| Главная > Вакуумные насосы > Турбомолекулярные насосы > Турбомолекулярные насосы HiPace1200, 1500, 1800, 2300 > |
Турбомолекулярные насосы HiPace1200, 1500, 1800, 2300
|
|
- Компактность;
- Допускают достаточно высокое давление на выхлопном фланце;
- Близкая скорость откачки для легких и тяжелых газов;
- Гибридный подвес ротора;
- Малое время выхода на рабочий режим;
- Варианты исполнения для работы в любой ориентации;
- Надежность, простота монтажа и обслуживания;
- Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса
|
|
• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
|
Серия турбомолекулярных насосов с гибридным подвесом ротора (нижний подшипник - керамический, верхний - магнитный) от Pfeiffer Vacuum. Скорость откачки по азоту - от 1250 л/c (HiPace1200) до 1900 л/c (HiPace2300). Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса. Входные фланцы (в зависимости от исполнения) - стандарта ISO-K, ISO-F или CF. Турбомолекулярные насосы HiPace допускают достаточно высокое давление на выхлопном фланце. Для всех насосов этой серии есть коррозионно стойкое исполнение, что позволяет использовать эти насосы, например, в установках плазмохимического травления. Имеют большой межсервсисный интервал, подшипники могут быть замены пользователем самостоятельно. Успешно используются как в исследовательских установках, так и в различных отраслях промышленности.
|
• ВАРИАНТЫ ИСПОЛНЕНИЯ
| – |
Присоединительные фланцы - ISO-K, ISO-F или CF |
| – |
Химически стойкое исполнение - HiPace1200С, HiPace1500С, HiPace1800С, HiPace2300С |
| – |
Насосы для работы в положении от 0 до 90°С (HiPace1200, HiPace1500, HiPace1800, HiPace2300) и от 90 до 180°С (HiPace1200U, HiPace1500U, HiPace1800U, HiPace2300U)
|
• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Параметр / Модель |
HiPace1200 |
HiPace1500 |
HiPace1800 |
HiPace2300 |
| Входной фланец |
ISO-K200
CF200 |
ISO-K250
CF250 |
ISO-K200 |
ISO-K250
CF250 |
| Выходной фланец |
ISO-KF40 |
ISO-KF40 |
ISO-KF40 |
ISO-KF40 |
| Вентиляционный порт |
G1/8" |
G1/8" |
G1/8" |
G1/8" |
Скорость откачки (л/c):
– по азоту
– по гелию
– по водороду
– по аргону
– по тетрафтор метан (СС4) |
1250
1300
1100
1200
950 |
1450
1350
1150
1400
1100 |
1400
1650
1700
1370
1050 |
1900
2050
1850
1850
1450 |
Коэффициент компрессии:
– по азоту
– по гелию
– по водороду
– по аргону |
>1×108
2×105
6×103
>1×108 |
>1×108
2×105
6×103
>1×108 |
>1×108
3×105
2×104
>1×108 |
>1×108
>3×105
2×104
>1×1011 |
| Максимальное давление на выхлопном фланце (мбар): |
2 |
2 |
1.8 |
1.8 |
Предельный вакуум (мбар):
– с фланцем CF
– с фланцем ISO-K |
<5×10-10
<5×10-5 |
<5×10-10
<1×10-7 |
<5×10-10
<1×10-7 |
<5×10-10
<1×10-7 |
| Скорость вращения (об/мин): |
37800 |
37800 |
31500 |
31500 |
| Время выхода на рабочий режим (мин): |
2.5 |
2.5 |
4 |
4 |
| Охлаждение: |
вода |
вода |
вода |
вода |
| Потребление охл. воды (л/час): |
100 |
100 |
100 |
100 |
| Температура охл. воды: (°С) |
15-35 |
15-35 |
15-35 |
15-35 |
| Напряжение питания (В, перем.): |
200-240 |
200-240 |
200-240 |
200-240 |
| Потребляемая мощность: (Вт) |
1350 |
1350 |
1350 |
1350 |
| Вес (кг): |
27-40 |
29-41 |
33-34 |
34-47 |
|
• ЗАВИСИМОСТЬ СКОРОСТИ ОТКАЧКИ ОТ ДАВЛЕНИЯ
| HiPace1200 |
HiPace1500 |
 |
 |
| HiPace1800 |
HiPace2300 |
 |
 |
• ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ
Размеры - в мм
| HiPace1200 (фланец ISO-K200) |
HiPace1500 (фланец ISO-K250) |
 |
 |
| HiPace1800 (фланец ISO-K200) |
HiPace2300 (фланец ISO-K250) |
 |
 |
|
|
давления
