ООО "АВАКС"
    Научно-производственная фирма

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ












    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    Главная > Компоненты установок > Стабилизаторы давления > Стабилизатор давления АВ6901 >

    Стабилизатор давления АВ6901


    • Эффективное поддержание давления рабочего газа в автоматическом режиме для обеспечения стабильности технологических процессов
    • Возможность использования в отечественных установках типа УВН, УВР и др. с пневматическим приводом высоковакуумного затвора
    • Удобство в эксплуатации
    • Обеспечение стабильности скорости осаждения покрытий при использовании устройств магнетронного распыления
    • Высокая надежность


    Техническое описание и инструкция по эксплуатации стабилизаторов давления АВ6901 / АВ6905 (910 Kb)




    • ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ:

    Устройство поддержания постоянного давления рабочего газа в вакуумной камере (стабилизатор давления) АВ6901 предназначен для поддержания постоянного давления рабочего газа в вакуумной камере установок с пневматическим приводом высоковакуумного затвора. Стабилизатор АВ6901 адаптирован для использования в широко распространенных отечественных установках типа УВН, УРМ и аналогичных. Заданное значение давления при работе системы обеспечивается за счет изменения скорости откачки, которая зависит от положения затвора, отсекающего вакуумную камеру от высоковакуумного насоса. Положение затвора регулируется исполнительным механизмом. Управление исполнительным механизмом осуществляет ПИД-регулятор, сравнивающий сигнал с вакуумметра, измеряющего давление в вакуумной камере, с величиной опорного сигнала, задаваемого оператором.

    В состав комплекта поставки стабилизатора давления АВ6901 входит исполнительный механизм со схемой управления и блок управления с ПИД-регулятором. Для эксплуатации стабилизатора давления необходим вакуумметр с манометрическим преобразователем, обеспечивающий измерение остаточного давления в рабочем диапазоне стабилизатора давления и имеющий аналоговый выход 0-10В. В качестве такого вакуумметра могут быть использованы, например, вакуумметры АВ3532, ВМБ-8, ВМБ-14 с преобразователем ПММ-32-1, смонтированным в вакуумной камере установки, а также активные датчики (манометрические преобразователи) Пирани, маниторазрядные или "full-range" . Эти компоненты и не входят в стандартный комплект поставки стабилизатора давления АВ6901. При отсутствии таких средств измерения у заказчика, они могут быть приобретены отдельно (более подробная информация приведена в разделе сайта Вакуумметры). Управление стабилизатором давления может также обеспечивать блок управления откачкой AB2107.

    Монтаж исполнительного механизма стабилизатора давления АВ6901 осуществляется на кронштейн крепления привода высоковакуумного затвора и станину установки с ее тыльной стороны. Механическая связь между исполнительным механизмом и штатным приводом управления высоковакуумным затвором обеспечивается системой штоков и тяг. При монтаже часть деталей привода высоковакуумного затвора установки заменяется на детали, входящие в комплект поставки. В процессе эксплуатации все действия, необходимые для управления устройством, оператор производит с панели управления.

    Одной из наиболее эффективных областей применения стабилизатора давления АВ6901 - использование в составе систем магнетронного распыления.



    • ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ УСТРОЙСТВА ПОДДЕРЖАНИЯ ПОСТОЯННОГО ДАВЛЕНИЯ РАБОЧЕГО ГАЗА В ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕ (СТАБИЛИЗАТОРА ДАВЛЕНИЯ) АВ6901

    • Назначение: поддержание заданной величины давления рабочего газа в вакуумной камере установок с пневматическим приводом высоковакуумного затвора.
    • Рабочий диапазон давлений: 1 х 10-4 - 5 х 10-3 Торр
    • Стабильность поддержания давления: не хуже 2%
    • Точность задания давления: определяется классом точности используемого вакуумметра
    • Габаритные размеры: 310x93x90 мм
    • Величина рабочего хода штока: не менее 38 мм
    • Монтаж исполнительного механизма: на станине установки с тыльной стороны
    • Давление воздуха, необходимое для работы пневматических клапанов: 4-8 бар
    • Блок управления: АВ2301 или АВ2302
    • Напряжение питания: 220 В (50 Гц)
    • Время непрерывной работы в нормальных условиях: не ограничено
    • Дополнительно: стабилизаторы давления АВ 6901 эксплуатируются совместно с вакуумметром или активным манометрическим преобразователем, которые имеют аналоговый выход 0-10 В




    Техническое описание и инструкция по эксплуатации стабилизаторов давления АВ6901 / АВ6905 (910 Kb)