Возможность эффективного распыления диэлектрических и проводящих мишеней;
Любое расположение в вакууммной камере;
Компактные размеры;
Монтажное отверстие для вводов охлаждения диаметром от 17 мм;
Использование мишеней прямого и косвенного охлаждения;
Возможность распыления магнитных материалов;
Широкий диапазон давлений рабочего газа;
Широкий диапазон скорости распыления;
Простота монтажа в серийное отечественное оборудование для нанесения покрытий, в том числе в установки типа УВН, УРМ и другие.
Общие сведения
Вводы охлаждения магнетронов наружным диаметром 6 мм выполнены гибкими трубками из нержавеющей стали, что позволяет легко располагать и монтировать магнетроны в любом удобном месте вакуумной камеры.
Устройства магнетронного распыления могут быть укомплектованы фланцами, обеспечивающими подачу и слив охлаждающей жидкости, в том числе фланцами, выполненными по техническому заданию заказчика. Минимальный размер монтажного отверстия в вакуумной камере для размещения фланца, обеспечивающего
подвод обеих трубок охлаждения, составляет 17 мм.
Варианты исполнения
Семейство устройств магнетронного распыления АВ5200 имеет унифицированный корпус диаметром 120 мм и включает в себя магнетроны, предназначенные для работы в режиме постоянного тока и высокочастотного распыления. Магнетроны семейства АВ5200 предназначены для работы с мишенями непосредственного и (или) косвенного охлаждения:
АВ5200 высокочастотный магнетрон для работы с мишенями косвенного охлаждения;
АВ5201 высокочастотный магнетрон для работы с мишенями непосредственного охлаждения;
АВ5202 высокочастотный магнетрон для работы с мишенями косвенного и непосредственного охлаждения.
Основные технические характеристики
Параметр
Ед.изм.
Устройства магнетронного распыления семейства АВ5200
Назначение:
–
Распыление диэлектрических, полупроводниковых и проводящих мишеней
Тип:
–
Высокочастотный магнетрон
Габаритные размеры корпуса магнетрона:
мм
Ø120 × 25
Габаритные размеры магнетрона в сборе с экраном и анодом:
мм
Ø126 × 50
Способ монтажа в вакууммной камере:
–
На одной стойке
Kоличество вводов охлаждения:
шт
2
Способ монтажа вводов охлаждения:
–
С использованием фланцев семейства АВ3710 или посредством иного вакууммно плотного соединения
Вся информация о товарах, услугах и ценах, предоставленная на данном интернет-сайте, носит исключительно информационный характер и
ни при каких условиях не является публичной офертой, определяемой положениями Статьи 437 Гражданского кодекса Российской Федерации.
давления
