Группа компаний "АВАКС"
    Надежное оборудование от ведущих производителей и собственного производства

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ















    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    АВАКС в социальных сетях:

    Главная > Компоненты установок > Высокочастотные генераторы и устройства согласования > Высокочастотные (13.56 МГц) генераторы >

    Высокочастотные (13.56 МГц) генераторы


    Надежные ВЧ генераторы по низким ценам. Скидки. Квалифицированные консультации.

    Общие сведения

    Радиочастотные (высокочастотные (ВЧ)) генераторы в вакуумных приложениях используются для возбуждения плазмы в остаточной атмосфере или атмосфере газов, предварительно поданных в вакуумную камеру (при давлениях ниже атмосферного). Примерами технологических процессов, в которых используется плазма, являются высокочастотное магнетронное распыление диэлектрических мишеней, очистка поверхности подложек в плазме тлеющего разряда, ионно-плазменное и плазмохимическое травление и многие другие.

    Варианты исполнения

    Линейка высокочастотных (ВЧ) генераторов серии AG включает в себя исполнения с разной мощностью:

    300, 500, 1000, 1500, 2000, 3000, 5000 Вт.

    Все генераторы могут использоваться совместно с автоматическим согласующим устройством серии AM соответствующей мощности. На передней панели генераторов предусмотрена панель управления устройством согласования в ручном режиме.

    В таблице ниже приведены технические характеристики высокочастотного генератора мощностью 2 кВт. Такие генераторы могут использоваться с устройствами магнетронного распыления АВ5200.

    Основные технические характеристики

    Характеристика / Параметр Ед.изм. AG-1320
    Рабочая частота МГц 13,56±0,005%
    Выходная мощность (диапазон регулировки) Вт 10 – 2000
    Максимальная отраженная мощность Вт 400
    Стабильность выходной мощности % 0.1
    Тип разъема (выход ВЧ) N тип
    Эффективность (КПД), не менее % 65
    Гармоническая составляющая, не более дБн (dBc) -50
    Напряжение питания (переменное 50 Гц) В 178 – 235 (1ф)
    Охлаждение воздушное
    Температура окружающей среды °C -10 – 40
    Интерфейс аналоговый, RS232/RS485
    Вес кг 26
    Рабаритные размеры (В × Ш × Г) мм 132 × 483 × 500