Главная > Вакуумные насосы > Магниторазрядные насосы > Насосы магниторазрядные диодные испарительные НМДИ
(типа "НОРД") > |
Насосы магниторазрядные диодные испарительные НМДИ
(типа "НОРД")
|
- полностью безмасляная откачка
- отсутствие механического перемещения деталей в насосе
- возможность откачки инертных газов
- недостатком является кратковременная работа и низкая производительность при давлениях запуска
- возможность исполнения с присоединительными фланцами различных стандартов
|
|
• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Магниторазрядные насосы серии НМДИ (насос магниторазрядный диодный испарительный) предназначены
для откачки газов и газовых смесей,
в том числе инертных газов в высоковакуумных и сверхвысоковакуумных системах. Способность
насосов сении НМДИ к откачке
инертных газов достигнута за счет некоторого ухудшения быстроты откачки по азоту.
НМДИ относятся к категории высоковакуумных насосов, для эксплуатации необходима
предварительная откачка для обеспечения стартового давления ~ 5×10-4 Торр.
Насосы серий НМД, НМДИ не предназначены для работы при высоких давлениях,
близких к стартовому. Для работы при высоких давлениях,
близких к стартовому, используются насосы НМДО (насос магниторазрядный диодный охлаждаемый),
НМДОИ (насос магниторазрядный диодный охлаждаемый испарительный).
|
• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ НАСОСОВ НМДИ
| Параметр / Характеристика |
Ед.изм. |
НМДИ-0.63 |
НМДИ-0.4 |
НМДИ-0.25 |
НМДИ-0.16 |
НМДИ-0.1 |
| Наибольшая быстрота действия по азоту |
л/c |
600 |
320 |
200 |
100 |
80 |
| Наибольшая быстрота действия по аргону |
л/c |
100 |
60 |
40 |
25 |
20 |
| Наибольшее давление запуска |
Па |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
| Наибольшее рабочее давление |
Па |
2×10-3 |
2×10-3 |
2×10-3 |
2×10-3 |
2×10-3 |
| Предельное остаточное давление |
Па |
4×10-8 |
5×10-8 |
5×10-8 |
6×10-8 |
6×10-8 |
| Масса |
кг |
200 |
95 |
53 |
42 |
32.5 |
| Присоединительный фланец, ДУ |
мм |
250 |
160 |
160 |
100 |
100 |
| Рекомендуемый блок питания |
- |
БПМ-0.25 |
БПМ-0.25 |
БПМ-0.25 |
БПМ-0.25 |
БПМ-0.25 |
| Параметр / Характеристика |
Ед.изм. |
НМДИ-0.063 |
НМД-0.025 |
НМД-0.016 |
НМД-0.0063 |
| Наибольшая быстрота действия по азоту |
л/c |
50 |
20 |
12 |
5 |
| Наибольшая быстрота действия по аргону |
л/c |
10 |
5 |
3 |
1 |
| Наибольшее давление запуска |
Па |
1 |
1 |
1 |
1 |
| Наибольшее рабочее давление |
Па |
2×10-3 |
2×10-3 |
2×10-3 |
2×10-3 |
| Предельное остаточное давление |
Па |
8×10-8 |
2×10-7 |
4×10-7 |
4×10-7 |
| Масса |
кг |
23 |
8.5 |
6 |
3.55 |
| Присоединительный фланец, ДУ |
мм |
100 |
100 |
40 |
25 |
| Рекомендуемый блок питания |
- |
БПМ-0.25 |
БПМ-0.025 |
БПМ-0.025 |
БПМ-0.025 |
|
|
давления
