрических контактов корпуса датчика: Cu-Be с Au-покрытием
Используемые кварцевые резонаторы: 6 МГц, диаметр 14 мм (0,55")
Поток охлаждающей жидкости: не менее 150-200 см3/мин
Tемпература охлаждающей жидкости: не более 30°С
Максимально допустимая температура датчика (без охл. жидкости): не более 130°С
Максимально допустимая температура окружающей среды (с охлаждением): не более 400°С


2. Корпус датчика QI3500 (для одного резонатора).

Внешний диаметр O.D. трубок охлаждения /толщина стенок: 1.8" (3.2 мм) / 0.015" (0.381 мм)
Расположение трубок охлаждения: перпендикулярно плоскости резонатора
Ввод в корпус трубок охлаждения: через тыльную поверхность корпуса датчика
Электрический разъем: microdot
Расположение электрического разъема: на тыльной стороне корпуса датчика
Загрузка резонатора: с фронтальной стороны (со стороны испарителя)
Материал корпуса гермоввода и трубок: нерж. сталь (SUS304)
Материал электрического разъема: нерж. сталь (SUS304), фторопласт, стекло
Материал электрических контактов корпуса датчика: Cu-Be с Au-покрытием
Используемые кварцевые резонаторы: 6 МГц, диаметр 14 мм (0,55")
Поток охлаждающей жидкости: не менее 150-200 см3/мин
Tемпература охлаждающей жидкости: не более 30°С
Максимально допустимая температура датчика (без охл. жидкости): не более 130°С
Максимально допустимая температура окружающей среды (с охлаждением): не более 400°С


3. Корпус датчика QI6000 (для двух резонаторов).

Наличие 2-х резонаторов позволяют не прерывать технологический процесс в случае, когда рабочий резонатор выработал свой ресурс или вышел из строя по какой-либо другой причине.
Внешний диаметр O.D. трубок охлаждения и привода заслонки /толщина стенок: 1.8" (3.2 мм) / 0.015" (0.381 мм)
Расположение трубок охлаждения и привода заслонки: параллельно плоскости резонатора
Ввод в корпус трубок охлаждения и привода заслонки: через боковую поверхность корпуса датчика
Электрический разъем: microdot
Расположение электрического разъема: на тыльной стороне корпуса датчика
Загрузка резонатора: с фронтальной стороны (со стороны испарителя)
Материал корпуса гермоввода и трубок: нерж. сталь (SUS304)
Материал электрического разъема: нерж. сталь (SUS304), фторопласт, стекло
Материал электрических контактов корпуса датчика: Cu-Be с Au-покрытием
Используемые кварцевые резонаторы: 6 МГц, диаметр 14 мм (0,55")
Поток охлаждающей жидкости: не менее 150-200 см3/мин
Tемпература охлаждающей жидкости: не более 30°С
Максимально допустимая температура датчика (без охл. жидкости): не более 130°С
Максимально допустимая температура окружающей среды (с охлаждением): не более 400°С
Привод заслонки: пневматический (4-6 бар)