Различные конфигурации датчиков - в том числе для одного и нескольких резонаторов;
Различные расположения электрического разъема и вводов охлаждения;
Наличие встроенной заслонки для датчиков с двумя резонаторами;
Простота монтажа, обслуживания и смены резонаторов.
Общие сведения
Корпус датчика предназначен для крепления кварцевого резонатора, который является чувствительным элементом системы контроля толщины. Для того, чтобы исключить эффекты изменения частоты, связанные с изменением температуры резонатора (при измерениях частота должна зависеть только от массы осаждаемого материала), корпус датчика имеет принудительное жидкостное охлаждение - охлаждающая жидкость поступает к корпусу датчика через трубки внешним диаметром 1/8". В зависимости от конфигурации системы напыления, могут быть выбраны датчики с различным расположением электрического разъема и вводов охлаждения. Кроме того, существуют модификации с двумя и более резонаторами в одном корпусе - это позволяет продолжить процесс напыления покрытий даже в том случае, когда один из резонаторов выработал свой ресурс (в этом случае можно переключиться на второй резонатор и продолжить технологический процесс). Для подвода электрического сигнала все датчики имеют миниатюрный разъем "microdot".
Типовые корпуса датчиков представлены ниже (не исчерпывают перечень всех возможных вариантов).
Макс. допустимая температура датчика (без охл. жидкости):
не более 130°С
Макс. допустимая температура окружающей среды (с охлаждением):
не более 400°С
3. Корпус датчика QI6000 (для двух резонаторов).
Наличие 2-х резонаторов позволяют не прерывать технологический процесс в случае,
когда рабочий резонатор выработал свой ресурс или вышел из строя по какой-либо другой причине.
давления
