ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма

ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ













Консультации on-line:
ICQ: 281785897
Skype: AVACUUM

E-mail: info@avacuum.ru
Web: https://www.avacuum.ru

Тел: +7 (812) 702-82-28
+7 (812) 372-55-45
Факс: +7 (812) 372-55-45

Главная > Вакуумная арматура > Гермовводы и манипуляторы для передачи движения в вакуумные системы >

Гермовводы и манипуляторы для передачи движения в вакуумные системы


Вводы вращения с уплотнением вала кольцами круглого сечения (FKM o'ring)

Корпус гермоввода выполнен из алюминиевого сплава, неразрывный вал - из нержавеющей стали. Уплотнение вала обеспечивается с помощью колец круглого сечения (o'ring), изготовленных из FKM (витона). Вал вращается в двух шариковых подшипниках, специальная вакуумная смазка обеспечивает работу гермовводов до давлений 1×10-8 мбар. Большой ресурс 10 - 20 млн. оборотов (в зависимости от диаметра штока).
Присоединительные фланцы гермовводов - ISO-KF16, 25, 40 и ISO-K63.
Cильфонные вводы вращения

Сильфонные вводы вращения используются в высоковакуумных и свервысоковакуумных системах и имеют присоединительные фланцы CF (conflat). И корпус гермоввода, и вал выполнены из нержавеющей стали. Изоляция вакуумного объема от атмосферы обеспечивается с помощью сильфонного узла. Подшипники гермоввода - из нержавеющей стали, с сухой смазкой. Диапазон рабочих давлений от 1×10-9 мбар до избыточного давления 500 мбар.
Присоединительные фланцы гермовводов - CF16, CF40.
В зависимости от исполнения могут использоваться для ручного поворота объектов или эксплуатироваться в составе приводов (электрических или пневматических).
Вводы вращения с магнитной связью ("магнитные")

Вводы вращения с магнитной связью ("магнитные") используются в высоковакуумных и свервысоковакуумных системах и имеют присоединительные фланцы CF (conflat). И корпус гермоввода, и вал выполнены из нержавеющей стали. Вал ввода вращения не имеет непосредственной механической связи с приводом, находящимся с атмосферной стороны. Следовательно, наличие утечек в вакуумную камеру через такой гермоввод исключено. Для передачи вращения используется сильный магнит, перемещающий магнитный сердечник, жестко закрепленный на валу гермоввода. Магнит находится с атмосферной стороны, а вал с подшипниками (с сухой смазкой) и сердечник находятся внутри герметичного корпуса гермоввода (в вакууме). Как правило, такие гермовводы способны передавать меньшие усилия, чем другие типы гермовводов, причем при превышении максимального усилия магнитная связь нарушается (рукоятка с магнитом "проскальзывает"). Диапазон рабочих давлений от 1×10-10 мбар до избыточного давления 500 мбар.
Присоединительные фланцы гермовводов - CF16, CF40. Исполнение: с ручным или электроприводом (шаговый двигатель).
Вводы вращения с магнитожидкостным уплотнением

В магнитожидкостных гермовводах вращения с в качестве вакуумного уплотнения используется ферромагнитная жидкость (ФЖ). ФЖ представляет собой коллоидный раствор наноразмерных частиц (10 ни и менее), содержащих железо. Она удерживается в зазоре между валом гермоввода и его корпусом за счет внешнего магнитного поля (которое формируется постоянным магнитом, концентрически расположенном относительно вала гермоввода). Кроме обеспечения вакуумного уплотнения ФЖ также играет роль эффективной смазки: трение в магнитожидкостном гермовводе очень мало, а единственными изнашивающимися частями являются подшипники. К недостаткам относится использование поверхностно-активных веществ (ПАВ) для стабилизации (предотвращения слипания) частиц ФЖ - с течением времени ПАВ могут деградировать. Кроме того, ФЖ критична к температуре - при высоких температурах эксплуатации гермоввод требует принудительного охлаждения.
Гермовводы вращения/линейного перемещения с уплотнением вала кольцами круглого сечения (FKM o'ring)

Гермоввод обеспечивает и вращение, и линейное перемещение. Уплотнение вала обеспечивается с помощью колец круглого сечения (o'ring), изготовленных из FKM (витона). Гермоввод работает до давлений 1×10-8 мбар. В зависимости от исполнения обеспечивает линейное перемещение от 50 до 750 мм.
Присоединительные фланцы гермовводов - ISO-KF16, 25, 40.
Гермовводы линейного перемещения с сильфонным уплотнением

Сильфонные вводы линейного перемещения используются в высоковакуумных и свервысоковакуумных системах и имеют присоединительные фланцы CF (conflat). И корпус гермоввода, и вал выполнены из нержавеющей стали. Изоляция вакуумного объема от атмосферы обеспечивается с помощью сильфонного узла. Диапазон рабочих давлений от 1×10-9 мбар до избыточного давления 500 мбар.
Присоединительные фланцы гермовводов - CF16, CF40.
В зависимости от исполнения могут использоваться для перемещения объектов в ручном режиме или эксплуатироваться в составе приводов (электрических, с шаговым двигателем).
Гермовводы вращения/линейного перемещения с магнитной связью ("магнитные")

Вводы вращения/линейного перемещения с магнитной связью ("магнитные") используются в высоковакуумных и свервысоковакуумных системах и имеют присоединительные фланцы CF (conflat). И корпус гермоввода, и вал выполнены из нержавеющей стали. Вал гермоввода не имеет непосредственной механической связи с приводом, находящимся с атмосферной стороны. Следовательно, наличие утечек в вакуумную камеру через такой гермоввод исключено. Для передачи вращения используется сильный магнит, перемещающий магнитный сердечник, жестко закрепленный на валу (штоке) гермоввода. Магнит находится с атмосферной стороны, а шток и сердечник находятся внутри герметичного корпуса гермоввода (в вакууме). Как правило, такие гермовводы способны передавать меньшие усилия, чем другие типы гермовводов, причем при превышении максимального усилия магнитная связь нарушается (рукоятка с магнитом "проскальзывает"). Диапазон рабочих давлений от 1×10-10 мбар до избыточного давления 500 мбар.
Присоединительные фланцы гермовводов - CF40. Исполнение: с ручным управлением.
Манипуляторы

Манипуляторы - прецизионные гермовводы для передачи движения, имеющие несколько степеней свободы. Манипуляторы предназначены для точного позиционирования объектов в вакуумной камере. Основа манипуляторов - гермовводы с сильфонным уплотнением. Иcпользуются в большинстве случаев в высоковакуумных и сверхвысоковакуумных системах. Манипуляторы могут поставляться как в исполнении с ручным приводом, так и с приводами на основе шаговых двигателей.