Группа компаний "АВАКС"
Надежное оборудование от ведущих производителей и собственного производства
ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ •
КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
|
|
|
Консультации on-line:
|
АВАКС в социальных сетях: |
 |
|
|
|
Главная > Компоненты установок > Контроль толщины > Корпус датчика (кварцевого резонатора) > |

Корпус датчика (кварцевого резонатора)

|
- Различные конфигурации датчиков - в том числе для одного и нескольких резонаторов;
- Различные расположения электрического разъема и вводов охлаждения;
- Наличие встроенной заслонки для датчиков с двумя резонаторами;
- Простота монтажа, обслуживания и смены резонаторов
|
• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Корпус датчика предназначен для крепления кварцевого резонатора, который является чувствительным элементом системы контроля толщины. Для того, чтобы исключить эффекты изменения частоты, связанные с изменением температуры резонатора (при измерениях частота должна зависеть только от массы осаждаемого материала), корпус датчика имеет принудительное жидкостное охлаждение - охлаждающая жидкость поступает к корпусу датчика через трубки внешним диаметром 1/8". В зависимости от конфигурации системы напыления, могут быть выбраны датчики с различным расположением электрического разъема и вводов охлаждения. Кроме того, существуют модификации с двумя и более резонаторами в одном корпусе - это позволяет продолжить процесс напыления покрытий даже в том случае, когда один из резонаторов выработал свой ресурс (в этом случае можно переключиться на второй резонатор и продолжить технологический процесс). Для подвода электрического сигнала все датчики имеют миниатюрный разъем "microdot".
Типовые корпуса датчиков представлены ниже (не исчерпывают перечень всех возможных вариантов).
• ТИПЫ ДАТЧИКОВ
1. Корпус датчика QI3000 (для одного резонатора).
 |
 |
|
• |
Внешний диаметр O.D. трубок охлаждения /толщина стенок: |
1.8" (3.2 мм) / 0.015" (0.381 мм) |
• |
Расположение трубок охлаждения: |
параллельно плоскости резонатора |
• |
Ввод в корпус трубок охлаждения: |
через боковую поверхность корпуса датчика |
• |
Электрический разъем: |
microdot |
• |
Расположение электрического разъема: |
на тыльной стороне корпуса датчика |
• |
Загрузка резонатора: |
с фронтальной стороны (со стороны испарителя) |
• |
Материал корпуса гермоввода и трубок: |
нерж. сталь (SUS304) |
• |
Материал электрического разъема: |
нерж. сталь (SUS304), фторопласт, стекло |
• |
Материал электрических контактов корпуса датчика: |
Cu-Be с Au-покрытием |
• |
Используемые кварцевые резонаторы: |
6 МГц, диаметр 14 мм (0,55") |
• |
Поток охлаждающей жидкости: |
не менее 150-200 см3/мин |
• |
Tемпература охлаждающей жидкости: |
не более 30°С |
• |
Максимально допустимая температура датчика (без охл. жидкости): |
не более 130°С |
• |
Максимально допустимая температура окружающей среды (с охлаждением): |
не более 400°С |
|
2. Корпус датчика QI3500 (для одного резонатора).
 |
 |
|
• |
Внешний диаметр O.D. трубок охлаждения /толщина стенок: |
1.8" (3.2 мм) / 0.015" (0.381 мм) |
• |
Расположение трубок охлаждения: |
перпендикулярно плоскости резонатора |
• |
Ввод в корпус трубок охлаждения: |
через тыльную поверхность корпуса датчика |
• |
Электрический разъем: |
microdot |
• |
Расположение электрического разъема: |
на тыльной стороне корпуса датчика |
• |
Загрузка резонатора: |
с фронтальной стороны (со стороны испарителя) |
• |
Материал корпуса гермоввода и трубок: |
нерж. сталь (SUS304) |
• |
Материал электрического разъема: |
нерж. сталь (SUS304), фторопласт, стекло |
• |
Материал электрических контактов корпуса датчика: |
Cu-Be с Au-покрытием |
• |
Используемые кварцевые резонаторы: |
6 МГц, диаметр 14 мм (0,55") |
• |
Поток охлаждающей жидкости: |
не менее 150-200 см3/мин |
• |
Tемпература охлаждающей жидкости: |
не более 30°С |
• |
Максимально допустимая температура датчика (без охл. жидкости): |
не более 130°С |
• |
Максимально допустимая температура окружающей среды (с охлаждением): |
не более 400°С |
|
3. Корпус датчика QI6000 (для двух резонаторов).
Наличие 2-х резонаторов позволяют не прерывать технологический процесс в случае,
когда рабочий резонатор выработал свой ресурс или вышел из строя по какой-либо другой причине.
 |
 |
|
• |
Внешний диаметр O.D. трубок охлаждения и привода заслонки /толщина стенок: |
1.8" (3.2 мм) / 0.015" (0.381 мм) |
• |
Расположение трубок охлаждения и привода заслонки: |
параллельно плоскости резонатора |
• |
Ввод в корпус трубок охлаждения и привода заслонки: |
через боковую поверхность корпуса датчика |
• |
Электрический разъем: |
microdot |
• |
Расположение электрического разъема: |
на тыльной стороне корпуса датчика |
• |
Загрузка резонатора: |
с фронтальной стороны (со стороны испарителя) |
• |
Материал корпуса гермоввода и трубок: |
нерж. сталь (SUS304) |
• |
Материал электрического разъема: |
нерж. сталь (SUS304), фторопласт, стекло |
• |
Материал электрических контактов корпуса датчика: |
Cu-Be с Au-покрытием |
• |
Используемые кварцевые резонаторы: |
6 МГц, диаметр 14 мм (0,55") |
• |
Поток охлаждающей жидкости: |
не менее 150-200 см3/мин |
• |
Tемпература охлаждающей жидкости: |
не более 30°С |
• |
Максимально допустимая температура датчика (без охл. жидкости): |
не более 130°С |
• |
Максимально допустимая температура окружающей среды (с охлаждением): |
не более 400°С |
• |
Привод заслонки: |
пневматический (4-6 бар) |
|
|
|
|
|