n-EXT - гибридные турбомолекулярные насосы от Edwards, скорость откачки по азоту - от 250 л/c до 400 л/c. Нижний подшипник - керамический (для замены не требуется специальное оборудование, инструменты или приспособления), верхний - магнитный. Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса (также в качестве внешнего контроллера могут быть использованы контроллеры TIC). Входные фланцы - стандарта ISO или CF. Незаменимы для безмасляной откачки сравнительно нребольших вакуумных объемов и систем.
• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ НАСОСОВ nEXT
Параметр / Модель |
nEXT-240 |
nEXT-300 |
nEXT-400 |
Входной фланец |
ISO-K100 или CF100 |
ISO-K100 или CF100 |
ISO-K160 или CF160 |
Выходной фланец
|
KF25 (NW25) |
KF25 (NW25) |
KF25 (NW25) |
Скорость откачки, л/c
- по азоту (N2)
- по гелию (He)
- по водороду (H2)
|
250
230
165
|
300
340
280
|
400
390
325
|
Коэффициент компрессии,
- по азоту (N2)
- по гелию (He)
- по водороду (H2)
|
>1011
3×105
1.5×104
|
>1011
1×106
3×106
|
>1011
1×108
5×105
|
Максимальное давление на выпускном патрубке по азоту, Па |
9.5×102 |
9.5×102 |
1×103 |
Предельное остаточное давление, Па
с фланцем ISO-K
с фланцем CF
|
6×10-6
5×10-8
|
6×10-6
5×10-8
|
1×10-6
1×10-8
|
Охлаждение |
воздушное или водяное |
воздушное или водяное |
воздушное или водяное |
Диапазон рабочих температур окружающей среды (воздушное охлаждение) °С |
5 - 35 |
5 - 35 |
5 - 35 |
Минимальный расход воды (водяное охлаждение), л/ч |
15 |
15 |
15 |
Максимально допустимая температура входного фланца, °C |
75 |
80 |
70 |
Номинальная скорость вращения ротора, об/мин |
60000 |
60000 |
60000 |
Время разгона (до 90% номинальной скорости), сек |
115 |
145 |
180 |
Уровень шума (на расстоянии 1 м), дБ |
<45 |
<45 |
<45 |
Потребляемая мощность (номинальная/максимальная), кВт |
160/200 |
160/200 |
160/200 |
Вес (с фланцем ISO / с фланцем CF), кг |
5.7 / 8.8 |
5.7 / 8.5 |
6.5 / 9.5 |
• ЗАВИСИМОСТЬ СКОРОСТИ ОТКАЧКИ ОТ ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ НАСОСОВ nEXT
• ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ НАСОСОВ nEXT
Размеры - в мм
|