ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма

ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ













Консультации on-line:
ICQ: 281785897
Skype: AVACUUM

E-mail: info@avacuum.ru
Web: https://www.avacuum.ru

Тел: +7 (812) 702-82-28
+7 (812) 372-55-45
Факс: +7 (812) 372-55-45

Главная > Компоненты установок > Магнетроны > Семейство АВ5200 высокочастотных магнетронов >

Семейство АВ5200 высокочастотных магнетронов


  • Возможность эффективного распыления диэлектрических и проводящих мишеней;
  • Любое расположение в вакууммной камере
  • Компактные размеры
  • Монтажное отверстие для вводов охлаждения диаметром от 17 мм
  • Использование мишеней прямого и косвенного охлаждения
  • Возможность распыления магнитных материалов
  • Широкий диапазон давлений рабочего газа
  • Широкий диапазон скорости распыления
  • Простота монтажа в серийное отечественное оборудование для нанесения покрытий, в том числе в установки типа УВН, УРМ и другие



• ВАРИАНТЫ ИСПОЛНЕНИЯ СЕМЕЙСТВА АВ5200:

Семейство устройств магнетронного распыления АВ5200 имеет унифицированный корпус диаметром 120 мм и включает в себя магнетроны, предназначенные для работы в режиме постоянного тока и высокочастотного распыления. Магнетроны семейства АВ5200 предназначены для работы с мишенями непосредственного и (или) косвенного охлаждения:

  • АВ5200 высокочастотный магнетрон для работы с мишенями косвенного охлаждения;
  • АВ5201 высокочастотный магнетрон для работы с мишенями непосредственного охлаждения
  • АВ5202 высокочастотный магнетрон для работы с мишенями косвенного и непосредственного охлаждения


• ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МАГНЕТРОНОВ СЕМЕЙСТВА АВ5200:
  • Назначение: распыление диэлектрических, полупроводниковых и проводящих мишеней
  • Тип: высокочастотный магнетрон
  • Габаритные размеры корпуса магнетрона: Ø120 х 25 мм
  • Габаритные размеры магнетрона в сборе с экраном и анодом: Ø126 х 50 мм
  • Способ монтажа в вакууммной камере: на одной стойке
  • Kоличество вводов охлаждения: 2 шт.
  • Способ монтажа вводов охлаждения: с использованием фланцев семейства АВ3710 или посредством иного вакууммно плотного соединения
  • Внешний диаметр вводов охлаждения: Ø6 + 0.1 мм
  • Тип магнитной системы: постоянные магниты
  • Диаметр магнитной системы: Ø93 мм
  • Охлаждение мишени: непосредственное или косвенное
  • Размеры мишени непосредственного охлаждения: Ø98 мм
  • Размеры мишени косвенного охлаждения: Ø93 мм
  • Максимальная толщина мишени непосредственного охлаждения: 10 мм
  • Максимальная толщина мишени косвенного охлаждения: 5 мм
  • Рабочее напряжение (режим постоянного тока): 300 – 400 В
  • Рабочий ток (режим постоянного тока): до 3 А
  • Напряжение поджига (режим постоянного тока): 700-1000 В
  • Мощность в режиме ВЧ распыления: до 1.3 кВт
  • Рабочая частота (режим ВЧ распыления): 13.56 мГц
  • Основной конструкционный материал: нерж. сталь 12Х18Н10Т

Вводы охлаждения магнетронов наружным диаметром 6 мм выполнены гибкими трубками из нержавеющей стали, что позволяет легко располагать и монтировать магнетроны в любом удобном месте вакуумной камеры.

Устройства магнетронного распыления могут быть укомплектованы фланцами, обеспечивающими подачу и слив охлаждающей жидкости, в том числе фланцами, выполненными по техническому заданию заказчика. Минимальный размер монтажного отверстия в вакуумной камере для размещения фланца, обеспечивающего подвод обеих трубок охлаждения, составляет 17 мм.