Группа компаний "АВАКС"
    Надежное оборудование от ведущих производителей и собственного производства

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ















    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    АВАКС в социальных сетях:

    Главная > Компоненты установок > Высокочастотные генераторы и устройства согласования > Устройства согласования >

    Устройства согласования


    Надежные ВЧ генераторы и устройства согласования по низким ценам. Скидки. Квалифицированные консультации.

    Общие сведения

    Устройства согласования используются для для уменьшения потерь мощности при передаче высокочастотного сигнала на нагрузку (нагрузкой является технологическое устройство и плазменный разряд). На высоких частотах импеданс технологических устройств может быть различен и при отсутствии устройства согласования мощность, передаваемая на такое устройство может оказаться очень низкой из-за большой разницы в волновых сопротивлениях. Основными компонентами устройства согласования являются переменные ёмкость (обычно вакуумный конденсатор) и индуктивность. В процессе согласования характеристики емкости и индуктивности подбираются (изменяются) для обеспечения минимальных потерь мощности (минимальной интенсивности отраженной волны). Устройства согласования серии AM могут работать в ручном и/или автоматическом режиме. В последнем случае оптимальные условия согласования устанавливаются в автоматическом режиме в течение 1-3 секунд.

    Устройства согласования серии AM используют цифровые алгоритмы для согласования импеданса,что обеспечивает быструю,точную и воспроизводимую настройку. Подстройка емкости и индуктивности осуществляется шаговыми двигателями, что обеспечивает существенные преимущества перед устройствами согласования с аналоговым управлением. Основные преимущества устройств согласования серии AM:

  • Обеспечивают долговременную стабильность технологического процесса;
  • Просты в установке, настройке и эксплуатации;
  • Быстрое, точное и воспроизводимое согласование импеданса;
  • Серия AM рассчитана на широкий диапазон мощности и частот.

    Варианты исполнения

    Линейка устройств согласования серии AM включает в себя исполнения, рассчитанные на различную максимальную мощность:

    300, 500, 1000, 1500, 2000, 3000, 5000 Вт.

    Все устройства согласования используются совместно с высокочастотными генераторами серии AG соответствующей мощности.

    Основные технические характеристики

    Характеристика / Параметр Ед.изм. AM-1320
    Рабочая частота МГц 13,56±0,005%
    Максимальная передаваемая мощность Вт 2000
    Максимальная отраженная мощность (при макс. мощности на входе), не более Вт 5
    Максимальная токовая нагрузка (RMS, среднеквадратичная) А 30
    Макимальная нагрузка по напряжению (RMS, среднеквадратичная) B 7500
    Эффективность передачи (КПД), не менее % 90
    Время согласования в автоматическом режиме с 1 – 3
    Тип регулируемой емкости вакууумный переменный конденсатор
    Диапазон настройки (согласования) активной составляющей импеданса Ом 0 – 80
    Диапазон настройки (согласования) реактивной составляющей импеданса -j200 – +j200
    Охлаждение вода
    Интерфейс автоматический, ручной
    Напряжение питания (переменное 50 Гц) В 187 – 253, 1ф
    Вес кг 8
    Рабаритные размеры (В × Ш × Г) мм 130 × 430 × 220
  •