Вакуумная арматура

Фланцы различных типов используются для создания разъемных соединений в вакуумных системах и магистралях. Предлагаем фланцы следующих стандартов: ISO-KF, ISO-K, CF (conflat), а также изготовление нестандартных фланцев по заказу.

В этот раздел включены уплотнительные прокладки для различных типов вакуумных фланцевых соединений: ISO-KF, ISO-K, CF (conflat), соединений с зубом / канавкой. В зависимости от типа вакуумного соединения и особенностей эксплуатации вакуумной системы используются уплотнительные прокладки, изготовленные из различных материалов.

Раздел "Монтажные компоненты" включает принадлежности, необходимые для соединения между собой вакуумных фланцев: хомуты и струбцины (зажимы) для монтажа соединений ISO-KF; струбцины (зажимы), фланцы ISO-F со стопорными кольцами для монтажа соединений ISO-K и др.

Сильфонные соединения используются для соединения фланцев, расположенных не коаксиально (со сдвигом) относительно друг друга, для развязки (виброизоляции) вакуумной системы от вакуумных насосов, а также в аналогичных случаях.

Используя стандартные компоненты – фитинги (тройники, крестообразные соединители, колена и другие компоненты), а также переходники (адаптеры) можно построить вакуумную систему практически любой конфигурации. Построение вакуумной системы из стандартных компонентов позволяет не только сократить время изготовления вакуумной системы, но и без существенных переделок вносить изменения и дополнения в ее конструкцию в процессе эксплуатации.

Полуниппели используются в качестве заготовок при изготовлении различных деталей вакуумных систем и магистралей. Предлагаем полуниппели с фланцами различных стандартов, а также с нестандартными фланцами (по заказу).

Переходники (адаптеры) используются для организации переходов в вакуумных магистралях на фланцы различных стандартов, на другой диаметр вакуумной магистрали, на соединения, используемые в газовых системах, на вакуумные шланги и в других аналогичных случаях.

Вакуумные фланцы (ISO-KF, ISO-K, CF "conflat") с окнами используются для визуального наблюдения и/или обеспечения работы оптических систем диагностики.

"Быстрые двери" состоят из двух фланцев. Один из них, стандарта ISO-F, закрепляется на фланце вакуумной камеры (или к фланцу шлюзу вакуумной камеры). Второй фланец шарнирно (на петле) закреплен на первом фланце ISO-F, имеет собственное уплотнение FKM и обеспечивает быструю фиксацию (и уплотнение) одной рукояткой для открытия и закрытия. Второй фланец может быть снабжен окном. Такая конструкция позволяют оперативно помещать и извлекать исследуемые образцы из вакуумных систем. Часто используются для доступа в шлюзовой отсек высоковакуумных систем.

Электрические вакуумные гермовводы используются для обеспечения ввода/вывода электрических сигналов и питающих напряжений для технологических и контрольно-измерительных устройств, расположенных в вакууме.

Термопарные вакуумные гермовводы используются для организации вывода сигналов с термоэлектрических преобразователей - термопар, расположенных в вакууме. Использование таких разъемов обеспечивает термокомпенсацию - для вывода сигнала с термопары важно, чтобы материал проводника совпадал с проводником термопары.

Вакуумные гермовводы такого типа используются для организации подачи/отвода жидкостей или газов к/от различных устройств в вакуумных камерах. В качестве такого устройства может быть, например, рубашка охлаждения для жидкого азота или же столик-постамент, который необходимо поддерживать при заданной температуре.

Гермовводы передачи движения в вакуумные системы позволяют обеспечивать перемещение различных объектов в вакууме. В зависимости от конструкции гермовводы могут обеспечивать вращение, линейное перемещение, вращение с линейным перемещением, а также одновременное перемещение в нескольких направлениях (такие более сложные гермовводы называются манипуляторами). С точки зрения уплотнения гермовводы подразделяются на сильфонные (для использования в высоковакуумных и сверхвысоковакуммных системах), с уплотнением на основе эластичных колец круглого сечения (чаще всего FKM o'ring), а также на основе ферромагнитных жидкостей (только для вводов вращения).

ООО "АВАКС" разрабатывает и изготавливает вакуумные камеры различного назначения, а также нестандартные переходники и арматуру по техническому заданию Заказчика. Присоединительные фланцы могут быть как стандартными (ISO-KF, ISO-K, CF или др.), так и выполненными по чертежам или эскизам заказчика.

Вакуумные шланги используются для изготовления низковакуумных (до 10^-3 Торр) магистралей. К достоинствам вакуумных шлангов относятся низкая стоимость и оперативность монтажа. К недостаткам - сравнительно высокое газоотделение со стенок шланга.