Научно-производственная компания "АВАКС" | Вакуумное оборудование | Вакуумные системы | Вакуумные насосы | Турбомолекулярные насосы | Турбомолекулярные насосы HiPace10, 30, 80, 300, 400, 700, 800

Турбомолекулярные насосы HiPace10, 30, 80, 300, 400, 700, 800

Компактность (HiPace10 и HiPace30 - самые компактные насосы из серийно выпускаемых);
Допускают достаточно высокое давление на выхлопном фланце;
Малое время выхода на рабочий режим;
Работа в любой ориентации;
Простота монтажа и обслуживания;
Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса;
Лучший вариант для безмасляной откачки вакуумных систем различного объема.

Общие сведения

Серия турбомолекулярных насосов с гибридным (кроме HiPace10) подвесом ротора (нижний подшипник - керамический, верхний - магнитный) от Pfeiffer Vacuum. HiPace10 и HiPace30 - самые маленькие из серийно выпускаемых турбомолекулярных насосов. Скорость откачки по азоту - от 10 л/c (HiPace10) до 790 л/c (HiPace800). Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса (также в качестве внешнего контроллера могут быть использованы контроллеры DCU). Входные фланцы (в зависимости от исполнения) - стандарта ISO-KF, ISO-K, ISO-F или CF. Турбомолекулярные насосы HiPace допускают достаточно высокое давление на выхлопном фланце, поэтому требования к выбору форвакуумного насоса становятся менее жесткими. Могут устанавливаться в любом положении.

Варианты исполнения

–	Присоединительные фланцы - ISO-KF (для HiPace10,30,80), ISO-K, ISO-F или CF;
–	Химически стойкое исполнение - HiPace300С;
–	Промышленное исполнение (возможно использование для откачки сред, содержащих пылевые частицы) - HiPace60P, HiPace300P, HiPace400P, HiPace700P, HiPace800P;
–	Охлаждение - воздушное или водяное.

Основные технические характеристики

Характеристика / Параметр	HiPace10	HiPace30	HiPace80	HiPace300	HiPace400	HiPace700	HiPace800
Входной фланец:	ISO-KF25	ISO-KF40 ISO-K63 CF63	ISO-KF40 ISO-K63 CF63	ISO-K100 CF100	ISO-K100 CF100	ISO-K160 CF160	ISO-K200 CF200
Выходной фланец:	ISO-KF16	ISO-KF16	ISO-KF16	ISO-KF16	ISO-KF25	ISO-KF25	ISO-KF25
Вентиляционный порт:	G1/8"	G1/8"	G1/8"	G1/8"	G1/8"	G1/8"	G1/8"
Скорость откачки (л/c):
– по азоту	10	32	67	260	355	685	790
– по гелию	6	24	58	255	470	655	700
– по водороду	3.7	20	48	220	445	555	580
– по аргону	11.5	32	66	255	320	665	780
Коэффициент компрессии:
– по азоту	3×10⁶	> 1×10¹¹	> 1×10¹¹	> 1×10¹¹	> 1×10¹¹	> 1×10¹¹	> 1×10¹¹
– по гелию	3×10³	1×10⁸	1.3×10⁷	> 1×10⁸	3×10⁷	3×10⁷	3×10⁷
– по водороду	3×10²	3×10⁵	1.4×10⁵	9×10⁵	4×10⁵	4×10⁵	4×10⁵
– по аргону	2.5×10⁷	> 1×10¹¹	> 1×10¹¹	> 1×10¹¹	> 1×10¹¹	> 1×10¹¹	> 1×10¹¹
Максимальное давление на выхлопном фланце (мбар):	25	24	22	15	11	11	11
Предельный вакуум (мбар):
– с фланцем CF	–	< 5×10^-10	< 5×10^-10	< 5×10^-10	< 5×10^-10	< 5×10^-10	< 5×10^-10
– с фланцем ISO-K (ISO-KF)	< 5×10^-5	< 1×10^-7	< 1×10^-7	< 1×10^-7	< 1×10^-7	< 1×10^-7	< 1×10^-7
Скорость вращения (об/мин):	90000	90000	90000	60000	49200	49200	49200
Время выхода на рабочий режим (мин):	0.9	1.7	1.75	1.8	2	2	2
Охлаждение:	воздушное	воздушное	воздушное	вода или воздушное	вода или воздушное	вода или воздушное	вода или воздушное
Потребление охл. воды (л/мин):	—	—	—	0.83	1.6	1.6	1.6
Температура охл. воды (°С):	—	—	—	15 - 35	15 - 35	15 - 35	15 - 35
Напряжение питания (В, пост.):	24 ± 5%	24 ± 5%	24 ± 5%	24 ± 5%	48 ± 5%	48 ± 5%	48 ± 5%
Потребляемая мощность (Вт):	28.8	100	110	300	420	400	420
Вес с фланцем ISO (кг):	1.8	2	2.4	6.7	11.6	11.5	12.8