Корпус датчика (кварцевого резонатора)

Корпус датчика предназначен для крепления кварцевого резонатора, который является чувствительным элементом системы контроля толщины. Для того, чтобы исключить эффекты изменения частоты, связанные с изменением температуры резонатора (при измерениях частота должна зависеть только от массы осаждаемого материала), корпус датчика имеет принудительное жидкостное охлаждение - охлаждающая жидкость поступает к корпусу датчика через трубки внешним диаметром 1/8". В зависимости от конфигурации системы напыления, могут быть выбраны датчики с различным расположением электрического разъема и вводов охлаждения. Кроме того, существуют модификации с двумя и более резонаторами в одном корпусе - это позволяет продолжить процесс напыления покрытий даже в том случае, когда один из резонаторов выработал свой ресурс (в этом случае можно переключиться на второй резонатор и продолжить технологический процесс). Для подвода электрического сигнала все датчики имеют миниатюрный разъем "microdot".

Типовые корпуса датчиков представлены ниже (не исчерпывают перечень всех возможных вариантов).