Главная > Вакуумные насосы > Турбомолекулярные насосы > Турбомолекулярные насосы HiPace1200, 1500, 1800, 2300 > |

Турбомолекулярные насосы HiPace1200, 1500, 1800, 2300

|
|
- Компактность;
- Допускают достаточно высокое давление на выхлопном фланце;
- Близкая скорость откачки для легких и тяжелых газов;
- Гибридный подвес ротора;
- Малое время выхода на рабочий режим;
- Варианты исполнения для работы в любой ориентации;
- Надежность, простота монтажа и обслуживания;
- Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса
|
|
• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Серия турбомолекулярных насосов с гибридным подвесом ротора (нижний подшипник - керамический, верхний - магнитный) от Pfeiffer Vacuum. Скорость откачки по азоту - от 1250 л/c (HiPace1200) до 1900 л/c (HiPace2300). Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса. Входные фланцы (в зависимости от исполнения) - стандарта ISO-K, ISO-F или CF. Турбомолекулярные насосы HiPace допускают достаточно высокое давление на выхлопном фланце. Для всех насосов этой серии есть коррозионно стойкое исполнение, что позволяет использовать эти насосы, например, в установках плазмохимического травления. Имеют большой межсервсисный интервал, подшипники могут быть замены пользователем самостоятельно. Успешно используются как в исследовательских установках, так и в различных отраслях промышленности.
|
• ВАРИАНТЫ ИСПОЛНЕНИЯ
– |
Присоединительные фланцы - ISO-K, ISO-F или CF |
– |
Химически стойкое исполнение - HiPace1200С, HiPace1500С, HiPace1800С, HiPace2300С |
– |
Насосы для работы в положении от 0 до 90°С (HiPace1200, HiPace1500, HiPace1800, HiPace2300) и от 90 до 180°С (HiPace1200U, HiPace1500U, HiPace1800U, HiPace2300U)
|
• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Параметр / Модель |
HiPace1200 |
HiPace1500 |
HiPace1800 |
HiPace2300 |
Входной фланец |
ISO-K200 CF200 |
ISO-K250 CF250 |
ISO-K200 |
ISO-K250 CF250 |
Выходной фланец |
ISO-KF40 |
ISO-KF40 |
ISO-KF40 |
ISO-KF40 |
Вентиляционный порт |
G1/8" |
G1/8" |
G1/8" |
G1/8" |
Скорость откачки (л/c): – по азоту – по гелию – по водороду – по аргону – по тетрафтор метан (СС4) |
1250 1300 1100 1200 950 |
1450 1350 1150 1400 1100 |
1400 1650 1700 1370 1050 |
1900 2050 1850 1850 1450 |
Коэффициент компрессии: – по азоту – по гелию – по водороду – по аргону |
>1×108 2×105 6×103 >1×108 |
>1×108 2×105 6×103 >1×108 |
>1×108 3×105 2×104 >1×108 |
>1×108 >3×105 2×104 >1×1011 |
Максимальное давление на выхлопном фланце (мбар): |
2 |
2 |
1.8 |
1.8 |
Предельный вакуум (мбар): – с фланцем CF – с фланцем ISO-K |
<5×10-10 <5×10-5 |
<5×10-10 <1×10-7 |
<5×10-10 <1×10-7 |
<5×10-10 <1×10-7 |
Скорость вращения (об/мин): |
37800 |
37800 |
31500 |
31500 |
Время выхода на рабочий режим (мин): |
2.5 |
2.5 |
4 |
4 |
Охлаждение: |
вода |
вода |
вода |
вода |
Потребление охл. воды (л/час): |
100 |
100 |
100 |
100 |
Температура охл. воды: (°С) |
15-35 |
15-35 |
15-35 |
15-35 |
Напряжение питания (В, перем.): |
200-240 |
200-240 |
200-240 |
200-240 |
Потребляемая мощность: (Вт) |
1350 |
1350 |
1350 |
1350 |
Вес (кг): |
27-40 |
29-41 |
33-34 |
34-47 |
|
• ЗАВИСИМОСТЬ СКОРОСТИ ОТКАЧКИ ОТ ДАВЛЕНИЯ
HiPace1200 |
HiPace1500 |
 |
 |
HiPace1800 |
HiPace2300 |
 |
 |
• ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ
Размеры - в мм
HiPace1200 (фланец ISO-K200) |
HiPace1500 (фланец ISO-K250) |
 |
 |
HiPace1800 (фланец ISO-K200) |
HiPace2300 (фланец ISO-K250) |
 |
 |
|
|