Возможность плавной подачи газа в камеру или магистраль;
Возможность предустановки потоков по двум каналам;
Компактность;
Чистое исполнение;
Большой ресурс и высокая надежность
Общие сведения
Клапаны серии XVD состоят фактически из двух клапанов (один с малым проходным сечением, другой - с большим) и обеспечивают возможность плавной подачи рабочего газа, например, в вакуумную камеру. Оба канала подачи газа клапанов VXD снабжены регуляторами потока (предустановка). Все элементы клапанов, контактирующие с рабочим газом (или вакуумом) - корпус, диафрагма и детали механизма - выполнены из нержавеющей стали, уплотнение - FKM (в стандартной комплектации). Присоединительная арматура - фитинги стандартов VCR или Swagelok.
Основные технические характеристики
Характеристика (параметр)
Ед. изм.
XVD2-02V
XVD2-02S
Тип привода *)
–
P1, Н.З.
P1, Н.З.
Рабочая среда
–
вакуум; газы, неагрессивные по отношению к материалам клапана
Диапазон рабочих давлений
Па
от 0.2 МПа до 1×10-6
Диапазон рабочих температур
°С
5 - 60
5 - 60
Диапазон давлений
мбар
1×10-9 – 1000
1×10-9 – 1000
Диаметр условного прохода
мм
3
3
Эффективная площадь сечения основного клапана
мм2
4.6
4.6
Эффективная площадь сечения дополнительного клапана
мм2
0.2 - 4.6
0.2 - 4.6
Утечка по седлу клапана
Па×м3/с
5 × 10-9
5 × 10-9
Утечка из полости клапана
Па×м3/с
1.3 × 10-11
1.3 × 10-11
Присоединительные фитинги
–
VCR
Swagelok
Диаметр фитингов номинальный, по OD трубки
–
¼"
¼"
Материал корпуса, сильфона, тарелки
–
SUS316L
SUS316L
Уплотнение
–
FKM (витон)
FKM (витон)
Диапазон давление пилотного воздуха
МПа
0.4 - 0.7
0.4 - 0.7
Обработка поверхности внутренних полостей и деталей **)
–
EP
EP
Порты для подачи пилотного воздуха
–
М5 × 0.8
М5 × 0.8
Количество рабочих циклов, не менее
–
500 000
500 000
Вес
кг
0.5
0.5
Примечания:
*)
Р1, Н.З. - нормально закрытый (пружина) с пневмоуправлением
**)
EP - электрополировка.
Габаритные размеры
При использовании материалов сайта ссылка обязательна
давления
