Надежные ВЧ генераторы по низким ценам. Скидки. Квалифицированные консультации.
Общие сведения
Радиочастотные (высокочастотные (ВЧ)) генераторы в вакуумных приложениях используются для возбуждения плазмы в остаточной атмосфере или атмосфере газов, предварительно поданных в вакуумную камеру (при давлениях ниже атмосферного). Примерами технологических процессов, в которых используется плазма, являются высокочастотное магнетронное распыление диэлектрических мишеней, очистка поверхности подложек в плазме тлеющего разряда, ионно-плазменное и плазмохимическое травление и многие другие.
Варианты исполнения
Линейка высокочастотных (ВЧ) генераторов серии AG включает в себя исполнения с разной мощностью:
300, 500, 1000, 1500, 2000, 3000, 5000 Вт.
Все генераторы могут использоваться совместно с автоматическим согласующим устройством серии AM соответствующей мощности. На передней панели генераторов предусмотрена панель управления устройством согласования в ручном режиме.
В таблице ниже приведены технические характеристики высокочастотного генератора мощностью 2 кВт. Такие генераторы могут использоваться с устройствами магнетронного распыления АВ5200.
Вся информация о товарах, услугах и ценах, предоставленная на данном интернет-сайте, носит исключительно информационный характер и
ни при каких условиях не является публичной офертой, определяемой положениями Статьи 437 Гражданского кодекса Российской Федерации.
давления
