| Главная > Клапаны для систем подачи газов > Клапаны с пневматическим приводом > Клапан плавного напуска газов с пневмоуправлением XVD > |
Клапан плавного напуска газов с пневмоуправлением XVD
|
|
i
Техническая справка по вакуумным клапанам
|
|
- Возможность плавной подачи газа в камеру или магистраль;
- Возможность предустановки потоков по двум каналам;
- Компактность;
- Чистое исполнение;
- Большой ресурс и высокая надежность
|
Общие сведения
|
|
Клапаны серии XVD состоят фактически из двух клапанов (один с малым проходным сечением, другой - с большим) и обеспечивают возможность плавной подачи рабочего газа, например, в вакуумную камеру. Оба канала подачи газа клапанов VXD снабжены регуляторами потока (предустановка). Все элементы клапанов, контактирующие с рабочим газом (или вакуумом) - корпус, диафрагма и детали механизма - выполнены из нержавеющей стали, уплотнение - FKM (в стандартной комплектации). Присоединительная арматура - фитинги стандартов VCR или Swagelok.
|
Основные технические характеристики
| Характеристика (параметр) |
Ед. изм. |
XVD2-02V |
XVD2-02S |
| Тип привода *) |
– |
P1, Н.З. |
P1, Н.З. |
| Рабочая среда |
– |
вакуум; газы, неагрессивные по отношению к материалам клапана |
| Диапазон рабочих давлений |
Па |
от 0.2 МПа до 1×10-6 |
| Диапазон рабочих температур |
°С |
5 - 60 |
5 - 60 |
| Диапазон давлений |
мбар |
1×10-9 – 1000 |
1×10-9 – 1000 |
| Диаметр условного прохода |
мм |
3 |
3 |
| Эффективная площадь сечения основного клапана |
мм2 |
4.6 |
4.6 |
| Эффективная площадь сечения дополнительного клапана |
мм2 |
0.2 - 4.6 |
0.2 - 4.6 |
| Утечка по седлу клапана |
Па×м3/с |
5 × 10-9 |
5 × 10-9 |
| Утечка из полости клапана |
Па×м3/с |
1.3 × 10-11 |
1.3 × 10-11 |
| Присоединительные фитинги |
– |
VCR |
Swagelok |
| Диаметр фитингов номинальный, по OD трубки |
– |
¼" |
¼" |
| Материал корпуса, сильфона, тарелки |
– |
SUS316L |
SUS316L |
| Уплотнение |
– |
FKM (витон) |
FKM (витон) |
| Диапазон давление пилотного воздуха |
МПа |
0.4 - 0.7 |
0.4 - 0.7 |
| Обработка поверхности внутренних полостей и деталей **) |
– |
EP |
EP |
| Порты для подачи пилотного воздуха |
– |
М5 × 0.8 |
М5 × 0.8 |
| Количество рабочих циклов, не менее |
– |
500 000 |
500 000 |
| Вес |
кг |
0.5 |
0.5 |
Примечания:
| *) |
Р1, Н.З. - нормально закрытый (пружина) с пневмоуправлением |
| **) |
EP - электрополировка. |
Габаритные размеры
|
|
|
давления
