Цеолитовые ловушки MST

Цеолитовые ловушки используются, как правило, для предотвращения попадания паров рабочей жидкости, которая используется в насосах, в вакуумную систему / камеру. Основным компонентом цеолитовой ловушки являются цеолиты (иначе называемые "молекулярные сита") - материалы, имеющие огромную площадь поверхности. Это позволяет обеспечивать эффективную конденсацию примесей и паров. Чаще всего представляют собой небольшие гранулы. Цеолиты размещены в корпусе из нержавеющей стали с фланцами. К недостаткам цеолитовых фильтров относится необходимость регенерации цеолита (осуществляется посредством нагрева - нагревательный элемент встроен в ловушку). В процессе регенерации необходимо отсекать ловушку от вакуумной системы и одновременно производить откачку продуктов, выделяющихся в процессе прогрева цеолита.