| Главная > Клапаны для систем подачи газов > Клапаны с пневматическим приводом > Клапан плавного напуска газов с пневмоуправлением XVD > |
Клапан плавного напуска газов с пневмоуправлением XVD
|
|
- возможность плавной подачи газа в камеру или магистраль;
- возможность предустановки потоков по двум каналам;
- компактность;
- чистое исполнение;
- большой ресурс и высокая надежность
|
|
• НАЗНАЧЕНИЕ И ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
 |
Клапаны серии XVD состоят фактически из двух клапанов (один с малым проходным сечением, другой - с большим) и обеспечивают возможность плавной подачи рабочего газа, например, в вакуумную камеру. Оба канала подачи газа клапанов VXD снабжены регуляторами потока (предустановка). Все элементы клапанов, контактирующие с рабочим газом (или вакуумом) - корпус, диафрагма и детали механизма - выполнены из нержавеющей стали, уплотнение - FKM (в стандартной комплектации). Присоединительная арматура - фитинги стандартов VCR или Swagelok.
|
• ВАРИАНТЫ ИСПОЛНЕНИЯ
Клапаны серии XVD выпускаются в следующих исполнениях:
| XVD2-02S – |
с присоединительными фитингами Swagelok |
| XVD2-02V – |
с присоединительными фитингами VCR |
• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ КЛАПАНОВ XVD
| Параметр |
Ед.изм. |
XVD2-02V |
XVD2-02S |
| • Тип клапана |
|
Н.З. (нормально закрытый (пружина)) с пневмоуправлением |
| • Рабочая среда |
|
вакуум; газы, неагрессивные по отношению к материалам клапана |
| • Диапазон рабочих давлений |
|
от 0.2 МПа до 1×10-6 Па |
| • Диапазон рабочих температур |
°С |
5 - 60 |
| • Диаметр условного прохода |
мм |
3 |
| • Эффективная площадь сечения основного клапана |
мм2 |
4.6 |
| • Эффективная площадь сечения дополнительного клапана |
мм2 |
0.2-4.6 |
| • Утечка по седлу клапана |
Па×м3/с |
5 × 10–-9 |
| • Утечка из полости клапана |
Па×м3/с |
1.3 × 10–-11 |
| • присоединительные фитинги |
|
Swagelok или VCR |
| • Диаметр фитингов номинальный (по OD трубки) |
|
¼" |
| • Материал корпуса, сильфона, тарелки |
|
SUS316L |
| • Уплотнение |
|
FKM (витон) |
| • Диапазон давление пилотного воздуха |
МПа |
0.4 - 0.7 |
| • Обработка поверхности внутренних полостей и деталей |
|
электрополировка |
| • Порты для подачи пилотного воздуха |
|
М5×0.8 |
| • Количество рабочих циклов, не менее |
шт. |
500 000 |
| • Вес |
кг |
0.5 |
|
• ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ
|
|
давления
