Научно-производственная компания "АВАКС" | Вакуумное оборудование, напыление покрытий | Клапаны для систем подачи газов | Клапаны с пневматическим приводом | Клапан плавного напуска газов с пневмоуправлением XVD

Фланцы вакуумные

Уплотнения

вакуумные

Монтажные

Клапан плавного напуска газов с пневмоуправлением XVD

возможность плавной подачи газа в камеру или магистраль;
возможность предустановки потоков по двум каналам;
компактность;
чистое исполнение;
большой ресурс и высокая надежность

• НАЗНАЧЕНИЕ И ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ

Клапаны серии XVD состоят фактически из двух клапанов (один с малым проходным сечением, другой - с большим) и обеспечивают возможность плавной подачи рабочего газа, например, в вакуумную камеру. Оба канала подачи газа клапанов VXD снабжены регуляторами потока (предустановка). Все элементы клапанов, контактирующие с рабочим газом (или вакуумом) - корпус, диафрагма и детали механизма - выполнены из нержавеющей стали, уплотнение - FKM (в стандартной комплектации). Присоединительная арматура - фитинги стандартов VCR или Swagelok.

• ВАРИАНТЫ ИСПОЛНЕНИЯ

Клапаны серии XVD выпускаются в следующих исполнениях:

XVD2-02S –	с присоединительными фитингами Swagelok
XVD2-02V –	с присоединительными фитингами VCR

• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ КЛАПАНОВ XVD

Параметр	Ед.изм.	XVD2-02V	XVD2-02S
• Тип клапана		Н.З. (нормально закрытый (пружина)) с пневмоуправлением
• Рабочая среда		вакуум; газы, неагрессивные по отношению к материалам клапана
• Диапазон рабочих давлений		от 0.2 МПа до 1×10^-6 Па
• Диапазон рабочих температур	°С	5 - 60
• Диаметр условного прохода	мм	3
• Эффективная площадь сечения основного клапана	мм²	4.6
• Эффективная площадь сечения дополнительного клапана	мм²	0.2-4.6
• Утечка по седлу клапана	Па×м³/с	5 × 10^–-9
• Утечка из полости клапана	Па×м³/с	1.3 × 10^–-11
• присоединительные фитинги		Swagelok или VCR
• Диаметр фитингов номинальный (по OD трубки)		¼"
• Материал корпуса, сильфона, тарелки		SUS316L
• Уплотнение		FKM (витон)
• Диапазон давление пилотного воздуха	МПа	0.4 - 0.7
• Обработка поверхности внутренних полостей и деталей		электрополировка
• Порты для подачи пилотного воздуха		М5×0.8
• Количество рабочих циклов, не менее	шт.	500 000
• Вес	кг	0.5

• ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ